1、“.....工程建设完成后总图各项指标满足规划要求。总图主要经济和技术指标序号名称单位原有和在建本期完整项目基地总面积建筑总占地面积总建筑面积建筑密度容积率绿化率集中绿化率建筑新建厂房为混凝土结构，整栋建筑由米长米宽的四层车间仓库和米长米宽的七层支持辅助用房组成。层车间为千级洁净车间，主要是为光刻机的总装集成，由于设备总高达米，重约，加上桥式起重机和净化系统，为此层高达米，二层和三层车间层高各高米，为万级洁净车间四层层高米，为洁净仓库。七层的支持辅助用房内设有员工餐厅卫生生活设施休息区备品备件设备维修等生产支持辅助等面积。新建厂房总建筑面积平方米。给排水本项目暂无生产用水，预计新增生活用水量，由厂区原有室外供水管网供应。生活排水系统采用污废水分流，设置伸顶透气阀，生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统。循环水系统补水由厂内现有室外供水管网提供。新建厂房内，除机房卫生间配电间动力设备房外，其他场所均安装自动喷淋系统各层均设室内消火栓保护各机房走廊和固定人员值班场所......”。

2、“.....厂区内已建有消防泵房，本项目的室内外消火栓由原消防泵房内消火栓泵供应稳高压，无需另设屋顶水箱，项目室内喷淋系统通过原消防泵房内的喷淋泵供应稳高压，无需另设屋顶水箱。空调净化和通风千级洁净室气流组织采用上送下侧回，万级洁净室气流组织采用上送上回。各层车间内采用风冷热泵空调系统，室内机为吊顶式空调处理机组加高效过滤器，室外机放置于车间屋面新风采用新风处理机组，与吊顶式空气处理机组共用室外机，新风由新风机房外侧墙百叶引入。生产辅助区域和行政生活区域采用变频多联空调系统，室内机为四面出风式空调，室外机放置于屋面，新风采用全热交换式换气机，新风由侧墙百叶引入。车间内安装集中排风系统，排风机安装于车间屋顶。卫生间按次小时换气次数设计机械排风，采用排风扇将空气排至室外。电气预计新建厂房内未来可能的工艺测试和研发设备用电量约，其他包括照明插座，空调净化和动力，给排水系统，新建厂房预计用电量。项目用电由公司现有系统提供。低压配电采用树干式与放射式相结合的形式......”。

3、“.....引至配电箱时局部穿钢管保护。车间行政生活区生产辅助区均采用嵌入式雾面隔栅荧光灯具在主要出入口及主要通道设疏散指示及诱导照明，应急放电时间不小于分钟。消防厂区内主要单体建筑四周均设有环形消防车道，建筑之间的距离均控制在米以上。设室内外消火栓系统和室内自动喷淋系统，消火栓及喷淋给水系统为与生活供水系统分开的系统，消防系统采用稳高压给水系统。消防泵房为厂区内现有，消防设备为双电源供电，消防水泵日常为电动泵做为应急备用。室内设应急照明，应急照明灯具内自带蓄电池，应急时间不小于分钟。在建筑的主要出入口处疏散走道楼梯间设置诱导标。电气安全防雷和接地电气系统采用接零保护，变压器中性点电气设备外壳等均接地可靠。电阻欧姆，高压母线上设置避雷器。建筑物按其相应类别防雷标准，设置避雷装置，接地电阻欧姆。照明线路采用型绝缘导线钢管保护暗敷，外保护钢管接地电阻欧姆。动力线路布局及走线合理在动力线路中采用桥架铺设部分，走线合理，符合电气设计规范，安全可靠，维护方便。强化电气安全管理，持证上岗......”。

4、“.....严格执行维护保养规定，使电气系统处于良好的运行状态。职业卫生主要职业卫生因素为照明空调通风噪声及生活设施配置。按工业企业设计卫生标准及有关规定，进行工程设计，符合卫生标准。照明按卫生标准工艺要求和建筑设计通则规定，以及工艺要求选择照度标准。空调和通风在生产区办公生活区动力支持区分别安装空调或通风系统，既满足将来高端汽车灯装配生产需要，又保证职工工作环境相对舒适。空调区域保证定的新风量和换气次数。噪声控制本项目生产过程并无较大的噪声源。对产生较大噪声的动力设备如空调机组风机等，考虑消声降噪措施。与生产区域间隔墙采用吸音材料，同时采用消声减噪措施。生活设施按企业员工编制及性别比例和相关规范，合理配置生活设施厕所休息室及配备相应设备。工作场所设开水供应点，女工集中的区域设置女工卫生间，在生产车间内设置定的休息场所，以利消除工人因长时间操作的疲劳。车间内设置人货分流安全行走路线，设置行走指示牌。厂内明确规范的安全生产制度，并设专人负责管理实施......”。

