1、“.....我国台湾地区主要有台湾长春中华友发长新化学台硝股份及恒谊等,韩国主要有东友东进等公司。在技术方面,美国德国日本韩国及我国台湾地区目前已经在大规模生产技术用的超净高纯试剂,其中的过氧化氢硫酸异丙醇等主要品种般在吨年的规模,技术用超净高纯试剂也已完成前期的工艺研究并形成规模生产,以下技术用工艺化学品也已完成技术研究,具备相应的生产能力。国内超净高纯试剂的研发水平及生产技术水平与国际上的先进技术水平相比尚有定的差距,目前技术用级试剂的生产技术已经成熟,并已转化为规模生产。技术用超净高纯试剂相当于国际标准水平的产业化技术基本成熟,初步形成生产规模。技术用超净高纯试剂相当于国际标准水平的工艺制备技术及分析测试技术有所突破,但由于受相关配套条件的制约,产业化技术还有待进步的完善。部分产品的产业化技术也将能够形成规模化生产,相关分析测试方法的研究也有了较大的突破......”。
2、“.....关键的仪器设备包括容器等必须依赖进口,超净高纯试剂工艺先进技术如气体吸收离子交换膜处理技术等的应用要达到国外的先进水平也有定的差距,这也导致真正要实现超净高纯试剂的工业化规模生产存在较大的差距。我国半导体市场规模在不断扩大,年我国市场已达亿元。年年间,平均增长率。目前国内英寸英寸毫米生产线条,英寸线条,占国内条生产线总数的,产能已占全国的,英寸以上高端生产线已开始成为国内芯片制造业主体。按十二五计划新建的生产线对于超净高纯试剂耗用量将有较大幅度增长。此外,随着国内平板显示器大发展,上广电产能将达到月,京东方产能将达到月,二厂三厂建成后将达万枚月。工艺与是类似的,需求的超净高纯试剂也要几万吨。在市场供应方面,目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化,在更高档次的超净高纯试剂供应方面,目前绝大部分需要从其他国家或地区进口,标准水平及以上档次的产品则全部依赖进口。进口产品的主要来源有日本韩国美国等国家及我国的台湾地区......”。
3、“.....年由北京化学试剂研究所在国内率先研制成功适合中小规模集成电路技术用的种级试剂。随着集成电路集成度的不断提高,对超净高纯试剂中的可溶性杂质和固体颗粒的控制越来越严,同时对生产环境包装方式及包装材质等提出了更高的要求。为了满足我国集成电路发展的需求,国家自六五开始至八五,将超净高纯试剂的研究开发列入了重点科技攻关计划,并由北京化学试剂研究所承担攻关任务。到目前为止,北京化学试剂研究所已相继推出了Ⅰ级Ⅱ级和Ⅲ级超净高纯试剂,其中Ⅲ级超净高纯试剂达到国际标准的水平,适用于工艺技术的加工制作,并在九五末期形成了年的中试规模。目前北京化学试剂研究所正在进行用于工艺技术的Ⅳ级超净高纯试剂的研究开发。十五期间,国家科技部将用超净高纯试剂研究课题列入了超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中......”。
4、“.....其研究的主要目的是完成技术用超净高纯试剂的研究与开发工作,此项目现已完成,关键品种的制备工艺已趋完善,配套支撑条件基本上可以满足研发的要求,颗粒金属杂质阴离子及等分析测试方法的研究也取得了系列成果,为十二五的产业化技术及更加深入的研究奠定了良好的技术基础。上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作,加快研究及产业化进程,于年月组建现已完成,关键品种的制备工艺已趋完善,配套支撑条件基本上可以满足研发的要求,颗粒金属杂质阴离子及等分析测试方法的研究也取得了系列成果,为十二五的产业化技术及更加深入的研究奠定了良好的技术基础。上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作,加快研究及产业化进程,于年月组建了由华谊集团公司中远化工有限公司三爱富新材料股份有限公司和上海化学试剂研究所等多元投资的上海华谊微电子化学品有限公司,成为执行计划的实体主体,拥有平方米实验室平方米净化室和配置相应的试验设备等......”。
