1、“.....待测硅片的平动和转动由精密工作台实现，所述的平面反射镜第球面反射镜第二球面反射镜和光陷阱之间的位置满足几何光学的物像关系。本型解决了光学元件易损伤使待测硅片的缺陷散射光强倍增并且两次缺陷散射光比较集中，有利于收集避开了硅片表面散射信号的干扰。河北化工医药职业技术学院毕业论文图硅片检测的方式硅片插合上料去损伤层制绒面漂洗喷淋是紧密连接的的,因为它们也可以统称为表面清洁,其原因是除杂和形成合适的表面化学态。洁净平整的表面是键合成功的前提条件，表面清洁有亲水处理和疏水处理两种方式，疏水处理号液号液亲水处理号液号液。和液处理表面除去油脂吸附的杂质和金属，同时形成层氧化膜，使硅片具有亲水性。疏水处理中再加入则是脱掉表面氧化层，使表面不亲水......”。

2、“.....使氧化膜呈疏松海绵状结构，容易再玷污，且除杂不彻底，表面还余有类杂质，因此有的亲水处理会在疏水处理后再用热的浓加热至沸腾段时间，除去类杂质的同时重新形成层新鲜的亲水性氧化膜层。由于表面键的存在，中形成的氧化物穿越网络的迁移率相比于号液，号液更高，腐蚀会更均匀。经过去离子水清洗后的硅片要在真空炉里旋转甩干，以减少吸附的水分子对键合的影响。经过表面清洁步骤处理后的硅片表面应该清洁平整且具有疏水或亲水性。喷淋就是为了降低表面温度,表面质量与冷却温度关系如图所示图关系图河北化工医药职业技术学院毕业论文下面是用氟酸进行进步表面清洁,是为了除去硅片表面难溶解的杂质,如有机杂质无机杂质金属离子硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花发蓝发黑等现象，清洗工序清洗去除颗粒目的主要是去除颗粒沾污粒子也能去除部分金属杂质。去除颗粒的原理硅片表面由于氧化作用生成氧化膜约呈亲水性，该氧化膜又被腐蚀......”。

3、“.....氧化和腐蚀反复进行，因此附着在硅片表面的颗粒也随腐蚀层而落入清洗液内。以为基础的硅片化学清洗技术。目前常用作强氧化剂，选用作为的来源用于清除金属离子。是和的碱性溶液，通过的强氧化和的溶解作用，使有机物沾污变成水溶性化合物，随去离子水的冲洗而被排除。由于溶液具有强氧化性和络合性，能氧化等使其变成高价离子，然后进步与碱作用，生成可溶性络合物而随去离子水的冲洗而被去除。为此用液清洗抛光片既能去除有机沾污，亦能去除些金属沾污。是和的酸性溶液，它具有极强的氧化性和络合性，能与氧以前的金属作用生成盐随去离子水冲洗而被去除。被氧化的金属离子与作用生成的可溶性络合物亦随去离子水冲洗而被去除。因为清洗不能充分去除，清洗容易残留。所以经过漂洗后还要用盐酸进步清洗......”。

4、“.....然后开始用热的压缩空气进行烘干电阻率大于纯水在高温下，表面张力能达到最大，漂洗后的硅片浸入其中，表面不被润湿，在倾斜慢提拉离开时，由于极大的表面张力。纯水迅速在表面收缩成球形离开硅片，脱水后的硅片在过滤的热风下而达到干燥。所以，水的纯度温度慢提拉速度工件的倾斜度热风的洁净度对干燥的影响非常大。硅片干燥后就是检测硅片表面的清洁度的时候了,和硅片清洁前的检测是样。河北化工医药职业技术学院毕业论文的特点控制的清洗设备有如下的特点可靠性高，由于采取了系列的高可靠性的措施，的平均无故障时间般可达万小时。而且的环境适应性也很强，它能在工业环境下可靠地工作编程简单，最常用的编程语言是梯形图语言。这种编程语言形象直观，容易掌握，不需要专门的计算机知识，便于广大现场工程技术人员掌握。当工作流程需要改变时，可以现场改变程序......”。

