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(定稿)钽靶材、钽环件成品加工技术改造项目投资可研申请报告(正本) (定稿)钽靶材、钽环件成品加工技术改造项目投资可研申请报告(正本)

格式:word 上传:2022-06-24 17:19:27

《(定稿)钽靶材、钽环件成品加工技术改造项目投资可研申请报告(正本)》修改意见稿

1、“.....获得成品钽靶材型钽靶材和钽环件加工工艺。具体取得成果分述如下高性能钽靶材成品加工工艺研究取得技术突破钽靶材和铜铜背靶扩散焊接技术,焊接结合率大于,结合强度满足要求成品钽靶材机加工艺,产品尺寸及形位公差满足用户要求成品钽靶材表面铝热喷涂工艺成品钽靶材清洗工艺。靶材坯料成品靶材市场情况成品钽靶材工艺技术突破后,经多次工艺试验及改进,对靶材进行破坏检测,各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先进材料公司上机测试,测试结果同国外提供钽靶材结果致。现在正在积极推进在其他半导体公司进行上机测试。型钽靶材生产工艺研究取得技术突破型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织型钽靶材拉深工艺型钽靶材机加工艺型钽靶材焊接工艺。靶材坯料同规格铜型靶材市场情况型钽靶材目前在国内没有应用,我们图纸来源于公司,他们希望我们加工成品提供,由于我们没有关键设备,前期试验都在外协加工......”

2、“.....所以没有给用户提供样品。溅射钽环件生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究在年取得阶段性成果后,由于市场原因,课题在终止年后,于年完成总体工艺研究。取得技术突破钽环件内外表面滚花工艺,获得菱形花纹,并均匀钽环件端头滚花工艺,获得菱形花纹,和表面花纹致钽环件和钽凸结体焊接工艺,焊接满足标准清洗喷砂工艺,满足美国应用材料公司标准。钽棒和钽条成品钽环件市场情况钽环件加工工艺已基本成熟,件样品送美国公司进行检测认证。国内送到中芯国际样品等待上机测试。取得专利情况已申请国家发明专利已申请国家发明专利有项磁控溅射环件用环体表面柔性滚花方法及刀具,专利申请号磁控溅射环件用钽凸台结体生产方法及冲压模具本环件材料平均成本每套靶材水电汽成本固定成本其中靶材平均价格万元环件平均价格万元靶材材料平均成本万元环件材料平均成本万元每套靶材水电汽成本万元固定成本万元计算结果套盈亏平衡点项目完成后可实现新增产值期完成后,按照件钽靶材,套环件计算,预计可实现新增产值约万元,二期完成后......”

3、“.....套环件计算,预计可实现新增产值约亿元。六市场切入情况目前计划切入市场基本情况中芯国际集成电路制造有限公司靶材约块年,环件约件年,产值约亿。台积电靶材约块年,环件约件年,产值约亿。销售策略利用宁波江丰电子材料有限公司人脉关系,在国内先以低价位切入市场。合作销售商简介宁波江丰电子材料有限公司成立于年,以生产半导体溅射用铝靶材为主,其总经理姚立军博士曾在日本家铝靶材工厂任工厂长职务,回国后曾在公司驻上海公司任职。该公司直希望和我们在钽靶钽环业务上进行合作,将产品推向,和关系较为密切。希望推进国内使用商简介中芯国际集成电路制造有限公司成立于年,是家纯商业性集成电路制造企业,提供微米到纳米以及更先进技术工艺〞和〞芯片代工服务,现成为全球第三大芯片代工厂,也是我们这次国家科技专项联合体之,非常愿意试验并使用我们产品。上海先进半导体制造股份有限公司全球十大芯片代工厂之,最初成立为上海飞利浦半导体公司,年易名为上海先进半导体制造有限公司......”

4、“.....台积电公司是全球最领先规模最大专业集成电路制造服务公司,年成立于台湾,在大陆有其独资子公司台积电上海有限公司。台联电讯股份有限公司是全球第二大芯片代工厂之,年成立于台湾,仅次于台积电公司。切入市场价格情况以种规格产品举例钽靶目前市场上采购价格是块,我们最低以块切入钽环目前市场上采购价格是件,我们最低以件切入。七安全与环境评价该项目属钽深加工产品,对提升钽加工技术水平,提高资源利用率,加强钽资源开发和综合利用具有很重要作用,同时能够促进下游电子信息等行业技术进步和产业发展。该项目实施可以拓宽产业链,提高产品附加值,对改善东方有色产业结构和经济结构具有重要作用。本项目生产集中于得具本环件材料平均成本每套靶材水电汽成本固定成本其中靶材平均价格万元环件平均价格万元靶材材料平均成本万元环件材料平均成本万元每套靶材水电汽成本万元固定成本万元计算结果套盈亏平衡点项目完成后可实现新增产值期完成后,按照件钽靶材,套环件计算,预计可实现新增产值约万元......”

