1、“.....应使两方面的努力种是不断提高微细加工技术和二是制定实际应用适当的设备据中的技术的本质化。该后者是当前的项紧迫任务，第件事我们要解决的是什么是适当的器件作为微加工技术具有的优点高精度低成本的批量生产，但局限性二维掩蔽，低强度，低功率输出和高敏感性的许多环境的干扰因素，例如灰尘，湿度等，未来的设备应主要是打包的子系统由微型机械，并且在许多的情况下，微传感器。结构之间的耦合设备与外界将主要是通过电，电源光，磁等非接触式信号供应，浓度〜信息，输入和输出信号。大阵相对简单的机械结构是优选复杂的机械结构此外......”。

2、“.....使该设备可批量生产，充分发掘平面工艺的优势在低成本的大规模生产。这里所提出的论点西蒙教授硅智能传感器适用于太在替代旧的应用程序没有创建个足够大的市场潜力。因此，它不能被认为是未来的个主要策略微机电系统的发展。由于事实上，在上述提到方法有被证明是成功开发的器件过去和将被改编为将来发育。各种满足上述标准的器件将在将来开发的，并在下面描述的弧，对于惯性传感设备。在硅加速度计发展迅速过去十年中，且被视为下硅后微机械传感器。最吸引人型微加速度时，加速度计......”。

3、“.....个电容性传感器用于质量块的位置，所述信号处理电子设备为传感器和静电致动器施加个反馈强制地震质量。各种力量平衡已经发展到现在，但至今其中最成功的是完全集成的微加速度这是发布了关于生叶芝前。该装置的机械结构是通过制作装置的多晶硅表面微加工，以及电子通过的技术手段制作。针对安全气囊释放控制，操作应用程序该设备的范围克与单电源供电。整个微系统是制作在硅芯片上测量的，且采用可以。虽然过程被认为是相当复杂和困难的，开发者声称，他们可以在成本销售根据美元每人。此外，改进的版本操作范围低至克或已经公布......”。

4、“.....力平衡可以被视为其中最成功的目前的。个原因他们的成功是由地震感知加速度质谱是通过非接触式的惯性力和输出是个电信号，使整个系统可以是气密在个包，保证了密封的性能的微机械结构不会受到任何阻碍环境干扰。第二个原因是，加速度计可以找到大量的应用在各种的系统。个明显的例子是大规模应用在汽车安全气囊控制。这种应用从产业带动显著的兴趣和投资另个惯性检测装置，陀螺仪，也有类似的操作模式的加速度，也可以找到广泛应用在运动控制，包括汽车应用，如牵引力控制系统和行驶稳系统，消费电子应用......”。

5、“.....例如惯性鼠标，机器人应用，当然，军事应用。因此，微机械陀螺仪已接收旺盛在近几年的发展努力作为高速旋转的零件，轴承在个传统的陀螺仪是很难小型化和批量制造,通过微机械技术生产低成本器件，微机械陀螺仪是专门振动类型，包括双万向支架结构，悬臂梁结构，音叉结构和振动环结构。其中的振环装置是最先进的，这是开发由后电路工艺结合比电铸金属的微观结构与电路用于控制和读出电子。虽然没有这些微机械陀螺仪的有已经商业化的是，这是很可能的是种形式的陀螺仪将被大规模生产，在不久的将来。参考文献，传感器和执行器。,前盖。风扇......”。

6、“.....集成微机械可动结构的传感器和执行器，跨。电子设备风扇，大和穆勒，集成电路加工静电微电机。诠释。电子器件会议，旧金山月日至日年页。彼得森，什么摆在面前，达意。文摘，第八诠释。机密。传感器和九，斯德哥尔摩。瑞典。新英格兰大学，年，卷。，页。和埃利希，激光沉积和刻蚀三维〜，科技。文摘，第六届诠释。机密。固国家传感器和执行器换能器，旧金山。，美国，页。威狮堡，米博曼，约翰逊和，真正的立体通过激光化学工艺的微细加工三维结构技术。文摘，第六届诠释。机密。传感器和执行器换能器，旧金山，月日至日，年，页......”。

7、“.....中国科学院，年月。和谢尔曼，面硅带有片上检测电路，传感器和执行器，。升核心，曾俊华和律政司司长。谢尔曼。制造技术集成微机械表面的传感器。固态学报。十月。图。刘易斯。赵阳，豪，顺丰速潘基文和，集成的力平衡电容为应用。传感器和执行器，。等人，安全气囊的应用程序个微系统，包括硅电容〜呃，开关电容,电子和真实的自我测试的，传感器和执行器。阿尔恩〜，二艾斯纳，和，新工艺单片集成加速度计，技术，摘要，第八诠释。机密。固态传感器和执行器九，斯德哥尔摩，瑞典，月日至日，年，卷。，页。哥雷夫金桐和......”。

8、“.....摘要。第六诠释。机密。固态传感器和执行器换能器。加利福尼亚州旧金山。美国，月日，。页。和盐泽，使用硅率传感器蚀刻工艺，技术。文摘，第诠释。机密。传感器和执行器传感器，日本横滨，年月日，第。，微机械陀螺仪技术。摘要。第七诠释。机密。固态传感器和执行器传感器，横滨，日本页。兆瓦腻子和纳杰菲，微机械振动陀螺环，技术。文摘，固态传感器和执行器车间。希尔顿头普拉斯兰岛美国，年月，页。，数字微镜器件及其应用项目展示，科技。文摘，第诠释。机密。固态传感器和执行器传感器，日本横滨年......”。

9、“.....电子亚洲月。澳田畑藤冢，木村和用溶胶晶圆，技术驱动的光学斩波器。文摘，第诠释。机密。固态传感器和执行器传感器，日本横滨，月日，年，第。许默和奥伯迈尔。和五。设计的和制造驱动的微快门技术。文摘，第诠释。机密。固态传感器和执行器传感器，横滨，日本。，。页。威尔金森，金，艾伦和，整合薄膜化合物半导体光子器件的上微机械移动平台，技术。文摘，第诠释。机密。固国家传感器和执行器传感器。横滨，日本年，第页。莫尔，科尔和门斯，通过微型光开关静电线性致动器与大位移，技术。文摘，第七诠释。机密。固态传感器和执行器传感器......”。