1、“.....张以忱真空镀膜设备方应翠陈长琦矩形平面磁控溅射阴极的磁场模拟及结构设计,石中兵磁控溅射矩形靶磁场的优化设计,邢丽芬矩形平面靶磁场分析及薄膜厚度模拟真空获得设备真空镀膜技术此时所以，管道中为粘滞流。流导前级泵抽速的粗算主泵名义抽速为时的最大工作压强大主泵出口的最大排气压强反主泵的最大排气量大前级泵抽速矩形平面移动溅射靶的设计反前级泵抽速的粗算反所得结果与粗算中相差很少，所以说明所选的前级泵符合要求。抽气时间的计算初抽时间为式中容器的体积包括管道的体积在内容管容器中所要达到的压强容器的初始压强泵的抽速粘滞流时管道的系数为空气自由程与所用气体的自由程的比值为分子流时管道的流导插板阀的流导计算分子泵的抽气时间分子泵对电离规真空计处的有效抽速为矩形平面移动溅射靶的设计管道流导查表得不锈钢放气率为真空室的内表面积为由公式将起始压强为代入将终止压强代入......”。

2、“.....可以将传统溅射过程中的靶材利用率提高至甚至更高，这在工业上具有重大的意义。虽然在以前已经有类似的思想，但是并没有在文献和实际生产过程中看到相关的实例，也希望本设计可以从新的角度为镀膜领域带来新的思维方向。不过在设计的过程中也还有些问题需要以后继续研究，进步提高靶材的利用率。由于在平时的学习中并没有将重点放在磁控溅射方面，磁控对于我而言完全是新的领域，在设计的过程中忽视了很多问题，比如可以通过改变磁极形状，优化磁场，使用异型磁铁来增加水平磁场强度。希望能进步研究出更简单可行的方法再次提高靶材利用率与膜层均匀性。矩形平面移动溅射靶的设计致谢在本文的撰写过程中室内热源的红外辐射又不能通过玻璃辐射出去，这在高纬度地区也可以达到保温节能的目的......”。

3、“.....真空镀膜技术在国内外的发展状况公司的分流设计,它通过在靶和磁极之间放置矩形平面移动溅射靶的设计定形状的铁磁体垫片,使得靶面附近的磁场分布更加均匀,延长了靶的寿命,提高了靶材的利用率,并使得溅射过程更加的稳定。实验证明,增加了垫片以后沟槽的深度是以前的,靶材的利用率提高了同时，溅射过程参量变得更用特斯拉计可测量磁极面中心处的值，由于满足∞和的条件，因此中心中心为相对磁导率，取值为与的下降规律如下在查阅了大量文献资料后，磁铁材料选用，内磁铁截面尺寸，外磁条截面尺寸分别为，。传动装置的设计矩形平面移动溅射靶的设计由于该材料磁铁密度与接近，可近似的取其密度为本设计的传动装置是通过电机丝杠来带动阴极靶，丝杠的主要受力来自阴极靶带来的剪切力，扭力并没有太大影响，因此只需校核剪切应力强度即可。丝杠使用材料......”。

4、“.....取丝杠长度为。同时，为保证安全，在丝杠的末端添加固定装置。由于所需功率要求不是很高，可以选择功率较小的电机，本人选择的是电容分相爪极式永磁可逆同步电机。真空室选泵的计算粗算主泵抽速初选系统极限工作压强，根据经验公式可知系统有效抽速为其中，为抽速，为真空室体积，式中，为真空室内径，为真空室的高计算可得粗选型分子泵抽速为极限真空流导计算矩形平面移动溅射靶的设计分子泵口径为，与真空室之间连接口径为的管道,管道总长度为,中间有个插板阀。总的流导为管道以及插板阀的串联流导。确定气体沿管道的流动状态。真空室工作压力为时，分子泵入口压力很低，所以管口的压力可以忽略，管路中的平均压力，此时所以，管道中为分子流管道流导为插板阀的流导查表得所以，总流导精算主泵抽速考虑管道流导，主泵对真空室的有效抽速所得结果与初算时的抽速相差很小，所以选择的主泵符合要求。前级泵的计算分子泵的前级压力为，所以，根据第机械工业部制定的标准所推荐的前级泵选取型机械泵。流导的计算选取排气口管道为直径的管道，长约为，因为分子泵出口压力......”。

5、“.....计算管道中平均压力方应翠老师作为我的指导老师，她治学严谨，学识渊博，视野广阔，为我营造了种良好的学术氛围。置身其间，耳濡目染，潜移默化，使我不仅接受了全新的思想观念，树立了明确的学术目标，领会了基本的思考方式，掌握了通用的研究方法，而且还明白了许多待人接物与为人处世的道理。其严以律己宽以待人的崇高风范，朴实无华平易近人的人格魅力，与无微不至感人至深的人文关怀，令人如沐春风，倍感温馨。正是由于她在百忙之中多次审阅全文，对细节进行修改，并为本文的撰写提供了许多中肯而且宝贵的意见，本文才得以成型。由于移动靶方面的资料很少很少，所以在刚开始的设计过程中就遇到了巨大的阻碍，有时感觉不知道从何下手，在方老师的耐心教导下，我查阅了大量的资料，虽然没有关于移动靶的具体研究，但是参考了这些资料，激发了我自己的许多灵感。后来就各种想法进行更进步的思考，后来在每次讨论时，方老师就我自己的想法给出宝贵的意见，这为我后面设计的继续进行非常重要。在此特向方应翠老师致以衷心的谢意,向她无可挑剔的敬业精神严谨认真的治学态度深厚的专业修养和平易近人的待人方式表示深深的敬意......”。

