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钽靶材、钽环件成品加工技术改造项目投资可研策划报告(1) 钽靶材、钽环件成品加工技术改造项目投资可研策划报告(1)

格式:word 上传:2022-06-26 00:37:29

《钽靶材、钽环件成品加工技术改造项目投资可研策划报告(1)》修改意见稿

1、“.....套环件计算,预计可实现新增产值约万元,二期完成后,按照件钽靶材,套环件计算,预计可实现新增产值约亿元。六市场切入情况目前计划切入市场基本情况中芯国际集成电路制造有限公司靶材约块年,环件约件年,产值约亿。台积电靶材约块年,环件约件年,产值约亿。销售策略利用宁波江丰电子材料有限公司人脉关系,在国内先以低价位切入市场。合作销售商简介宁波江丰电子材料有限公司成立于年,以生产半导体溅射用铝靶材为主,其总经理姚立军博士曾在日本家铝靶材工厂任工厂长职务,回国后曾在公司驻上海公司任职。该公司直希望和我们在钽靶钽环业务上进行合作,将产品推向,和关系较为密切。希望推进国内使用商简介中芯国际集成电路制造有限公司成立于年,是家纯商业性集成电路制造企业,提供微米到纳米以及更先进技术工艺〞和〞芯片代工服务,现成为全球第三大芯片代工厂,也是我们这次国家科技专项联合体之,非常愿意试验并使用我们产品......”

2、“.....最初成立为上海飞利浦半导体公司,年易名为上海先进半导体制造有限公司,年改制为上海先进半导体制造股份有限公司。台积电公司是全球最领先规模最大专业集成电路制造服务公司,年成立于台湾,在大陆有其独资子公司台积电上海有限公司。台联电讯股份有限公司是全球第二大芯片代工厂之,年成立于台湾,仅次于台积电公司。切入市场价格情况以种规格产品举例钽靶目前市场上采购价格是块,我们最低以块切入钽环目前市场上采购价格是件,我们最低以件切入。七安全与环境评价该项目属钽深加工产品,对提升钽加工技术水平,提高资源利用率,加强钽资源开发和综合利用具有很重要作用,同时能够促进下游电子信息等行业技术进步和产业发展。该项目实施可以拓宽产业链,提高产品附加值,对改善东方有色产业结构和经济结构具有重要作用。本项目生产集中于,产品质量执行美国哈尼威尔公司标准......”

3、“.....制定了企业标准钽铌靶材表面质量检测标准。产品已得到等国内外用户认可,填补国内空白。产品质量得到等国际上大半导体靶材提供商认证,质量稳定可靠,已形成批量销售。详细销售情况见表所有钽靶材表年至年月钽靶材销售表溅射钽环件生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究年立题,年完成阶段性成果,即完成溅射钽环件坯料制备工艺研究。取得技术突破项目时间合计重量销售额万元溅射钽环件用钽条晶粒尺寸在,并均匀致溅射钽环件用钽条同板差小于溅射钽环件用钽凸结体加工工艺,采用压力成型及精加工工艺,保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差要求。市场情况产品研发成功后,产品质量得到国外多家用户认可,形成批量销售。详细销售情况见表......”

4、“.....获得成品钽靶材型钽靶材和钽环件加工工艺。具体取得成果分述如下高性能钽靶材成品加工工艺研究取得技术突破钽靶材和铜铜背靶扩散焊接技术,焊接结合率大于,结合强度满足要求成品钽靶材机加工艺,产品尺寸及形位公差满足用户要求成品钽靶材表面铝热喷涂工艺成品钽靶材清洗工艺。靶材坯料成品靶材市场情况成品钽靶材工艺技术突破后,经多次工艺试验及改进,对靶材进行破坏检测,各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先进材料公司上机测试,测试结果同国外提供钽靶材结果致。现在正在积极推进在其他半导体公司进行上机测试。型钽靶材生产工艺研究取得技术突破型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织型钽靶材拉深工艺型钽靶材机加工艺型钽靶材焊接工艺。靶材坯料同规格铜型靶材市场情况型钽靶材目前在国内没有应用,我们图纸来源于公司,他们希望我们加工成品提供......”

