1、“.....室内空气温度和相对湿度的检测根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。每次测定时间隔不应大于。半导体公司二号厂房室内测定布置送回风口处恒温工作区具有代表性的地点如沿着工艺设备周围布置或等距离布置没有恒温要求的洁净室中心测点般应布置在距外墙表面大于，离地面的同高度上也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。测点数应符合表的规定。表温湿度测点数波动范围室面积每增加个增加个点间距不应大于，点数不应少于个有恒温恒湿要求的洁净室。室温波动范围按各测点的各次温度中偏差控制点温度的最大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线。如以上测点偏差值在室温波动范围内，为符合设计要求。反之，为不合格......”。

2、“.....各测点平均温度与超偏差值的点数，占测点总数的百分比整理成累计统计曲线，以上测点所达到的偏差值为区域温差，应符合设计要求。相对温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。单向流洁净室截面平均速度，速度不均匀度的检测洁净室垂直单向流和非单向流应选择距离或围护结构内表面大于，离地面高度作为工作区。水平单向流以距送风墙或围护结构内表面处的纵断面为第工作面。测定截面的测点数和测定仪器应符合本规范第条的规定。测定风速应用测定架固定风速仪，以避免人体干扰。不得不用手持风速仪测定时，手臂应伸至最长位置，尽量使人体远离测头。室内气流流形的测定，宜采用发烟或悬挂丝线的方法，进行观察测量与记录。然后，标在记录的送风平面的气流流形图上。般每台过滤器至少对应各观察点。风速的不均匀度按下列公式计算，般值不应大于。半导体公司二号厂房式中各测点风速的平均值标准差......”。

3、“.....每设点测点位于其中心，距地面高度处或按工艺要求设定环氧地坪施工施工准备材料水性环氧地坪涂料底涂中涂面涂，石英砂，石英粉等相关材料。工具基材打磨工具吸尘器批补刮刀辊筒小型搅拌器等。施工条件将地面水泥砂浆剔凿并清扫干净，地面如有油脂类杂质，须用溶剂擦拭干净原水泥地面要求坚硬平整不起砂，地面如有空鼓脱皮起砂裂痕等，必须按要求处理后方可施工。原地面如为水磨石地板砖等光滑地面须先凿成粗糙面只要不积水，或不明显渗漏就可施工，施工时现场条件相对湿度应低于，环境温度在以上。施工步骤底涂将混凝土基材处理完毕并清理干净后就可进行底涂辊涂或刷涂，辊涂或刷涂应均匀，厚薄致，该底涂具有定的透水气功能，能增强基材强度并增加涂层对基材的附着力。中涂在已配好的水性环氧涂料中涂中加入石英砂和石英粉配成水性环氧砂浆，用镘刀将其均匀涂布，用于增加厚度及涂层抗压强度批补中涂后用砂纸将地坪打磨......”。

4、“.....要求达到平整无孔洞，无批刀印及砂磨印为准面涂用辊筒将水性环氧地坪涂料面涂辊二道，完工后要求整体地面光泽柔和洁净颜色均无空鼓养护面层实干需要小时，在这期间应进行封闭，以免影响表面洁净光滑的效果。天后方可上人，完工保养天后方可正式投入使用以为准，低温时开放时间需适度延长。半导体公司二号厂房高架地板施工安装架设高架地板之地坪如系建筑物之地下层楼地板，均须防水处理。除非另有规定，否则须先施以防水水泥粉光，其余楼层如无其它规定则须水泥砂浆粉光。粉光后之地板，俟其干燥至含水率不超过时，于楼地板面及周围墙面上拉线放样，务使高架地板面维持水平，并确保各向间距定。遇墙柱等不规则之边缘面板，应以整块切割使用，不得以零料并接，开孔部分应加设铜质或铝质滑条以保护面板。施工完成之整个构架，应坚实耐用不得有振动或摇动等现象，其表面应平整光洁......”。

