1、“.....本项目生产线建率器件兼容的芯片生产线。在期工程中，该生产线除了进行少量自有产品的生产之外，主要承接外公司的芯片加工任务，生产线也未包含芯片与产品的批量测试设备。深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目建设相应的动力配套设施总图本项目期工程用地位于深圳市宝龙工业园区，用地面积，规划建筑包括生产厂房和动力厂房综合楼多功能中心专家楼倒班宿舍化学品库气站等，见总平面布置图。建筑结构设计生产厂房根据集成电路生产的特点，厂房分为大跨度的核心净化生产区和生产动力支持区。厂房主体结构为钢筋混凝土框架结构，核心净化区楼柱网，二楼为大型钢屋架，屋架跨度。二楼穿孔楼板为现浇钢筋砼，屋面结构板为现浇钢筋砼。建筑层高为，建筑占地面积，建筑面积。动力厂房动力厂房为单层框架结构，柱网尺寸，本项目新建......”。

2、“.....建筑服务系统空气处理系统空调净化净化生产厂房生产层设计净化级别为级，外延生产设备采用微环境形式达到级。空气流动型式风机过滤器洁净室架空地板下夹层回风竖井送风静压箱。深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目新风处理新风初效过滤器中效过滤器预加热盘管化学过滤器消声器风机消声器冷却盘管二级加热盘管加湿器空调生产管理区设置中央空调系统或新风风机盘管系统。温度湿度。变电站设置空调系统，控制最高温度。通风排烟系统通风系统对卫生间设置通风系统，换气次数次。在存放或使用易燃易爆有毒物质的房间设计事故排风，换气次数次。对未设置空调系统的洗涤塔间废水处理站纯水站锅炉房应急发电机房机械设备房，设置通风系统，换气次数次，控制温度不超过......”。

3、“.....冷冻水系统冷冻水供给外气负荷室内负荷工艺冷却水系统纯水系统，估算冷量为月产片时。冷冻站系统组成离心式冷水机组冷冻水次泵冷冻水二次泵闭式膨胀罐加药装置管道及阀门附件保冷材料等。设备选择与站房深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目选择低温水冷离心式冷冻机组台，用备，单台制冷量为，站房设置在动力厂房。空调热水系统热水供给空调净化系统纯水系统加热，采用热水加热，热负荷估算为。系统组成燃气热水锅炉循环水泵热回收系统热交换器闭式膨胀罐管道及阀门附件保温材料等。设备选择与站房选择燃气热水锅炉台，其中台为备用，单台，供回水温度为。站房设置在动力厂房。机械冷却水系统冷却水供给冷却冷水机组温度流量冷却空压机组温度流量系统组成冷却水循环泵玻璃钢冷却塔水处理装置自动加药装置型管道过滤器管路系统等......”。

4、“.....用备，每台冷却水量。冷却塔设于动力站房屋顶，水泵设置在动力厂房内。冷水自来水系统深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目消耗量每天消耗量夏天最大小时平均消耗量管网与水池设计公司申请两路进水，接管。项目在新建动力厂房地下层设置水池，供生产和消防使用。水消防系统见消防章节说明净化间清扫真空系统清扫真空站设于生产厂房层。选用离心式多级真空泵各套，配带排气消音器，其真空量为，真空压力为，每套按个清扫口进行设计。液化石油气供应新增燃气热水锅炉，园区有管道液化石油气供应，预计项目消耗。工艺服务系统工艺设备冷却水系统工艺设备冷却水供给生产设备冷却用，流量，温度。系统补充水水质为出水，工艺设备冷却水系统采用板式水换热器，水泵为变频水泵......”。

5、“.....设在动力厂房层。前处理部分首先由纯水原水泵从生产消防合用贮水池取水，加压送至纯水站，经机械过滤活性碳过滤等预处理后，由热交换器换热至，再经过保安过滤器过滤，进入二级装置，制成纯水，进入初级纯水箱。水同时作为工艺冷却水和机械冷冻水的补充水，浓缩水作为洗涤塔用水和部分冷却塔补充水。后处理部分由纯水加压泵从初级纯水箱取水，经杀菌脱气离子交换进入终端纯水箱，最终由纯水输送泵经杀菌热交换器混床超滤送至用户，循环回水再回至终端纯水箱。干燥净化压缩空气系统供给消耗量片时，使用点压力，压力露点，微粒。系统组成空压机储气罐预过滤器无热再生干燥器终过滤器管道及阀门附件......”。

6、“.....再经预过滤器无热再生干燥器干燥后进入终端过滤器，干燥净化后的压缩空气经主配管送至厂房分配系统。深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目选择无油润滑螺杆式水冷空压机台，用备，空压机单台排气量为，排气压力为。选用无热再生干燥器台，单台装置处理干燥空气气量为,干燥器前后设过滤器。站房设置在动力厂房。工艺真空系统供给生产设备吸附硅片用。消耗量，使用点真空压力。系统组成真空泵热交换器真空缓冲罐管道及阀门附件等。设备选择与站房水冷水环式真空泵台，其中备用台。其规格为，真空压力为，配带冷冻水热交换器。选择的真空缓冲罐个。站房设置在动力厂房。大宗气体供应系统大宗气体包括工艺氮气普通氮气工艺氧气工艺氢气工艺氩气工艺氦气等。这些大宗气体均需由管道供气至设备使用点......”。

7、“.....满足使用量和质量要求，公司在使用时根据用量支付费用。项目在层设计大宗气体入口，专业气体公司负责入口以前的所有管道设备。项目配置入口室到设备使用点的预过滤器纯化器后过滤器气体监控系统管道阀门。深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目特种气体供应系统集成电路生产的掺杂刻蚀等使用大约三四十种特种气体，分为惰性气体系统类高压腐蚀性气体有毒气体易燃气体系统类低蒸汽压力特殊气体系统类硅烷系统等。特殊气体年消耗量均较小，质量由瓶装气体供应商保证达到半导体级。工艺排风系统根据生产性质，工艺设备排风分为有机溶剂排风酸性废气排风有毒气体排风和般排风。有机溶剂排风酸性废气排风有毒气体排风均经过处理后排放，处理说明参见环保章节说明。电气供电本项目拟在动力厂房设变配电站座......”。

8、“.....供电电源电压为，电压偏差。根据生产情况，本工程的主要用电负荷为生产工艺设备用电动力设备用电通讯及安全设备用电及部分生活区用电等。用电负荷性质主要为二级，经初步估算，全厂工程总装设功率，其中工艺设备总装设功率动力设备装设功率照明及其他用电设备装设功率变压器总装设功率本工程低压电源的带电导体采用三相四线制，中性点固定接地系统，其低压系统以单母线分段方式运行。低压系统接地型深圳市高科实业有限公司集成电路芯片生产线项目式采用系统。为对类负荷中的特别重要负荷供电，除设供电外，并设自备柴油发电机组作为应急电源。配电系统正常电源电力配电系统采用交流三相五线制，单相三线制。配电电源由终端变电站引至设置在各建筑的电动机控制中心和动力配电箱，为动力设备和工艺设备配电......”。

9、“.....的蓄电池容量保证至少具有分钟的供电能力。照明照明配电采用交流频率为，带电导体系统为三相四线制系统。接地采用系统，接地电阻值。照明电源由终端变电站引出，经照明配电箱为照明灯具配电。照明灯具使用电压为单相交流......”。