6、“.....大宗气体储存与分配系统大宗气体系统包括氮气氢气及二氧化碳系统。氮气系统当锅炉停运段时间时，过热器再热器省煤器水冷壁加热盘管高压加热器低压加热器汽机轴封蒸汽冷却器和除氧器等都将充氮气，使之与空气隔绝。锅炉在停运和化学冲洗期间将排空并充氮气加以保护。此系统由两台机组共用。购买瓶装氮气，瓶中的氮气压力为暂定，这些氮气瓶布置在起形成氮气站，经压力调节阀后，以压力连接到个母管分配系统上，这样，瓶中的氮气就可分配到各用户。二氧化碳系统发电机的氢气冷却系统在运行启动之前，将首先用二氧化碳替代里面的空气。发电机在停下来以后，也将用二氧化碳替代里面的氢气，以确保安全。此系统由两台机组共用。购买瓶装二氧化碳，这些瓶放在起形成二氧化碳气体站，它们并接到根总管上，经压力调节阀后，以压力通过总管分配到二氧化碳的各个用户，用以取代其它气体。二氧化碳气体外购,贮瓶容量为次置换所需要气体容积的倍。氢气系统发电机氢冷却系统包括氢气传送的管道包括厂区管道及阀门，氢气来自化学制氢站。大宗气体储存与分配系统流程图见。汽机轴封系统轴封汽系统为自密封系统......”。

7、“.....并符合防止汽轮机进水而损坏汽轮机的措施，该系统还能向给水泵汽轮机供轴封汽，轴封系统的备用汽源应满足机组冷热态启动和停机的需要。该系统设有轴封压力自动调整装置溢流泄压装置和轴封抽气装置。该系统由哈尔滨汽轮机厂负责设计，主要设备也由哈尔滨汽轮机厂提供。主厂房无压放水母管系统在主厂房的运转层中间层及零米层分别设放水母管，用于接收管道的放水，以上母管合成根管道并排至地下排水管网。节约用水及回收工质措施设置疏水扩容器，将机组启停及运行时的管道疏水收集进疏水扩容器，然后进入凝汽器，以便回收工质。设置容量高低压两级串联旁路，可节约预暖系统用的蒸汽，利于机组启动时回收工质。系统运行方式机组启动条件及启动系统启动条件启动汽源启动用蒸汽由本期新建启动锅炉供给。启动水源电厂循环水水源来自再生水，并考虑生产和生活废水处理后再利用。系统充水来自电厂化水车间。启动系统当具备启动条件后，机组即可开始启动。其启动系统工作情况如下厂用蒸汽系统启动锅炉启动后将辅助蒸汽送入辅汽系统，分别对除氧器可提前加热汽轮机汽封燃油设施等通汽加热。在锅炉启动初期还需对空气予热器的吹扫提供汽源......”。

8、“.....些辅助设备先投入运行，如吸风机电动给水泵等转动机械，这时需保证来自闭式水系统的冷却水源。为使冷却水系统投入运行，可开启闭式循环冷却水泵。由化学来的补给水给凝结水贮水箱上水。在机组启动期间除盐水消耗量较大，除盐水应予先制备装满水箱，以备启动时用。点火油系统供油泵将油送入炉前油系统中打循环，此时通过控制阀调整燃油压力。高能点火器点燃锅炉油枪，完成锅炉点火。汽轮机旁路系统当锅炉启动后，为了提高机组启动速度，缩短启动时间，这时可打开旁路。润滑油系统启动交流润滑油泵进行油循环，同时启动密封油泵顶轴油泵，考文献达道安真空设计手册第版北京国防工业出版社,张以忱真空镀膜设备方应翠陈长琦矩形平面磁控溅射阴极的磁场模拟及结构设计,石中兵磁控溅射矩形靶磁场的优化设计,邢丽芬矩形平面靶磁场分析及薄膜厚度模拟真空获得设备真空镀膜技术此时所以，管道中为粘滞流。流导前级泵抽速的粗算主泵名义抽速为时的最大工作压强大主泵出口的最大排气压强反主泵的最大排气量大前级泵抽速矩形平面移动溅射靶的设计反前级泵抽速的粗算反所得结果与粗算中相差很少，所以说明所选的前级泵符合要求......”。

9、“.....故高真空抽气时间矩形平面移动溅射靶的设计结论本文设计的矩形平面移动溅射靶在定程度上解决了靶材利用率低的问题。可以将传统溅射过程中的靶材利用率提高至甚至更高，这在工业上具有重大的意义。虽然在以前已经有类似的思想，但是并没有在文献和实际生产过程中看到相关的实例，也希望本设计可以从新的角度为镀膜领域带来新的思维方向。不过在设计的过程中也还有些问题需要以后继续研究，进步提高靶材的利用率。由于在平时的学习中并没有将重点放在磁控溅射方面，磁控对于我而言完全是新的领域，在设计的过程中忽视了很多问题......”。