5、“.....其基座间应另有斜撑等加固装置。施工中，工程司可随时抽样交由承包商送请指定单位检验，检验不合格者，已做部分需拆除重做，检验费用概由承包商负担。承包商完成高架地板后，须负责面板及隐蔽部分之清洁。面板须清理打腊，所有配件不得有破损及刮痕，否则须换新品。完成后之地板其水平许可差于呎长度内不得超过总许可差则不得超过各测试点取样不样亦可。洁净室之洁净度适合基准各测试点测试之粒子浓度平均值应在上限值以内。半导体公司二号厂房无尘室测试及验收项目风速及空气气流均度空气洁净度室内正压照度噪音温度相对湿度泄漏尘量说明承包商仍需依测试供业主参考。测试及评价验收基准评价验收标准依每测量点之风速值均在设计值之以内。空气洁净度使用仪器使用光散乱式粒子计数器取样之流量。测量程序距离或般地面米高度量测。测量点之周围半径内无碍染源。测量点依规范要求评价验收标准依规范要求在各测量点之平均量值均应在上述规范内......”。

6、“.....最小读数以下。半导体公司二号厂房评价验收标准各区测量数据之测量值之平均需小于等于设计值。温度及湿度使用仪器使用仪器为温度及湿度计，仪器最小读数在，以下。测量程序需待风速及空气气流均匀度测量完成，空调送风系统平衡连续运转至少小时以上才进行测量。距离或般地面米高度量测。温度及湿度必须同时测量。测量时，其指示值应至不变化始可记录。测量点每区各隔间中心下为测量点。每点均测三次，取平均值为测量值。评价验收标准各区所有测量点之平均值均位于该区之设计值计范围。或泄漏测量使用仪器使用光散乱式粒子计数器测量程序测量位置为离下处，以小于速度进行测漏。测量点测量，及与之交接处。评价验收标准取样以为。无尘室完工后需依业主要求全面清洁并管制再行测试微尘粒，直到测试静态之要求，再行交给业主。本工程完工时，承包厂商应以书面通知业主办理验收，业主接获承包厂商之书面通知后......”。

7、“.....半导体公司二号厂房业主正式办理验收时，承包厂商需派员会同，届时若承包厂商未派员会同验收，业主得自行为之，对业主验收之结果，承包厂商不得异议。工程验收时，业主得自行或要求承包厂商挖阅或拆除工程之部份，以供查验，承包厂商应照办，并于验收完竣后予以修复完整，其费用由承包厂商负担。验收不合格者，承包厂商应在指定期限内修改妥善，再通知业主办理复验，前述验收有关之规定于复验时准用之。本工程经正式验收完毕后，由业主发给完工验收证明书，并由承包厂商出具工程保固切结书。施工说明洁净室及员。内部尺寸尺寸配合现场施作调整机械连锁装置在同时间，只能开启边门，避免二门同时开启而让外气污染到洁净室。半导体公司二号厂房悬吊系统共同悬吊系统之负重以能支撑天花板内全部对象重量为考虑，并有倍之安全系数。无尘室空调系统高架地板区侧边回风维修区更衣室包柱回风外气空调箱风量详细设计图......”。

8、“.....另需于中效率过滤网下游，预留化学过滤网空间。冰水干盘管尺寸仅供参考，镀锌牙个干盘管能量需能完全达到室内温湿度设定要求。干盘管需确保完全无冷凝水产生。盘管表面风速应不超过为原则。盘管空气侧压降需配合机外静压选择。盘管表面鳞片需蓝波处理，抗腐蚀。半导体公司二号厂房过滤风扇组锌铝合金为外壳的标准材质。外壳具有坚固的结构，使人员可踩于其上进行维护保养的工作。监控系统由編程軟件的个人计算机主附属及远距控制装置所组成通讯界面......”。

9、“.....分多回路群组控制警报指示具通讯及马达本身两种警报。及。尺寸尺寸仅供参考。采，其他洁净等级采用。最终压损于以下。补集效率。补集效率。单相。风量断面风速为，压损，噪音消耗功率。送回风管道镀锌铁皮，方寸法兰接口，橡胶接合，并以金属胶带黏贴泄漏率吊挂固定，橡塑保温棉厚。界面洁净室内消防由消防工程负责，洁净室工程负责提供十字街头给与消防工程洒水头连接。洁净室工程提供电力供应至，照明，插座等电源运转测试及工程验收承包商需先提送各系统运转测试计划，测试方式以环境系统测试平衡及调整程序标准执行，经业主签认后始可测试，使系统运转以证明系统已加适当之调半导体公司二号厂房整及平衡，并证明其功效符合图说要求。此项测试，最小应在建筑物所产生的热量及冷量的情形下，做四小时的测试。仅作季的测试，在未经测试的季节，应作必要的调整，证明该系统在未经测试的季节，其功效也能符合图说要求......”。