1、“.....以进步提高产品性价比从而增强其竞争力。第三阶段整理各种资料,作好项目技术总结报请项目验收。象。这为本项目顺利实施提供了制度上保障。第二章技术可行性分析项目技术路线工艺设备合理性和成熟性关键技术先进性项目技术路线多晶合成单晶生长晶体加工工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试工艺及设备合理性和成熟性自行设计单晶生长系统本项目研发生产采用自行设计水平砷化镓单晶生长系统,该生长系统在国际上未见成型产品,本项目单位根据多年工艺技术积累,选用精密温控仪表欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组合,可保证在长达天单晶生长过程中温控精度,炉体移动速度最低时小时爬行不大于......”。
2、“.....归档资料。未经允许,请勿外传,国际市场状况及本项目产品市场占有情况风险因素及对策分析第五章投资估算及资金筹措项目投资估算资金筹措方案投资使用计划第六章经济和社会效益分析未来五年生产成本销售收入估算财务分析不确定性分析财务分析结论社会效益分析第七章综合实力和产业基础企业员工构成企业负责人情况企业新产品研发能力及内部管理体系企业从事该产品生产条件产业基础第八章项目实施进度计面积约平方米,建有生产车间生产车间加工车间,拥有砷化镓单晶炉纯水供应设备线切割机等生产设备,各种辅助设施齐全,原材料主要来自国内,供应渠道稳定,具备进步产业化基础。第八章项目实施进度计划第阶段进步稳定完善现有工艺技术......”。
3、“.....使单晶生长长度由目前增加到。加强对现有员工和新员工技术培训,完成质量体系复审认证。第二阶段在进步综合优化现有工艺技术基础上,使单晶成品率由现在增加到。。使单晶成品率由现在增加到。以进步提高产品性价比从而增强其竞争力。第三阶段整理各种资料,作好项目技术总结报请项目验收。象。这为本项目顺利实施提供了制度上保障。第二章技术可行性分析项目技术路线工艺设备合理性和成熟性关键技术先进性项目技术路线多晶合成单晶生长晶体加工工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试工艺及设备合理性和成熟性自行设计单晶生长系统本项目研发生产采用自行设计水平砷化镓单晶生长系统,该生长系统在国际上未见成型产品,本项目单位根据多年工艺技术积累,选用精密温控仪表欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组合,可保证在长达天单晶生长过程中温控精度,炉体移动速度最低时小时爬行不大于......”。
4、“.....归档资料。未经允许,请勿外传,国际市场状况及本项目产品市场占有情况风险因素及对策分析第五章投资估算及资金筹措项目投资估算资金筹措方案投资使用计划第六章经济和社会效益分析未来五年生产成本销售收入估算财务分析不确定性分析财务分析结论社会效益分析第七章综合实力和产业基础企业员工构成企业负责人情况企业新产品研发能力及内部管理体系企业从事该产品生产条件产业基础第八章项目实施进度计研发基地,加快了单晶材料产业化步伐......”。
5、“.....加工直径英寸晶片单晶,年建成了国内第个有台单晶生长系统生产线,年产单晶,使我国单晶年产量首次突破,我国单晶材料研究由长期实验室阶段向产业化迈出了第大步。国瑞电子材料有限责任公司年月注册成立,由北京有色金属研究总院和有研半导体材料股份有限公司共同出资组建。注册资金万元,有研总院占股份,对该公司有绝对控股权,原有研总院该项目研发人员全部转入国瑞公司继续水平砷化镓项目研究与开发工作。目前企业拥有单晶生产系统台及相应晶片加工切片机磨片机划园机倒角机抛光机等性能检测设备......”。
6、“.....主要用于设备购置原辅材料费购置研发费用工资福利费市场调研培训和其他费用,资金来源为企业自筹。管理商,公司制定了以人为本,科学管理,追求卓越,顾客至上,持续发展质量方针,尊重人才,通过培训不断提高员工素质,重视人力资源开发,倡导全员参与采用现代管理方法,使工作规范化合法化,持续提高工作效率和质量重视质量,通过推行科学质量管理,持续改进产品质量服务和管理水平提供符合顾客要求产品,达到并超过顾客满意,争取更多顾客,拓展市场持续改进质量管理体系,使公司保持同行业前列。公司年通过质量管理体系认证,并且在生产管理等每个环节都严格按要求去做,从而保证产品质量,降低生产成本。企业从事该产品生产条件产业基础本项目产品技术成熟,年通过了中科镓英半导体有限公司质量管理部所做测试报告,并于同年通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结果为产品技术产品质量均达到国际先进水平,具备进步扩大生产规模技术条件......”。
7、“.....目前本产品成功进入世界上最大水平砷化镓单晶应用厂商日本住友电工公司。国外另重要用户韩国认为该项目产品质量等同于日本住友电工公司产品。国内中科镓英公司大量购买本项目产品经加工后亦成功进入国际市场,产品市场销售网络已经形成。企业现有生产好管理体制,在国内外用户中树立了良好形象。这为本项目顺利实施提供了制度上保障。第二章技术可行性分析项目技术路线工艺设备合理性和成熟性关键技术先进性项目技术路线多晶合成单晶生长晶体加工工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天熔料接籽晶走车生长单晶降温出炉晶体测试工艺及设备合理性和成熟性自行设计单晶生长系统本项目研发生产采用自行设计水平砷化镓单晶生长系统,该生长系统在国际上未见成型产品,本项目单位根据多年工艺技术积累,选用精密温控仪表欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组合,可保证在长达天单晶生长过程中温控精度......”。
8、“.....采用优质管支撑石英反应管使石英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径扩大不超过。石英舟预处理技术单晶生长是在密封于石英反应管中石英舟中进行,因此首先要解决是石英舟与熔体粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利,不出多晶孪晶。生长完成后,晶体易从舟中取出脱舟良好且生长晶体完整性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长个较严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳,碳舟虽可避免粘接问题,但碳易大量掺入晶体成为有害杂质,从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞公司经多年研究实践找到了解决粘接问题良好方法,成为本公司项独特专有技术石英舟预处理技术,该项技术主要是在适当溶剂中进行热处理,它可保证在长达天单晶连续生长中,熔体与舟不粘接,单晶生长完成后,单晶顺利脱舟。纵向温度分布技术通过中高温热场合理配置,提高晶片纵向均匀性,有利于提高成品率。本项目所设计水平单晶炉是种多段式两温区炉,只有热场配置合理即温度梯度合适才有可能生长出合格单晶......”。
9、“.....设计出了合理热场,优化了温度分布,为提高单晶生长成品率实现该工艺产业化创造了又个有利条件。本项目中,单晶生长采用两步法,即先合成多晶然后再次备料生长单晶,备好多晶放入两温区多段加热炉中生长单晶谓之无砷端生长技术。两温区炉高温区温度为。中温区为。这种加热结构既得到所需温度分布,又可抑制生长过程中污染。污染是由于舟石英管都是石英即材料易于使并入熔体和单晶中。抑制污染机理是在合成和晶体生长中,高温区发生熔体中与石英反应单晶生长过程中固液界面与生长方向之间角度和所切晶片晶向与单晶生长方向之间角度不致,所切晶片上载流子浓度会形成浓度梯度,即得不到均匀分布,这会对在晶片上生长外延材料及器件成品率和性能造成不良影响。角度不致还有可能在晶体内部出现热应力而导致晶体完整性差,使增大,从而降低成品率。国内外在水平单晶研究开发中,多年来都是使用管状加热炉。因此,固液界面只能与生长方向垂直,无法得到所需要偏角。管状加热炉除了无法得到所需偏角以外......”。
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