1、“.....投资构成土建万含勘探设计行车电梯等机电系统设备及安装万含高低压变配电设备照明插座压缩空气工艺冷却水排风等洁净室安装万消防设施含喷淋万环保万合计万项目主要指标主要技术经济数据序号名称单位指标新建建筑占地面积平方米新建建筑面积平方米新增自来水用水量立方米天新增用电量项目总投资人民币万元需要说明内容本项目为新建厂房土建和般机电工程，不含生产工艺和设备，项目建设利用上海微电子装备公司现有厂区面积，用水可由现有系统提供，用电将向电力公司申请增容用电量基于对厂房未来用途设想基础上估算，生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统。在本可行性研究报告第二章中已经阐述了本项目实施必要性，本项目建立，重点并不完全在于公司近期内能获得多少经济效益，而是为研制开发高端光刻机，初步建立我国光刻设备产业创新体系提供相应研发生产基础设施，构筑我国微电子装备研发体系与人才平台，聚焦培养和造就批微电子装备总体设计系统集成先进微电子光学超精密机械精密光电测控等各方面高精尖人才......”。

2、“.....申报单位概况项目建设背景和必要性项目建设地点工程建设方案消防环保二号线，北入连接内环线和浦东国际机场重要通道龙东大道，西临连接内环线和外环线主干道路罗南大道，交通网线发达，距浦东国际机场仅需分钟，至国际博览中心陆家嘴金融贸易中心东方明珠金茂大厦等都十分便捷。工程建设方案总图规划公司用地总面积平方米，在基地北侧金秋路西侧张东路分别开有主次出入口，基地内已建有座生产厂房和座办公研发楼，基地东南角为另设项目在建工业中试研发楼。本项目新建厂房位于现有生产厂房北侧，与现有厂房间距米。新建厂房占地面积约平方米，总建筑面积平方米。新建厂房与现有建筑之间间距符合规划部门要求，厂区布局较为紧凑，为方便人流货流出入，厂区道路均为环网状布局，最小转弯半径为米，最小宽度为米，以满足消防道路要求，方便人流，货流出入。新建厂房利用基地内预留土地面积建设，工程建设完成后总图各项指标满足规划要求......”。

3、“.....生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统。在本可行性研究报告第二章中已经阐述了本项目实施必要性，本项目建立，重点并不完全在于公司近期内能获得多少经济效益，而是为研制开发高端光刻机，初步建立我国光刻设备产业创新体系提供相应研发生产基础设施，构筑我国微电子装备研发体系与人才平台，聚焦培养和造就批微电子装备总体设计系统集成先进微电子光学超精密机械精密光电测控等各方面高精尖人才，为缩短在这些领域和世界先进国家之间距离奠定基础。申报单位概况项目建设背景和必要性项目建设地点工程建设方案消防包括照明插座，空调净化和动力，给排水系统，新建厂房预计用电量。项目用电由公司现有系统提供。低压配电采用树干式与放射式相结合形式，干线电缆沿桥架敷设，引至配电箱时局部穿钢管保护。车间行政生活区生产辅助区均采用嵌入式雾面隔栅荧光灯具在主要出入口及主要通道设疏散指示及诱导照明，应急放电时间不小于分钟。消防厂区内主要单体建筑四周均设有环形消防车道......”。

4、“.....设室内外消火栓系统和室内自动喷淋系统，消火栓及喷淋给水系统为与生活供水系统分开系统，消防系统采用稳高压给水系统。消防泵房为厂区内现有，消防设备为双电源供电，消防水泵日常为电动泵做为应急备用。室内设应急照明，应急照明灯具内自带蓄电池，应急时间不小于分钟。在建筑主要出入口处疏散走道楼梯间设置诱导标志灯作为疏散照明，其地面照度值不低于，疏散路线上诱导标志灯带方向指示，出口诱导标志灯安装在门上方，诱导标志灯带蓄电池，应急时间不小于分钟。空调净化系统风管采用不燃材料镀锌钢板制作。冷热水保温材料采用难燃闭孔橡塑海绵材料凝结水管道保温材料采用不燃离心玻璃棉保温管壳。风管穿越防火分区隔墙处穿越空调机房隔墙或楼板处垂直风管与每层水平风管支接处等均设防火阀，并与该系统风机联锁，防火阀关闭则风机停运，防火阀也可根据消防中心发出信号动作。防火阀可在度时自动关闭。厂房生产车间设置排烟系统，排烟量按照每平方米立方米小时设计靠外墙房间采用自然排烟，设置不小于房间面积可开启外窗。环保本项目不涉及生产工艺......”。

5、“.....生活污水项目建成使用后，生活污废水排放量为立方米天，生活排水系统采用污废水分流，设置伸顶透气阀，生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统。噪声治理本项目除优选低噪声设备外，通过合理布局，集中控制人机分离，建筑上海工业投资公司等多家单位投资组建有限责任公司。公司凭借上海电气集团总公司丰富机电仪设计制造能力，集中了光学精密机械精密控制软件方面从事微电子装备研究团队，进行微电子装备研究开发和产业化制造。公司承担了国家科技部十五十五重大技术专项国家集成电路光刻设备项目等任务。公司现有占地面积平方米，已建建筑和目前另设项目正在建设新建工业中试研发楼建筑面积合计平方米。公司现有职工人数约人，其中具有中高级技术职称技术人员和管理人员约人，技术工人约人。项目建设背景和必要性高端光刻机是微电子装备中系统最复杂技术难度最大单台价值最高国外限制最严关键设备，目前世界上仅有荷兰和日本等少数国家具备制造高端光刻机能力，且仅有三家公司制造高端光刻机......”。

