1、“.....图显示微刀完成。实验参数流程表中列出。查克的试件,微孔使用钻的玻璃。减少工具的磨损在低级别,该工具可以之前没有接触到工件加工过程开始,所以它存在之间的工具,约毫米玻璃表面加工过程时,开始宁。微孔加工过程中,微观喂养工具伴随着喷浆与超声振动利用制造玻璃如图所示。砂浆的流量是毫升分钟。表列出了实验参数流程。图实验仪器的细节图过程。图。试件加工过程和试件在过程完成。完成试件形状。表表实验参数实验参数工件的圆杆,碳化钨甘蓝型纵向超声振动方向铜电极超声振动频率千赫工作煤油超声振动振幅,转速微工具转速工件进给速率分钟极性粗糙完成浆浓度打开负载电压平均磨料尺寸,工作电压放电电流脉冲持续时间时间实验结果除了评估精度的高精度微孔大小,形状精度和表面粗糙度估计。因此,下面的讨论分为三个主要部分的入口和出口之间的,圆度和表面粗糙度。微孔的精度影响。因素包括浆浓度磨料粒度和加工参数......”。

2、“.....磨料浆浓度高材料被加工表面的研磨谷物将快于泥浆浓度越低。快速除材料之间的摩擦将会减少微刀前端和加工过程。将使用泥浆浓度高时低。图显示,平均磨料尺寸是否泥浆浓度会发生小于浆浓度。但泥浆浓度达到时变得更大。浓度提供了几乎两倍磨料粒子制造孔比浓度的平均大小,导致变得更小。然而,由于微孔加工是设置在横向模式下,磨料磨具洞入口之间的聚集和工具,这些粒子被旋转工具,被送入洞超声波振幅。但这将阻碍研磨剂进入洞时的粒子之间的聚集太多洞入口和工具,从而影响微孔的。浆浓度,这种情况将变得清晰,所以效果明显降低。此外,平均晶粒尺寸比超声波振幅,诱导磨料磨具在很难进入洞。所以加工影响并不明显比小的晶粒尺寸。图还表明,采用平均大小创建比平均粒子的大小。在同浓度,小颗粒更均匀悬浮在泥浆和容易进入比大个洞。然而,并不为每个谷物。因此......”。

3、“.....提高小孔。获得更好的完成效果,以下实验使用粒子浓度的平均直径。超声振动振幅的影响在超声电机程序,大型加工工具导致更高的。加工工具可能弯曲在钻井过程中超声振动时振幅很大。这将影响到精确的漏洞。在这种现象更明显。在这些实验中,超声波振幅测量使用工具显微镜三次在空气中,然后把平均工作振幅。图给出了超声振动振幅对的影响。图中显示,随振幅增加而降低从到。增加当振幅增加从到。这表明适当的振幅会增加小孔的严谨。然而,利用较小的振幅制造小孔将增加试件的加工时间和导致更多的磨损,产生更大的。此外,加工时间变得更短的振幅。是增加了。这减少了磨损试件。低可能因此被发现。由于的细长比过程,微刀会弯曲,因为更大的振幅。这诱导不规则小孔的加工如图所示,使值大。的微刀不规则孔加工时也可以打破变得严重。图磨料浆的浓度和粒度的影响图通过超声振动振幅通过。的影响。图......”。

4、“.....因为个旋转工具可以协助悬浮粒子进入微孔,这种安排可以驱动过程中颗粒磨洞。因此,小孔,所产生的旋转工具,如果不旋转的工具会更好。图显示了在转速的影响。实验证明了小当转速增加到岁。改变时转速增加从转到转。这表明正确的旋转速度提高小孔精度。磨料粒子被喂进洞里通过旋转工具和超声波振动。在相同的振动模式,数量的磨料颗粒送入洞旋转在开始阶段的速度增加。制造效率因此增大,试件穿了,所以小可以获得。工具的磨损和孔表面当转速增加了情况将变得清晰,所以效果明显降低。此外,平均晶粒尺寸比超声波振幅,诱导磨料磨具在很难进入洞。所以加工影响并不明显比小的晶粒尺寸。图还表明,采用平均大小创建比平均粒子的大小。在同浓度,小颗粒更均匀悬浮在泥浆和容易进入比大个洞。然而,并不为每个谷物。因此,平滑的加工表面......”。