5、“.....不仅提升了在超净高纯试剂方面的技术水平,也培养了大批专业技术人才。年由上海华谊集团公司上海中远化工有限公司和台湾联仕共同出资组建成立合资公司上海华谊微电子材料有限公司,建成吨年规模的超净高纯试剂生产线,现已正式投产,投资亿万人民币,生产各类微电子化学品,主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸氟化铵,产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及半导体生产线质量标准的要求。上海华谊微电子材料有限公司建筑面积近平方米,建有世界流水平的生产线和净化包装线。实验室部分有洁净房平方米,最高洁净要求可以达到级。拥有价值近万元的大型精密测试仪器和技术装备,如测试限达到的电感耦合等离子光谱质谱仪测试限的原子吸收光谱仪紫外可见分光光谱仪极谱仪总碳分析仪的离子色谱仪气相色谱仪高效液相色谱仪激光散射颗粒测定仪空气净化颗粒测试仪微波消化器等。上海华谊微电子材料有限公司已于年年中建成投产。产品已开始进入主要集成电路厂家试用,如中芯国际台积电......”。
6、“.....微电子技术与超净高纯试剂在西部地区的发展西部地区的微电子技术相对于沿海地区来说发展较晚,但现今也进入了快速发展的阶段。年成都地区首先引进了英寸芯片的生产线,并将其定为号工程,总投资亿人民币。随后又引进了几条英寸及英寸生产线,并将微电子产业列为支柱产业。从年月开始,重庆市就着手建立西永微电子工业园,计划到年达到年产值亿元,占国内同类市场份额的。建成中国西部门类最齐全,规模最大的集成电路制造研发基地和国家软件业基地,成为中国西部硅谷。现已有茂德日月光等台资企业及等巨头进驻园区。随着企业巨头的迁移落户,地处西部的成渝地区正在改变全球电子信息产业的格局,以电子信息产业为代表的产业转移效应正在显现。最新的数据显示,年月,成都全市出口便携式电脑万台,全部为平板电脑,出口金额为亿美元,约占全市出口总额的而重庆便携式电脑出口量达万台,出口金额为亿美元,占全市出口总量的。成都市商务局相关负责人介绍......”。
7、“.....随着鸿富锦公司产能的进步提升和仁宝纬创等企业的陆续投产,这数字还将继续放量增长,预计全年成都市出口便携式电脑将超过万台。而在今年年初,成都市市长葛红林也表示,预计到今年月,成都将形成亿台电脑生产能力,其中平板电脑万台,笔记本电脑和台式电脑万台。目前品牌商戴尔联想已经落户成都。而重庆的笔记本电脑生产能力更是发展迅猛,以垂直整合模式先后引进惠普宏碁华硕等多家品牌厂商,从打造亚洲最大笔记本电脑基地发展到打造全球最大笔记本电脑生产基地,最近又提出云端计划。升级后的重庆产业生产规模将拓展到亿台。其中,笔记本电脑产能亿台亿台电脑终端设备。台式电脑的产能万台成像打印设备的产能万万台交换设备产能万万台显示器产能万万台再加上路由器等电子设备。届时,整个信息产业有望达到万亿产值,取代重庆传统的汽摩,成为第支柱产业。正是在电子信息产业转移的大潮下,四川省委政策研究室副主任李后强表示......”。
8、“.....目前,全球每两台电脑所用中就有台成都造,未来,全球的来自成都,全球的笔记本电脑出自重庆。按超净高纯试剂占微电子行业产值计算,仅重庆超净高纯试剂产值将达到亿元。西三角之角的西安微电子工业发展得比较早贵州地区的微电子工业也正处于蓬勃发展时期,正在建设条英寸芯片生产线。综上所述,西南地区也已具备了超大规模集成电路的相当大的产能。但是,与之相配套的超净高纯试剂却基本是空白,至今没有单位生产此类品种。目前已建成生产线的用料全部依赖进口。二发展超净高纯试剂项目的建设内容超净高纯试剂共包括有如盐酸硝酸硫酸氢氟酸磷酸双氧水无水乙醇丙酮甲苯三氯乙烯等多个品种。其生产工艺是以这此产品的化学试剂为原料,在专用的洁净厂房中用专用的石英玻璃设备中进行亚沸蒸馏分子蒸馏等工艺提纯。使其杂质指标达到超净高纯试剂的要求。然后在严格不受外界污染的条件下输送到级净化间中的级工作台中,用事先经过洁净处理并达到要求的容器分装封口后......”。
9、“.....进入级净化间的工作人员要尽量少,并严格按洁净要求动作,事先要在万级洁净间内更换防尘工作服后经风淋间淋至达到要求才能进入。包装容器在普通洁净工作间先用纯水洗净,然后进入万级工作间进行精洗,然后由专用通道进入级净化间内,用达到要求的超净高纯水漂洗至合格后,再供使用。因此,生产超净高纯试剂必须要有下列设施级超净工作间及外围的万级净化间万级净化间及在其中安装的各种生产设备超净包装容器的清洗的设备及超净工作间超净高纯水生产设备空气及液体中尘埃颗粒的测试仪器超净高纯试剂中的杂质测试设备级至级。超净厂房的建设现在英寸的芯片生产线,芯片线路线宽都在,需要控制以上的尘埃颗粒。需要建设级的超净厂房,主要用于产品灌装和产品检测,共需要平米。其次,为适应英寸以上芯片生产线,超净高纯试剂的高要求,在级的超净室内还需设置级的超净工作台,核心操作都在超净工作台内完成......”。
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