6、“.....代表了高科技制造领域最高水平。自成立以来，直致力于大规模工业生产投影光刻机研发生产销售与服务，公司产品可广泛应用于制造与先进封装等制造领域。公司自主研发首台高端封装步进投影式光刻机已经交付客户使用，成为国内唯家具备步进投影式光刻机研发制造集成调试能力企业，也是世界上为数不多掌握此类产品开发制造企业之。是种新型平板显示技术，具有自发光清晰亮丽轻薄响应速度快视角宽低功耗操作温度范围大等特点，已被公认为最理想显示技术。按照发光方式不同，可将分为被动矩阵和主动矩阵两大类。易于制造，但是它需要外部电路，因此耗电量大于其他类型。具有完整阴极层有机分子层以及阳极层，但阳极层覆盖着个薄膜晶体管阵列，形成个矩阵。阵列本身就是个电路，能决定哪些像素发光，进而决定图像构成。耗电量低于，因而适合用于大型显示屏。还具有更高刷新率，适于显示视频。目前已逐渐拥有手机汽车显示器这些小尺寸显示市场。未来大尺寸显示市场......”。

7、“.....此外，下代照明开发正方兴未艾。公司和上海大学已经进行了年紧密合作，中试线用光刻机将于年月交付上海大学平板显示工程中心使用，是最具有先行启动代和代光刻机设备开发条件企业。与其他国家竞争对手相比较，占据了明显地缘优势，能够为国内面板生产企业提供快速响应优廉技术支持服务，对于降低用户使用维护成本具有重要意义。公司劣势主要在于进入平板显示器市场相对较晚，竞争对手已经具备定数量装机量，在市场上享有更高知名度。为进步增强公司平板显示器用光刻机研发能力和制造水平扩大研发和生产场地面积，公司经董事会决议批准，将实施本项目新建厂房建设。本项目仅含厂房土建和般机电工程，未来将由公司视发展需要另行安装研发和生产工艺设备。项目建设地点项目建设地点位于上海市浦东张江高科技园，公司现有场地内。基地北临金秋路西临张东路，东侧和南侧为其他公司用地。公司毗邻地铁二号线，北入连接内环线和浦东国际机场重要通道龙东大道，西临连接内环线和外环线主干道路罗南大道，交通网线发达......”。

8、“.....至国际博览中心陆家嘴金融贸易中心东方明珠金茂大厦等都十分便捷。工程建设方案总图规划公司用地总面积平方米，在基地北侧金秋路西侧张东路分别开有主次出入口，基地内已建有座生产厂房和座办公研发楼，基地东南角为另设项目在建工业中试研发楼。本项目新建厂房位于现有生产厂房北侧，与现有厂房间距米。新建厂房占地面积约平方米，总建面积平方米。新建厂房与现有建筑之间间距符合规划部门要求，厂区布局较为紧凑，为方便人流货流出入，厂区道路均为环网状布局，最小转弯半径为米，最小宽度为米，以满足消防道路要求，方便人流，货流出入。新建厂房利用基地内预留土地面积建设，工程建设完成后总图各项指标满足规，排烟量按照每平方米立方米小时设计靠外墙房间采用自然排烟，设置不小于房间面积可开启外窗。环保本项目不涉及生产工艺，其影响环境主要因素为生活污水固体废料和废物工业噪声等各种污染。生活污水项目建成使用后，生活污废水排放量为立方米天，生活排水系统采用污废水分流，设置伸顶透气阀，生活污废水经化粪池处理后排入厂区原有排水系统......”。

9、“.....通过合理布局，集中控制人机分离，建筑设计等综合防治措施，确保作业场所噪声控制在，厂界噪声达到Ⅲ类标准。固体废物处理与利用本项目中固体废物有废弃包装材料废弃封装材料和生活垃圾等。根据固体废物性质及其可利用资源情况，进行分类处置与利用，防止流失，造成二次污染。生活垃圾及污泥渣委托环卫部门集中处置。劳动安全和职业卫生在厂房建设期间将充分考虑到用户实际使用情况，根据国家和地方政策及相关专业规范，设置相应劳动保护和卫生设施。劳动安二号线，北入连接内环线和浦东国际机场重要通道龙东大道，西临连接内环线和外环线主干道路罗南大道，交通网线发达，距浦东国际机场仅需分钟，至国际博览中心陆家嘴金融贸易中心东方明珠金茂大厦等都十分便捷。工程建设方案总图规划公司用地总面积平方米，在基地北侧金秋路西侧张东路分别开有主次出入口，基地内已建有座生产厂房和座办公研发楼，基地东南角为另设项目在建工业中试研发楼。本项目新建厂房位于现有生产厂房北侧，与现有厂房间距米。新建厂房占地面积约平方米......”。