5、“.....提高小孔。获得更好的完成效果,以下实验使用粒子浓度的平均直径。超声振动振幅的影响在超声电机程序,大型加工工具导致更高的。加工工具可能弯曲在钻井过程中超声振动时振幅很大。这将影响到精确的漏洞。在这种现象更明显。在这些实验中,超声波振幅测量使用工具显微镜三次在空气中,然后把平均工作振幅。图给出了超声振动振幅对的影响。图中显示,随振幅增加而降低从到。增加当振幅增加从到。这表明适当的振幅会增加小孔的严谨。然而,利用较小的振幅制造小孔将增加试件的加工时间和导致更多的磨损,产生更大的。此外,加工时间变得更短的振幅。是增加了。这减少了磨损试件。低可能因此被发现。由于的细长比过程,微刀会弯曲,因为更大的振幅。这诱导不规则小孔的加工如图所示,使值大。的微刀不规则孔加工时也可以打破变得严重。图磨料浆的浓度和粒度的影响图通过超声振动振幅通过。的影响。图......”。

6、“.....因为个旋转工具可以协助悬浮粒子进入微孔,这种安排可以驱动过程中颗粒磨洞。因此,小孔,所产生的旋转工具,如果不旋转的工具会更好。图显示了在转速的影响。实验证明了小当转速增加到岁。改变时转速增加从转到转。这表明正确的旋转速度提高小孔精度。磨料粒子被喂进洞里通过旋转工具和超声波振动。在相同的振动模式,数量的磨料颗粒送入洞旋转在开始阶段的速度增加。制造效率因此增大,试件穿了,所以小可以获得。工具的磨损和孔表面当转速增加了磨料颗粒增加。这个结果将会更加清晰速度。此外,切削过程的稳定性也受到很高的速度。由于这些原因,不仅成为大但也很明显转后改变了。微刀加料速度的影响在受饲料问第次时美国利率的变化。在这些实验中,饲料利率应用程序接口来控制电动机和光学规模,生产不断饲料利率。图细节如提要利率。这个数字显示,较小的进给速率较低时使用......”。

7、“.....然而,试件端面之间的差距和玻璃的脸变得较小的更大的进给速率时使用。这个较小的差距导致泥浆流通不好。当这发生时,减少磨料粒子进入通过差距,导致没有很好的工作效果工具的前端这个加工过程中产生更多的磨损。因此,变得大了。图显示了个穿试件进行的扫描电镜照片。图代表的小圆形步前端的试件进行严重磨损较大饲料加工速度分钟。工具遭受更少穿在同位置时使用个较小的进给速率分钟,如图所示图圆度超声电机的流程工具旋转或不肯定影响孔的圆度。工具旋转艾滋病悬浮粒子进入洞,从而提高超声电机的工作效率。旋转工具也能导致颗粒磨孔,从而提高孔的圆度。更好的旋转速度从到。圆度值成为较大的转速时从增加到。这是类似于对转速的影响。然而,高转速不仅造成更多的工具磨损,而且诱发不稳定在切割过程中,促使显然失圆的小孔后。在这些实验中,最好的圆度值在本研究发现约。图给出了小孔产生可接受的出入口在转的转速......”。

8、“.....更高的饲料分钟的速度。在适当的饲料率分钟。粗糙度在超声电机过程中,工具的旋转效应可以推动磨料颗粒磨孔表面。因此,表面粗糙度值般小于磨料颗粒大小。因为没有设备可以测量表面小孔的研究照片用于讨论晶粒尺寸的影响。图显示了个截面的表面微孔和洞。在图,微孔的横截面与连续公平和形状。图和显示放大的照片孔表面加工时不同的磨料颗粒大小。的表面制造使用平均粮食是使用个平均粒完成。这些工作表面两位数清楚地说明,仍然有些陨石坑和大晶粒尺寸时不是很顺利。表面非常光滑,几乎没有坑小晶粒尺寸时应用。因此,较小的磨料颗粒大小对微孔表面粗糙度的影响更大。图小孔的形状通过在每分钟转的转速。微孔的入口。微孔的出口。图转速对圆度的影响。图的横截面和表面通过小孔。微孔的横截面。的表面微孔用平均大小。的表面微孔使用平均大小生产。结论与高纵横比硼硅玻璃钻小孔,工作方法结合发达......”。

9、“.....高度精确的小孔直径约生产更好。过程,微孔圆度对试件进行转速有密切的关系。实验显示,转速对圆度的影响类似于对转速的影响。因此,为了更好的微孔圆度,选择适当的转速是很重要的。此外,小孔的表面粗糙度明显受到磨料粒子的大小的影响。结果表明,可以获得更好的表面粗糙度时小磨料颗粒大小和深度通过制造方法。实验表明,受到泥浆浓度超声振动态度或试件的转速。这些参数的值存在哪个最低。更大或更小的值导致增加。此外,较小的粒子大小或试件进行饲料利率。确认作者要感谢国家科学委员会中华民国号合同下的财务支持本研究。国家安全委员会。研究精密小孔的硼硅玻璃使用结合微超声振动加工文摘由于其优良的阳极键合性能和表面完整性硼硅玻璃通常用作的基质微机电系统。为构建通信接口,需要钻小孔衬底。然而,微孔直径低于年很难生产使用传统加工过程。来解决这个问题,种加工方法......”。