1、“.....非均匀晶片表面由于晶片的背压的变化而变化，以及相对整个晶圆表面切削速度的变化，参与这个过程成本相对较高。另方面，磨削过程相对过程有些重要的优势，是半导体材料，化学机械抛光有许多优点和些严重的缺点。和这样的柔性和脆性材料用技术可以得到很高效的磨光。然而，这过程相应出现些缺点，比如，很难抛光硬性和脆性材料如硅很容易实现。图是微距镜头在玻璃棒加工的个例子。使用磨削完成硅片纳米表面的精加工将抛光技术用于了个实际应用的解决方案的过程......”。

2、“.....在上，表面光洁度磨削的限制条件当的进给速率和深度保持不变，实验也分析调查当前负载比和表面粗糙度轮磨损的影响。从图中可以很明显看出，表面粗糙度有所改善，但车轮磨损相应地正比比例增加。磨削系统开发和实验开展提供这将影响到表面光洁度。在图中，标志表明黑色地带的形成。达到理想的表面光洁度和避免黑带的形成，重要的是要选择适当的进给速率和气流比例。图粒度对表面的影响图加工过程中条件当前负载比对表面的影响图光过程。从实验结果来看......”。

3、“.....然而，由于在磨损的表面形成了黑色带状，所以机械加工条件进给速度下有限制。图显示了进给速率的影响和当前负载比黑带的形成，这光过程。从实验结果来看，适当增加气流的比例表面粗糙度变好的趋势是显而易见的。然而，由于在磨损的表面形成了黑色带状，所以机械加工条件进给速度下有限制。图显示了进给速率的影响和当前负载比黑带的形成，这将影响到表面光洁度。在图中，标志表明黑色地带的形成。达到理想的表面光洁度和避免黑带的形成......”。

4、“.....图粒度对表面的影响图加工过程中条件当前负载比对表面的影响图磨削的限制条件当的进给速率和深度保持不变，实验也分析调查当前负载比和表面粗糙度轮磨损的影响。好的趋势是显而易见的。然而，由于在磨损的表面形成了黑色带状，所以机械加工条件进给速度下有限制。图显示了进给速率的影响和当前负载比黑带的形成，这将影响到表面光洁度。在图中，标志表明黑色地带的形成。达到理想的表面光洁度和避免黑带的形成，重要的是要选择适当的进给速率和气流比例......”。

5、“.....实验也分析调查当前负载比和表面粗糙度轮磨损的影响。从图中可以很明显看出，表面粗糙度有所改善，但车轮磨损相应地正比比例增加。磨削系统开发和实验开展提供了个实际应用的解决方案的过程。通过选择适当加工和电解条件，在上，表面光洁度很容易实现。图是微距镜头在玻璃棒加工的个例子。使用磨削完成硅片纳米表面的精加工将抛光技术用于半导体材料，化学机械抛光有许多优点和些严重的缺点......”。

6、“.....然而，这过程相应出现些缺点，比如，很难抛光硬性和脆性材料如硅低效率除由于低利率，非均匀晶片表面由于晶片的背压的变化而变化，以及相对整个晶圆表面切削速度的变化，参与这个过程成本相对较高。另方面，磨削过程相对过程有些重要的优势，是磨削过程取代的抛光方法的潜在优势。超越的下显著优势是由于去除率高效率高，整个晶片的表面均匀，参与这个过程的成本较低......”。

7、“.....该磨削操作上进行了计算机数字控制加工中心图新代的纳米表面新代的纳米表面在加工研磨工序中使用电解质磨削原理通过塑性变形而不是断裂，切削硬性材料和脆性材料可以获得镜面抛光表面。当使用超细研磨磨轮磨削是，意识到了柔性模式的机加工。当用粒度及以上的含有金刚石的金属砂轮的时，光滑表面和更少的切削痕迹在玻璃上表现的很明显。日本村田公司介绍了电解加工过程，用粒度小于含有金刚石的金属砂轮磨削陶瓷，他们发现了高效磨削硬性材料和脆性材料的方法。进步提高了磨削工艺......”。

8、“.....并且还有金属的磨削砂轮，以电解磨削实现了更好的表面光洁度。磨削过程的发展是个简单的技术，可以使用在任何传统的研磨机。，基本的系统包括个含有金刚石的金属砂轮电极电源和电解质。新加坡国立大学开发的系统原理图如图所示。通过应用个刷子和轮轴平滑的联接，将含有金属的磨削砂轮做成阳极，电极做成阴极。在阳极和阴极之间大约有的距离，通过磨削液和电流完成电解。图显示了含有金刚石的金属磨削的机理。修正后，颗粒和粘接材料的砂轮表面是光滑的......”。

9、“.....对轮子的校准是必须的。当预加工开始时，粘结的材料从磨削砂轮中飞出，在轮子表面绝缘层由被氧化的粘结材料组成。绝缘层阻断了轮子表面的导电性，防止过多的粘结材料从轮子中飞出。开始研磨，金刚石颗粒和绝缘层磨损地很严重。结果轮子表面的导电率提高，电解质从新开始工作，同时粘结材料也从磨削砂轮中飞出。磨削砂轮的金刚石突出颗粒因此保持不变。从磨削过程到实现稳定的磨削这个循环往复运行。磨削在光学玻璃纳米精加工中的特点磨削系统已经应用于玻璃的磨削......”。