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毕业设计UV-LIGA中SU-8胶的溶胀及其抑制研究(3) 毕业设计UV-LIGA中SU-8胶的溶胀及其抑制研究(3)

格式:word 上传:2022-06-26 00:05:50

《毕业设计UV-LIGA中SU-8胶的溶胀及其抑制研究(3)》修改意见稿

1、“.....表掩膜版的电铸实验部分结果单位尺寸尺寸表掩膜版的数据对比掩膜版尺寸实际电铸尺寸差值掩膜版掩膜版通过掩膜版与的数据对比可以得出,设置隔离沟道能够有效的减小溶胀性的影响,设想得到了证实。毕业设计论文报告纸胶的溶胀性实验在实际的电铸过程中,电沉积是个动态的过程,随着时间的增加,铸层会逐渐的变厚,已经沉积上的铸层会限制两侧胶模溶胀的进行......”

2、“.....用掩膜版进行电铸实验,以此来研究胶的溶胀性。测量仪器三丰工具显微镜精度测量长度,单位表是用尺寸为的掩膜版来进行实验所得出的数据。表胶电铸时的溶胀性关键尺寸数据掩膜版序号均值溶胀时间小时尺寸尺寸尺寸尺寸尺寸尺寸尺寸尺寸尺寸尺寸表关键尺寸的均值小时小时小时小时小时尺寸尺寸毕业设计论文报告纸图胶膜尺寸的折线示意图表胶膜尺寸变化量小时小时小时小时小时尺寸单位尺寸单位图胶膜尺寸变化表是用尺寸为的掩膜版来进行实验所得出的数据......”

3、“.....我们可以看出,关键部位尺寸在电铸小时时间内溶胀尺寸在范围内。本章小结本章介绍了光刻胶的溶胀效应。光刻胶属于高聚物,浸泡在电铸液中会发生溶胀效应。溶胀效应的结果是改变胶模的线宽,影响微小零件的尺寸精度......”

4、“.....为了减小胶模的溶胀效应,提高微小零件的尺寸精度,提出了掩模线宽补偿降低电铸温度增设隔离沟道提高电铸效率,减少电铸时间四种措施,并对增设隔离沟道措施进行了研究,得出它们能在定程度上降低胶模的溶胀性。毕业设计论文报告纸第四章总结与展望总结本文围绕基于光刻胶的技术,进行了光刻胶过曝光及微细电铸实验。对影响微小零件尺寸精度的胶的溶胀性进行了较为深入的研究,并对减小胶模溶胀性的措施进行了初步的研究。就制造微型飞行器而言......”

5、“.....它包括光刻溅射刻蚀封装等工艺。结合特种加工和常规切削加工发展而来的微细制造技术,包括微细电铸微注塑准分子激光加工微细电火花加工微成型技术微细铣削加工等当今,微器件和微系统的制造是由多种方法和技术共同承担的,不可能仅仅由种方法或是项技术就能独立完成。微细加毕业设计论文报告纸工技术是由多种技术构成的个群体,主要包括从工艺技器件较多的采用硅材料制造,它沿袭了半导体集成电路加工制造工艺的规范和步骤,很容易兼容机和电两部分......”

6、“.....多种多样的结构复杂功能完善的器件不断的被制造出来微小化的支持技术。只有采用微细加工,才能实现器件和微系统从构想变为现实产品。以光刻技术为基础的微细加工工艺是器件的主要制造工艺,它包括表面及体微加工工艺,及技术。这是因为,目前动了微电子技术在汽车行业上的应用在科学仪器领域,用于传动执行的微系统,常常涉及到微型齿轮线圈微型机械手臂微型传动轴等微型金属零件的制造。微细加工是制造及微小型零件的基础技术,实现产品和重量......”

7、“.....汽车微传感器的迅速发展,技术上的日益完善,能够满足汽车环境苛刻精度准确成本低可靠性高的要求。每辆高档汽车使用了大量的微传感器,这极大的推电子注射泵能够满足人们对给药的时间多种治疗液的混合和剂量准确的高要求在航天领域,技术的发展,使微小型航天器成为今后航天器技术发展的个重要的方向。微型卫星和纳米卫星可以极大的缩小卫星的体积军事科学仪器以及几乎人们可以接触到的所以领域都有着广阔的应用前景。例如,在生物医学领域......”

8、“.....带来了两种新式的药物传输方法表皮渗透和植入系统。器件中的嘴等。已经形成产业或者即将投入大量生产的要数微陀螺微加速度计,它们都是基于硅基微加工技术,且与技术集成在起,所以被认为是成熟的系统。技术在生物医学航空航天环境监控汽车机械化学生物医学物理学材料科学能源科学等几乎自然科学及工程科学的所有领域。目前,技术已经取得很多成果......”

9、“.....目前,技术已经取得很多成......”

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