1、“.....年月，成都全市出口便携式电脑万台， 全部为平板电脑，出口金额为亿美元，约占全市出口总额的而重庆 便携式电脑出口量达万台，出口金额为亿美元，占全市出口总量的。 氧水无水 乙醇丙酮甲苯三氯乙烯等多个品种。其生产工艺是以这此产品的化学试剂为原料，在专用的洁净厂房中用专用的石英玻璃设备中进行亚沸蒸馏分子蒸 馏等工艺提纯。使其杂质指标达到超净高纯试剂的要求。然后在严格不受外界污 染的条件下输送到级净化间中的级工作台中，用事先经过洁净处理并达到要 求的容器分装封口后，经专用通道输出到洁净的外包装间。 进入级净化间的工作人员要尽量少，并严格按洁净要求动作，事先要在万 级洁净间内更换防尘工作服后经风淋间淋至达到要求才能进入。 包装容器在普通洁净工作间先用纯水洗净，然后进入万级工作间进行精洗， 然后由专用通道进入级净化间内，用达到要求的超净高纯水漂洗至合格后......”。

2、“..... 因此，生产超净高纯试剂必须要有下列设施 级超净工作间及外围的万级净化间 万级净化间及在其中安装的各种生产设备 超净包装容器的清洗的设备及超净工作间 超净高纯水生产设备 空气及液体中尘埃颗粒的测试仪器 超净高纯试剂中的杂质测试设备级至级。 超净厂房的建设 现在英寸的芯片生产线，芯片线路线宽都在，需要控制 以上的尘埃颗粒。需要建设级的超净厂房，主要用于产品灌装和产品检测，共 需要平米。其次，为适应英寸以上芯片生产线，超净高纯试剂的高要求，在 级的超净室内还需设置级的超净工作台，核心操作都在超净工作台内完成。这样形成逐级严格的控制，更利于保证洁净度。除上述的核心部分的级超净室 与级超净工作台外，还必须设置更大规模的与其配套的万级超净室与十万级洁 净室。 生产提纯设备的添置 现今的超净高纯试剂其杂质含量已要求在级至级，在这样的要求下......”。

3、“.....必须采用优质的石英玻璃来制作各种生产设 备才能达到要求。这些石英玻璃必须经过专业设计并严格控制加工过程才能制造 出来。 超净包装容器自动清洗线的设计安装 超净高纯试剂的包装容器，历来是其发展过程中的瓶颈问题，很多情况下是 可以生产出合格产品，但经包装后就不能使用了，除了包装容器的材质的选择外， 严格的清洗过程很有必要。其预清洗还可以用人工参加，到最后超净阶段就不是 靠手工能洗得出来的了，必须设计专业的清洗设备，在超净工作间内自动清洗才 能达到要求。 超净高纯水的生产 超净高纯水主要用于生产设备的清洗及包装容器中的清洗，其质量的好坏直 接影响到超净高纯试剂产品的质量。传统的超净高纯水生产工艺是采用反渗透加 离子交换工艺，水质虽可达到使用要求，但离子交换工艺操作中大量使用酸碱， 并生成大量酸碱废液难以处理......”。

4、“.....出水 质量更优，不再产生酸碱废水，运行成本更低。 分析测试仪器的添置液体尘埃颗粒计数器气体尘埃颗粒计数器原子吸收光谱仪等专业分析仪 器及其他许多常规分析设备，更先进的等离子光谱或电感耦合等离子光谱质 谱仪。 三项目建设规模及投资概算 项目总目标年产吨级超净高纯试剂 年产值亿元 年利税亿元。 项目包括如下工程总计万元 超净工作间合计万元 级级超净工作间及配套设施设备，万元 万级超净工作间及配套设施设备，万元 万级洁净生产厂房及配套设施设备，万元。 生产设备合计万元 年产吨超净高纯硫酸设备，万元 年产吨超净高纯盐酸设备，万元 年产吨超净高纯硝酸设备，万元 年产吨超净高纯双氧水设备，万元 年产吨超净高纯无水乙醇设备，万元 年产吨超净高纯氨水设备，万元 年产吨超净高纯甲醇设备，万元 年产吨超净高纯异丙醇设备......”。