5、“.....前期试验都在外协加工,工艺不稳定成熟,所以没有给用户提供样品。溅射钽环件生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究在年取得阶段性成果后,由于市场原因,课题在终止年后,于年完成总体工艺研究。取体行业生产成本,更重要是严重阻碍了中国半导体行业自主研发能力。所以,我们进行高性能钽靶材和钽环件成品加工,不但可以提升我们企业技术水平,增加利润,增强抵御市场风险能力,完善钽材加工产业链,还可以为中国半导体产业发展提供坚实材料基础,意义重大。项目必要性产品技术附加值大幅提高。以同种型号靶材和环件市场价格举例出口块钽靶材坯料,售价约块,而块成品钽靶材售价是块出口套钽环件散件,售价约套,而套成品钽环件售价是套。提升企业形象,稳定世界三强地位。项目形成产业化后,除进步稳定我们世界钽铌三强地位外,也进步提高了我们在钽深加工领域上技术实力,逐步形成我们在世界市场上主导地位。同时借助产业化装备与技术实力......”

6、“.....如靶等,逐步可实现金属靶产业多元化,增强我们抵御市场风险能力。国家推动力。为推动我国集成电路制造产业发展,提升我国集成电路制造装备工艺及材料技术自主创新能力,年月日,国务院总理温家宝主持召开国务院常务会议,审议并通过核心电子器件高端通用芯片及基础软件产品和极大规模集成电路制造装备及成套工艺两个国家科技重大专项。中色东方集团已经以项目主承担单位身份,和其他八家企业和大学联合承担完成国家在超高纯大尺寸靶材产业技术开发项目。原材料优势。美国和日本制造企业,其制造钽靶材及环件原材料均需对外采购,而我们集团具备原料生产能力,从而使得产品致性能够得到充分保证,这是个很重要优势所在。地理位置优势。中国及亚洲是最大高性能能钽靶材及钽环消耗市场,并且将继续保持以较高速率发展,目前中国及亚洲市场钽靶材主要来自美国和日本......”

7、“.....其中最重要技术要求是材料内部组织符合要求并能保持加工致性。在材料控制方面,我们通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材研制和公司科技攻关项目溅射钽环件生产工艺研究,获得稳定可靠高性能钽靶材坯料以及钽环件坯料加工工艺。具体取得成果分述如下高性能钽靶材研制高性能钽靶材研制被列入年度自治区科技攻关项目,该项目于年完成,并形成批量销售。取得技术突破化学成份和力学性能均符合标准,其中纯度晶粒度控制在之间,并且均匀致再结晶度平整度粗糙度结晶取向在厚度方向呈织构。市场情况通过该项目研究,已确定出合理科学溅镀膜用高性能钽靶材生产工艺,产品质量执行美国哈尼威尔公司标准,技术水平达到国际先进。制定了企业标准钽铌靶材表面质量检测标准。产品已得到等国内外用户认可,填补国内空白。产品质量得到等国际上大半导体靶材提供商认证,质量稳定可靠,已形成批量销售......”

8、“.....年完成阶段性成果,即完成溅射钽环件坯料制备工艺研究。取得技术突破项目时间合计重量销售额万元溅射钽环件用钽条晶粒尺寸在,并均匀致溅射钽环件用钽条同板差小于溅射钽环件用钽凸结体加工工艺,采用压力成型及精加工工艺,保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差要求。市场情况产品研发成功后,产品质量得到国外多家用户认可,形成批量销售。详细销售情况见表,表表年至年月钽条销售表项目时间合计重量销售额万元表年至年月钽环件销售表项目时间合计重量销售额万元高性能能钽靶材和钽环件成品加工技术基础通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材成品加工工艺研究和公司科技攻关项目型钽靶材生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究,获得成品钽靶材型钽靶材和钽环件加工工艺......”

9、“.....结合强度满足要求成品钽靶材机加工艺,产品尺寸及形位公差满足用户要求成品钽靶材表面铝热喷涂工艺成品钽靶材清洗工艺。靶材坯料成品靶材市场情况成品钽靶材工艺技术突破后,经多次工艺试验及改进,对靶材进行破坏检测,各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先进材料公司上机测试,测试结果同国外提供钽靶材结果致。现在正在积极推进在其他半导体公司进行上机测试。型钽靶材生产工艺研究取得技术突破型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织型钽靶材拉深工艺型钽靶材机加工艺型钽靶材焊接工艺。靶材坯料同规格铜型靶材市场情况型钽靶材目前在国内没„„„„„„„项目意义和必要性项目意义随着半导体技术不断进步,计算机芯片集成化程度越来越高,当芯片线宽由原来减小到时,会出现镀膜中向片原子扩散现象,为改变此现象,芯片镀膜工艺上就采用了来作为防止向扩散阻挡层材料,从而也使得溅射靶材由原来系列向系列发展......”

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