1、“.....则垂直入射的反射光将产生的频移为。如果圆偏振光通过个旋转中的半波片，则透射光将产生两倍于半波片旋转频率的频移，即。激光外差干涉测试技术原理激光外差干涉仪的光源光学机械移频在参考光路中放入个固定的波片和旋转的波片，如果固定波片的主方向定位合适，它可以把入射的线偏振光转变为圆偏振光。该圆偏振光两次穿过旋转的波片，使其产生的频移。圆偏振光再次穿过固定波片后又恢复为线偏振光，但频率已发生偏移。垂直于入射光束方向移动匀速光栅的方法也可以使通过光栅的第级衍射光产生的频移，此处是光栅的空间频率，是光栅移动速度......”。

2、“.....这时超声波的传播就相当于移动光栅，其级衍射光的频移量就等于布拉格盒的驱动频率，而与光的波长无关。激光外差干涉测试技术主要内容双频激光外差干涉二双频激光外差干涉的应用三条纹小数重合法原理四红外双线氦氖激光绝对干涉测长系统数据处理双频激光器波片准直系统可动角隅棱镜检偏器探测器前置放大器双频激光器外差干涉测长原理图偏振分光镜双频激光外差干涉仪光源双频激光器在全内腔单频激光器上加上约的轴向磁场由于塞曼效应和频率牵引效应，使该激光器输出束有两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光，它们的频率差约为检偏振器产生拍频，并在拍频中互相抵消......”。

3、“.....如果双角锥棱镜组在移动过程中，由于导轨的直线度偏差而发生ⅹ角的倾斜，则两棱镜的角点在光轴方向将产生个相对位移量。此时两路的多普勒频移和不相等，即有精度应用精确测量导轨的直线度和平板的平面度等测导轨的直线度时，双膜块组被固定在适当位置，而双角锥棱镜组固定在工作台上，移动工作台即可测出以角量表示的直线度测角最小显示值分辨率可达。其测角精度在”范围内可达，量程可达土”二双频激光干涉仪测量直线度以线量表示双频激光器发出双频激光束通过半反射镜至渥拉斯顿偏振分束器上，正交线偏振光和被分开的两束线偏振光分别射向双面反射镜的两翼并由原路返回工作原理返回光在渥拉斯顿镜处重新会和后，经半反射镜全反射镜反射到检偏器......”。

4、“.....由于和所走的光程相等，所以，拍频互相抵消，计算机显示器无多普勒频移显示。计算机工作在移动过程中由于导轨的直线度偏差而使双面反射镜沿方向下落到点。光的光程较原来的减少了与此相反，光的光程却增加了。两者总差值等于，根据这数值，即可以算出下落量以线量表示的导轨直线性偏差测直线度的精度可达土，其分辨率为，最大检测距离可达，最大下落量可测到精度三双频激光干涉用于同轴度的精密测量双频激光直线度测量仪，在长距离上测量直线度，具有很高的精度和可靠性，但是这种仪器能否用于长距离同轴度的精密测量呢提出问题同轴度测量仪器应具有以下的特点解决问题能够进行间断测量测量系统对激光束的平漂和角漂具有自适应能力......”。

5、“.....光学系统对大气扰动应具有较强的抵抗力。由于同轴度测量时，定心靶必须从个孔移到另个孔，还要进行找正，测量所用时间较长，因而要求仪器具有较好的长时间稳定性。现有的双频激光直线度干涉仪是无法满足上述要求的原因双频激光直线度干涉仪在信号处理上采用锁相倍频计数技术，不允许信号中断，否则计数立即无效。即使对信号处理系统进行了改进，也有近程死区和测量范围的矛盾，实现相位测量的个必要条件是在测量范围内相位的变化范围必须在之间希望把现有的激光直线度测量仪通过参数优化改造来实现同轴度是不可能的结论此外，在中，采用了等光强稳频方案塞曼稳频，虽然光频比较稳定，但频差变化比较大，频差值也比较高，不利于相位测量......”。

6、“.....需重新考虑双频激光干涉仪的总体方案。清华大学精仪系经过多年的研究，提出了种双频激光测量同轴度的新方案，并研制了实用型的双频激光同轴度干涉仪。双频激光同轴度干涉仪双频激光头出射的正交线偏振光通过第个渥拉斯顿棱镜后，彼此分开个小角度再通过第二个涅拉斯顿棱镜变成两束平行光束经双面直角棱镜反射工作原理依次通过后又会合成束光，经检偏振器后被探测器接收，形成测量信号两光束在检偏器后形成拍频并被光电接收器接收方案与主要区别方案中用了两个渥拉斯顿棱镜，而方案只用个中反射镜用的是双面直角棱镜，而用的是两个具有定夹角的平面反射镜这两点区别，使得能够既保持双频干涉仪所特有的高精度和稳定性，又解决了同轴度测量的难题参考信号由探测器接收......”。

7、“.....可使测量信号相对参考信号相位发生变化，那么通过测量两者的位相差，可得或的横向移动量。激光外差干涉测长与测振韦宏艳光探测方法光强的探测方法分为直接探测法非相干探测和外差探测法相干探测。直接探测简单实用，外差探测灵敏度高，探测目标时的作用距离远。直接探测的基本原理所谓直接探测是将待测光信号直接射入到光探测器光敏面，光探测器响应于光辐射强度而输出相应的电流或电压，探测系统可经光学天线或直接由探测器接收光信号，在其前端可经过频率滤波如滤光片和空间滤波如光阑处理。接收到得光信号入射到光探测器的光敏面上。光外差探测的基本原理外差探测技术是利用光的相干性对光所携带的信息进行探测......”。

8、“.....它能准确探测到光波振幅和频率所携带的信息，比直接探测有更大的信息容量和更低的探测极限。引言单频激光干涉仪的光强信号及光电转换器件输出的电信号都是直流量，直流漂移是影响测量准确度的重要原因，信号处理及细分都比较困难。为了提高光学干涉测量的准确度，七十年代起有人将电通讯的外差技术移植到光干涉测量领域，发展了种新型的光外差干涉技术。概念光外差干涉是指两只相干光束的光波频率产生个小的频率差，引起干涉场中干涉条纹的不断扫描，经光电探测器将干涉场中的光信号转换为电信号，由电路和计算机检出干涉场的相位差。特点克服单频干涉仪的漂移问题细分变得容易提高了抗干扰性能......”。

9、“.....则干涉场的瞬时光强为由于光电探测器的频率响应范围远远低于光频，它不能跟随光频变化，所以式中含有的交变项对探测器的输出响应无贡献。,干涉场中点，处光强以低频随时间呈余弦变化激光外差干涉测试技术激光外差干涉测试技术原理外差干涉技术原理在干涉场中，放入两个探测器，个放在基准点,处，称之为基准探测器，其输出基准信号，另个放在干涉场探测点,处，称之为扫描探测器，输出信号为。将两信号相比，测出信号的过零时间差......”。