5、“.....万元 年产吨超净高纯磷酸设备，万元 年产吨超净高纯冰乙酸设备，万元 年产吨超净高纯氟化铵设备，万元 年产吨超净高纯氟化氢铵设备，万元 年产吨超净高纯乙酸乙酯设备，万元 年产吨超净高纯乙酸丁酯设备，万元 年产吨超净高纯甲苯设备，万元 年产吨超净高纯二甲苯生产设备，万元 年产吨超净高纯三氯甲烷生产设备，万元 年产吨超净高纯四氯化碳生产设备，万元 年产吨超净高纯乙二醇生产设备，万元 年产吨超净高纯三氯乙烯生产设备，万元 年产吨超净高纯二氯甲烷生产设备，万元 年产吨超净高纯环己烷生产设备，万无 年产吨超净高纯丁酮生产设备，万元 与以上各产品相对应的超过滤系统，万元。 超净高纯水生产设备万元 建设日产达吨超净高纯水生产设备，水质达到以上，采用电去离子 技术与反渗透结合工艺，尘埃颗粒以上个 ......”。

6、“.....关键的仪器设 备包括容器等必须依赖进口，超净高纯试剂工艺先进技术如气体吸收离子交换 膜处理技术等的应用要达到国外的先进水平也有定的差距，这也导致真正要实 现超净高纯试剂的工业化规模生产存在较大的差距。 我国半导体市场规模在不断扩大，年我国市场已达亿元。 年年间，平均增长率。目前国内英寸英寸毫米 生产线条，英寸线条，占国内条生产线总数的，产能已占全国的， 英寸以上高端生产线已开始成为国内芯片制造业主体。按十二五计划新建 的生产线对于超净高纯试剂耗用量将有较大幅度增长。此外，随着国内平板显示 器大发展，上广电产能将达到月，京东方产能将达到 月，二厂三厂建成后将达万枚月。工艺与是类似的，需求的超净 高纯试剂也要几万吨。 在市场供应方面，目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化， 在更高档次的超净高纯试剂供应方面，目前绝大部分需要从其他国家或地区进口......”。

7、“.....进口产品的主要来源有日 本韩国美国等国家及我国的台湾地区。 表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率 超净高纯试剂吨吨 我国超净高纯试剂的研制起步于世纪年代中期，年由北京化学试 剂研究所在国内率先研制成功适合中小规模集成电路技术用的种级 试剂。随着集成电路集成度的不断提高，对超净高纯试剂中的可溶性杂质和固体颗 粒的控制越来越严，同时对生产环境包装方式及包装材质等提出了更高的要求。 为了满足我国集成电路发展的需求，国家自六五开始至八五，将超净高纯 试剂的研究开发列入了重点科技攻关计划，并由北京化学试剂研究所承担攻关任 务。到目前为止，北京化学试剂研究所已相继推出了Ⅰ级Ⅱ级和Ⅲ级 超净高纯试剂，其中Ⅲ级超净高纯试剂达到国际标准的水平，适用于 工艺技术的加工制作......”。

8、“.....目前北京化学试剂研究所正在进行用于工艺技术的Ⅳ级 超净高纯试剂的研究开发。 十五期间，国家科技部将用超净高纯试剂研究课题列入了 超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中，由北京化学试剂研究所 上海华谊集团公司等单位承担，其研究的主要目的是完成技 术用超净高纯试剂的研究与开发工作，此项目现已完成，关键品种的制备工 艺已趋完善，配套支撑条件基本上可以满足研发的要求，颗粒金属杂质阴离 子及等分析测试方法的研究也取得了系列成果，为十二五的产业化技 术及更加深入的研究奠定了良好的技术基础。 上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作，加快研究及产业化进程，于年月组建了由华谊集团公司中远化工有限公司三爱富新材 料股份有限公司和上海化学试剂研究所等多元投资的上海华谊微电子化学品有限 公司，成为执行计划的实体主体......”。

9、“.....通过课题的研究开发，不仅提升了 在超净高纯试剂方面的技术水平，也培养了大批专业技术人才。 年由上海华谊集团公司上海中远化工有限公司和台湾联仕共同出 资组建成立合资公司上海华谊微电子材料有限公司，建成吨年规模的 超净高纯试剂生产线，现已正式投产，投资亿万人民币，生产各类微电子化 学品，主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸 氟化铵，产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及 半导体生产线质量标准的要求。 上海华谊微电子材料有限公司建筑面积近平方米，建有世界流水平 的生产线和净化包装线。实验室部分有洁净房平方米，最高洁净要求可以达 到级。拥有价值近万元的大型精密测试仪器和技术装备......”。