5、“.....屋面传热系数，混凝土屋面采用不小于厚的挤塑型聚苯乙烯保温板轻钢屋面设保温层，采用厚挤塑型聚苯乙烯保温板。外墙部分根据公共建筑节能设计标准，外墙传热系数，采用厚保温砂浆，内面抹灰为厚保温砂浆彩钢板外墙采用厚彩钢夹芯板。地面及地下室外墙与土壤相接触的墙根据公共建筑节能设计标准，采用厚耐水挤塑型聚苯乙烯保温板。外窗采用保温及密封性能好的半隐框玻璃幕墙窗。可以满足国家规范要求净化空调和动力节能设计净化空调采暖和通风在满足使用条件下，经济地确定环境参数以利节能按建筑物使用功能与各层面分区布置情况采取自然通风机械通风分散与集中空调系统相结合等多种方式调节室内温度，节约用电。空调系统设计充分利用室内循环风，减少系统的冷热负荷。并根据室外气温及室内负荷变化采用自动控制调节冷热量以利节省能耗。对工艺生产过程中产生的排风系统与新风系统间设置热交换装置，利用工艺排风对空调新风进行次热交换，将排风中的热量回收后再排掉，可减少空调系统加热量......”。

6、“.....减少冷热能耗。选用保温性能好的保温材料，如离心玻璃棉橡塑海绵保温材料。空调房间围护结构采取保温措施，以降低能量消耗。选用节能设备所有空调器风机等均采用高效率节能设备。新风空调机接工艺设备的局部排风系统的风机均采用变频风机，可根据工艺生产的实际情况对风机转速进行调节。空调系统均设有温湿度传感器等，并采用自动控制，以节约冷热量。电气节能设计照明系统采用高效节能型荧光灯具配电子镇流器，提高光效，降低能耗。优选低噪声节能型生产设备和动力设备，合理能源配置。其他节能措施选用节水型卫生洁具及配水件卫生间坐便器采用节水型坐便器，便器水箱建议采用两档型，蹲便器采用脚踏式延时开关卫生间小便器采用感应式小便器冲洗阀洗手盆龙头采用陶瓷芯感应式龙头其他洁具和五金配件均采用节水型产品。选用节能设备在选用工程所需机电设备时，充分考虑和比较同类型设备的效率能耗等经济技术指标，合理布置，以确保工艺的先进及运行能耗的最低......”。

7、“.....全部由建设单位自筹资金解决。投资构成土建万含勘探设计行车电梯等机电系统设备及安装万含高低压变配电设备照明插座压缩空气工艺冷却水排风等洁净室安装万消防设施含喷淋万环保万合计万项目主要指标主要技术经济数据序号名称单位指标新建建筑占地面积平方米新建建筑面积平方米新增自来水用水量立方米天新增用电量项目总投资人民币万元需要说明的内容本项目为新建厂房土建和般机电工程，不含生产工艺和设备，项目建设利用上海微电子装备公司现有厂区面积，用水可由现有系统提供，用电将向电力公司申请增容用电量基于对厂房未来用途设想基础上的估算，生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统。在本可行性研究报告第二章中已经阐述了本项目实施的必要性，本项目的建立，重点并不完全在于公司近期内能获得多少经济效益，而是为研制开发高端光刻机，初步建立我国光刻设备产业创新体系提供相应的研发生产的基础设施，构筑我国微电子装备研发体系与人才平台......”。

8、“.....为缩短在这些领域和世界先进国家之间的距离奠定基础。目录申报单位概况项目建设背景和必要性项目建设地点工程建设方案消防环保劳动安全和职业卫生节能措施工程实施计划投资规模和资金筹措项目主要指标核准通过，归档资料。未经允许，请勿外传,需要说明的内容申报单位概况申报单位企业名称企业性质有限公司公司地址上海市浦东法人代表注册资金公司注册资本万元人民币。公司经营目的经营范围和主导产品公司主要从事微电子装备的开发设计制造销售及技术服务，经营本企业自产产品的出口业务和本企业所需要的机械设备零配件原辅材料的进口业务。经营期限经营期限自年月日至年月日建设单位简介以下简称公司，成立于年月，是由上海电气集团总公司上海科技投资公司上海工业投资公司等多家单位投资组建的有限责任公司。公司凭借上海电气集团总公司丰富的机电仪设计制造能力，集中了光学精密机械精密控制软件方面从事微电子装备研究的团队，进行微电子装备的研究开发和产业化制造......”。

9、“.....公司现有占地面积平方米，已建建筑和目前另设项目正在建设的新建工业中试研发楼建筑面积合计平方米。公司现有职工人数约人，其中具有中高级技术职称的技术人员和管理人员约人，技术工人约人。项目建设背景和必要性高端光刻机是微电子装备中系统最复杂技术难度最大单台价值最高国外限制最严的关键设备，目前世界上仅有荷兰和日本等少数国家具备制造高端光刻机的能力，且仅有三家公司制造高端光刻机。高端光刻机融合了精密光学精密机械精密控制计算机软件精密测量特种材料微环境控制等科技领域的最新成就，代表了高科技制造领域的最高水平。自成立以来，直致力于大规模工业生产的投影光刻机研发生产销售与服务，公司产品可广泛应用于制造与先进封装等制造领域。公司自主研发的首台高端封装步进投影式光刻机已经交付客户使用，成为国内唯的家具备步进投影式光刻机研发制造集成调试能力的企业，也是世界上为数不多的掌握此类产品开发制造的企业之。是种新型平板显示技术......”。