5、“.....的体积小，重量轻，便于安装。般都具有自诊断故障报警故障种类显示等功能，便于操作和维修人员检查，可以较容易通过更换模块插件来迅速排除故障。的结构紧凑，它与被控对象的硬件连接方式简单接线少，便于维护。河北化工医药职业技术学院毕业论文第章糖衣包衣硅片清洗机控制设计控制清洗机的程序设计选择日本三菱系列小型模块按点数分类，般小于点为小型，点为中型,点以上为大型。此清洗机输入输出点小于点应选小型，即选加扩展单元。表系列技术指标电源单相电源波动范围，电源可瞬间失效环境温度环境湿度无凝露防震性能，最大抗冲击性能，在三个方向定时抗槽有货提，得电，取号开盖保持。号机械臂在左移或右移状态时，号槽有货提，得电，取号开盖保持。号机械臂在左移或右移状态时，号槽有货提，得电，放号开盖保持......”。

6、“.....机械手进入手动状态。得电时，号机械手上升，输出号机械手提拉上升，上升到位或号机械手保护动作时，机械手停止工作。得电时，机械手提拉上升互锁,输出号机械手提拉下降，下降到位或号机械手保护动作时，机械手停止工作。号机械手在各槽位点时同时上升到位或下降到位且输入脉冲信号时，辅助继电器得电同时自保持。得电或号机械手横移左行常按号机械手左移按钮，号机械手横移右行互锁，输出号机械手横移左行。常按，号机械手横移左行互锁，输出号机横移右行。号机横移左行动作或横移右行动作时，号机横移刹车动作，输出号机横移慢速。号机提拉上升动作或提拉下降动作时，号机提拉刹车动作......”。

7、“.....河北化工医药职业技术学院毕业论文结束语如果说世纪年代初期发展起来的主要是以它的高可靠性灵活性和小型化来代替和补充传统的继电接触控制，那么当今的控制糖衣包衣硅片清洗机则吸取了微电子技术和计算机技术的最新成果。从单机自动化到整条生产线的自动化，乃至整个公司的生产自动化，承担着极其重要的角色，因而被称之为工业自动化三大支柱之。近年来又有许多新型产品控制的糖衣包衣硅片清洗机设备推出，如软控制方式的糖衣包衣硅片清洗机设备。以计算机为平台的即软可以说是这方面的优秀代表，基于工业计算机的柔性可编程逻辑控制技术，充分利用计算机的高速大容量丰富功能及各种软件资源。是开放的可编程控制器，在实时控制网络控制和分布控制领域可获得广泛的应用。是实时多任务操作系统，能提供强大功能的指令更加快速的扫描与指令执行速度和安全的操作。开放式的结构容易连接各种模块模块运动控制模块和装置网络......”。

8、“.....编程语言为梯形图和等高级语言。可以预见，随着技术的不断发展，技术将在糖衣包衣硅片清洗机设备上将有更加广泛的应用。河北化工医药职业技术学院毕业论文致谢回想起毕业论文这紧张而繁忙的两个多月，我不胜感慨。从最初的山重水复疑无路到柳暗花明又村，从最初方案的确定到具体细节的实施，从初稿的完成到反复的修改完善，直至最后定稿，无不包含着份辛劳。虽然第次看到自己的论文项目完成，心中不免激动，但对于我，感受得更多的还是平静，因为份耕耘，份收获，只有经历风雨的人才有可能见到美丽的彩虹。我这次能顺利完成毕业论文，首先要归功于姚老师和梁老师及企业导师给我的大力支持和无私帮助。同学在资料提供相关知识介绍实地考察论文初稿的审定和修改等许多方面给了我巨大的帮助，他们那丝不苟循循善诱的精神使我倍感亲切的同时又能耐心处理论文中所遇到的任何个小问题，使本论文的推理和说明都尽可能的严密。在写论文过程中......”。

9、“.....并提供相关资料以供查询，使我能顺利完成论文，对此我万分感激。还有其它小组的许多同学毫无保留地为我提供了许多有用的资料，为我完成毕业论文节省了宝贵的时间。在此，并表示衷心感谢。由于时间仓促及个人水平有限，本论文疏漏之处在所难免，恳请各位老师们批评指正。河北化工医药职业技术学院毕业论文参考文献熊葵容电器逻辑控制技术北京科学出版社,王兆义可编程控制器教程北京机械工业出版社,齐从谦,王士兰技术及应用北京机械工业出版社,朱绍祥，王宏生等可编程控制器原理与应用上海上海交通大学出版社,郁汉琪电气控制与可编程序控制器应用技术南京东南大学出版社,廖常初编程及应用北京机械工业出版社，吴忠智，吴加林。变频器应用手册北京机械工业出版社，韩安荣通用变频器及其应用北京机械工业出版社，河北化工医药职业技术学院毕业论文成都工业学院第章概述的由来随着微电子技术和计算机技术的飞速发展......”。