1、“.....对超净高纯试剂中的可溶性杂质和固体颗 粒的控制越来越严,同时对生产环境包装方式及包装材质等提出了更高的要求。 为区。 表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率 超净高纯试剂吨吨 我国超净高纯试剂的研制起步于世纪年代中期......”。

2、“..... 在更高档次的超净高纯试剂供应方面，目前绝大部分需要从其他国家或地区进口， 标准水平及以上档次的产品则全部依赖进口。 进口产品的主要来源有日 本韩国美国等国家及我国的台湾地产能将达到月，京东方产能将达到 月，二厂三厂建成后将达万枚月。 工艺与是类似的，需求的超净 高纯试剂也要几万吨......”。

3、“.....目前级超净高纯试剂已经全部实产能已占全国的， 英寸以上高端生产线已开始成为国内芯片制造业主体。 按十二五计划新建 的生产线对于超净高纯试剂耗用量将有较大幅度增长。 此外，随着国内平板显示 器大发展，上广电高纯试剂的工业化规模生产存在较大的差距......”。

4、“..... 有关资料显 示，超净高纯有机溶剂在半导体工业中的消耗比例大致占，其中有机类化 学品的需求量在微电子化学品中占总体积的以上，市场需求量相当可观。 在超净高纯试剂的发展方面......”。

5、“.....不 同线宽的芯片必须使用不同规格的超净高纯试剂进行蚀刻和清洗。 超净高纯试剂 的质量关键在于控制其所含的金属离子的多少和试剂中尘埃颗粒的含量，对于线 宽较小的超大规模集成电路，几个金属离子或灰尘就足以报废整个电路。 年，国际半导体设备与材料组织制定了国际统的超净高纯试 剂标准......”。

6、“..... 目前，国际上制备到级超净高纯试剂的 技术都已经趋于成熟。 随着集成电路制作要求的提高，对工艺中所需的液体化学 品纯度的要求也不断提高。 技术趋势上看，满足纳米级集成电路加工需求是超净 高纯试剂今后发展方向之......”。

7、“.....超净高纯试剂制备的关键在于控制并达到其所要求的杂质含量和 颗粒度。 为使超净高纯试剂的质量达到要求，需从多个方面同时予以保障，包括 试剂的提纯包装供应系统及分析方法等。 目前，国际上普遍使用的提纯工艺 有十余种，它们适用于不同成分不同要求的超净高纯试剂的生产，例如......”。

8、“..... 超净高纯试剂在运输过程中极易受污染，所以超净 高纯试剂的包装及供应方式是超净高纯试剂使用的重要环。 特别是颗粒控制的 相关技术，它贯穿于超净高纯试剂生产运输的始终，包括了环境控制工艺控 制成品包装控制等各个环节......”。

9、“.....并为微电子加工技术的发展 而不断开发新的产品。 到目前为止,在国际上以德国公司的产量及所占市 场份额为最大,其次为美国公司及日本的关东株式会社......”。