5、“.....按照件钽靶材,套环件计算,预计可实现新增产值约亿元。六市场切入情况目前计划切入市场基本情况中芯国际集成电路制造有限公司靶材约块年,环件约件年,产值约亿。台积电靶材约块年,环件约件年,产值约亿。销售策略利用宁波江丰电子材料有限公司人脉关系,在国内先以低价位切入市场。合作销售商简介宁波江丰电子材料有限公司成立于年,以生产半导体溅射用铝靶材为主,其总经理姚立军博士曾在日本家铝靶材工厂任工厂长职务,回国后曾在公司驻上海公司任职。该公司直希望和我们在钽靶钽环业务上进行合作,将产品推向,和关系较为密切。希望推进国内使用商简介中芯国际集成电路制造有限公司成立于年,是家纯商业性集成电路制造企业,提供微米到纳米以及更先进技术工艺〞和〞芯片代工服务,现成为全球第三大芯片代工厂,也是我们这次国家科技专项联合体之,非常愿意试验并使用我们产品。上海先进半导体制造股份有限公司全球十大芯片代工厂之,最初成立为上海飞利浦半导体公司,年易名为上海先进半导体制造有限公司......”

6、“.....台积电公司是全球最领先规模最大专业集成电路制造服务公司,年成立于台湾,在大陆有其独资子公司台积电上海有限公司。台联电讯股份有限公司是全球第二大芯片代工厂之,年成立于台湾,仅次于台积电公司。切入市场价格情况以种规格产品举例钽靶目前市场上采购价格是块,我们最低以块切入钽环目前市场上采购价格是件,我们最低以件切入。七安全与环境评价该项目属钽深加工产品,对提升钽加工技术水平,提高资源利用率,加强钽资源开发和综合利用具有很重要作用,同时能够促进下游电子信息等行业技术进步和产业发展。该项目实施可以拓宽产业链,提高产品附加值,对改善东方有色产业结构和经济结构具有重要作用。本项目生产集中于得技术突破钽环件内外表面滚花工艺,获得菱形花纹,并均匀钽环件端头滚花工艺,获得菱形花纹,和表面花纹致钽环件和钽凸结体焊接工艺,焊接满足标准清洗喷砂工艺,满足美国应用材料公司标准。钽棒和钽条成品钽环件市场情况钽环件加工工艺已基本成熟......”

7、“.....国内送到中芯国际样品等待上机测试。取得专利情况已申请国家发明专利已申请国家发明专利有项磁控溅射环件用环体表面柔性滚花方法及刀具,专利申请号磁控溅射环件用钽凸台结体生产方法及冲压模具,专利申请号磁控溅射环,专利申请号。正在申请发明专利正在申请发明专利有项钽靶材织构控制钽和铜铝钛异种金属扩散焊接溅射钽环件用钽条制备工艺。三建设方案项目规模及主要内容建设规模为钽靶材套年,钽环件套年。主要内容是厂房改造和部分关键设备购买,改造厂房面积约,购买关键设备如表表购买关键设备明细序号设备名称数量工艺要求用途电子束焊机台最大加速电压电子束功率焊接室容积。靶焊接及环件焊接数控车床大台回转直径通用卧式数控车床。焊接后靶材成品车削数控车床小台回转直径通用卧式数控车床。钽环用钽凸结体成品车削镗铣加工中心台工作台尺寸为通用镗铣加工中心。成品靶材铣削及环件焊接槽和端头滚花热喷涂设备套电弧喷涂机。靶材成品喷涂喷砂设备套吸入式干喷砂。钽环件成品喷砂和钽靶材喷涂前喷砂工艺......”

8、“.....宽度。环件卷园超声波扫描设备台专用设备靶材焊接质量检验清洗设备台专用设备。环件及靶材成品清洗包装专用轧辊对用于靶材及环件轧制购买设备多为通用设备,也可用于分厂其它产品生产。热等静压机和三座标检测设备现在公司都有,可共用。产品工艺稳定,并有稳定用户后,再进行扩能建设,扩能建设主要补充机加设备和检测设备三坐标仪。实施工艺路线成品钽靶材工艺路线工艺可行性分析,此工艺是经过多次试验最终确定生产工艺,加工产品既通过实验室分析检测织构检测,金相检测,焊接强度检测,焊接结合率检测,尺寸检测,外观检测,也通过最终用户上机测试,工艺先进,在国内属领先水平。成品钽环件工艺路线成品钽环件工艺路线及所用设备焊接粗加喷砂喷涂检验精加检验清洗封装包装热等静压数控车大三坐标喷砂机车铣热喷涂封装机清洗线洁净室卷圆内外表面滚花划技术突破钽环件内外表面滚花工艺,获得菱形花纹,并均匀钽环件端头滚花工艺,获得菱形花纹,和表面花纹致钽环件和钽凸结体焊接工艺......”

9、“.....满足美国应用材料公司标准。钽棒和钽条成品钽环件市场情况钽环件加工工艺已基本成熟,件样品送美国公司进行检测认证。国内送到中芯国际样品等待上机测试。取得专利情况已申请国家发明专利已申请国家发明专利有项磁控溅射环件用环体表面柔性滚花方法及刀具,专利申请号磁控溅射环件用钽凸台结体生产方法及冲压模具,专利申请号磁控溅射环,专利申请号。正在申请发明专利正在申请发明专利有项钽靶材织构控制钽和铜铝钛异种金属扩散焊接溅射钽环件用钽条制备工艺。三建设方案项目规模及主要内容建设规模为钽靶材套年,钽环件套年。主要内容是厂房改造和部分关键设备购买,改造厂房面积约,购买关键设备如表表购买关键设备明细序号设备名称数量工艺要求用途电子束焊机台最大加速电压电子束功率焊接室容积。靶焊接及环件焊接数控车床大台回转直径通用卧式数控车床。焊接后靶材成品车削数控车床小台回转直径通用卧式数控车床。钽环用钽凸结体成品车削镗铣加工中心台工作台尺寸为通用镗铣加工中心......”

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