1、“.....张以忱真空镀膜设备方应翠陈长琦矩形平面磁控溅射阴极的磁场模拟及结构设计,石中兵磁控溅射矩形靶磁场的优化设计,邢丽芬矩形平面靶磁场分析及薄膜厚度模拟真空获得设备真空镀膜技术此时所以，管道中为粘滞流。流导前级泵抽速的粗算主泵名义抽速为时的最大工作压强大主泵出口的最大排气压强反主泵的最大排气量大前级泵抽速矩形平面移动溅射靶的设计反前级泵抽速的粗算反所得结果与粗算中相差很少，所以说明所选的前级泵符合要求。抽气时间的计算初抽时间为式中容器的体积包括管道的体积在内容管容器中所要达到的压强容器的初始压强泵的抽速粘滞流时管道的系数为空气自由程与所用气体的自由程的比值为分子流时管道的流导插板阀的流导计算分子泵的抽气时间分子泵对电离规真空计处的有效抽速为矩形平面移动溅射靶的设计管道流导查表得不锈钢放气率为真空室的内表面积为由公式将起始压强为代入将终止压强代入......”。

2、“.....可以将传统溅射过程中的靶材利用率提高至甚至更高，这在工业上具有重大的意义。虽然在以前已经有类似的思想，但是并没有在文献和实际生产过程中看到相关的实例，也希望本设计可以从新的角度为镀膜领域带来新的思维方向。不过在设计的过程中也还有些问题需要以后继续研究，进步提高靶材的利用率。由于在平时的学习中并没有将重点放在磁控溅射方面，磁控对于我而言完全是新的领域，在设计的过程中忽视了很多问题，比如可以通过改变磁极形状，优化磁场，使用异型磁铁来增加水平磁场强度。希望能进步研究出更简单可行的方法再次提高靶材利用率与膜层均匀性。矩形平面移动溅射靶的设计致谢在本文的撰写过程中室内热源的红外辐射又不能通过玻璃辐射出去，这在高纬度地区也可以达到保温节能的目的......”。

3、“.....真空镀膜技术在国内外的发展状况公司的分流设计,它通过在靶和磁极之间放置矩形平面移动溅射靶的设计定形状的铁磁体垫片,使得靶面附近的磁场分布更加均匀,延长了靶的寿命,提高了靶材的利用率,并使得溅射过程更加的稳定。实验证明,增加了垫片以后沟槽的深度是以前的,靶材的利用率提高了同时，溅射过程参量变得更用特斯拉计可测量磁极面中心处的值，由于满足∞和的条件，因此中心中心为相对磁导率，取值为与的下降规律如下在查阅了大量文献资料后，磁铁材料选用，内磁铁截面尺寸，外磁条截面尺寸分别为，。传动装置的设计矩形平面移动溅射靶的设计由于该材料磁铁密度与接近，可近似的取其密度为本设计的传动装置是通过电机丝杠来带动阴极靶，丝杠的主要受力来自阴极靶带来的剪切力，扭力并没有太大影响，因此只需校核剪切应力强度即可。丝杠使用材料......”。

4、“.....取丝杠长度为。同时，为保证安全，在丝杠的末端添加固定装置。由于所需功率要求不是很高，可以选择功率较小的电机，本人选择的是电容分相爪极式永磁可逆同步电机。真空室选泵的计算粗算主泵抽速初选系统极限工作压强，根据经验公式可知系统有效抽速为其中，为抽速，为真空室体积，式中，为真空室内径，为真空室的高计算可得粗选型分子泵抽速为极限真空流导计算矩形平面移动溅射靶的设计分子泵口径为，与真空室之间连接口径为的管道,管道总长度为,中间有个插板阀。总的流导为管道以及插板阀的串联流导。确定气体沿管道的流动状态。真空室工作压力为时，分子泵入口压力很低，所以管口的压力可以忽略，管路中的平均压力，此时所以，管道中为分子流管道流导为插板阀的流导查表得所以，总流导精算主泵抽速考虑管道流导，主泵对真空室的有效抽速所得结果与初算时的抽速相差很小，所以选择的主泵符合要求。前级泵的计算分子泵的前级压力为，所以，根据第机械工业部制定的标准所推荐的前级泵选取型机械泵。流导的计算选取排气口管道为直径的管道，长约为，因为分子泵出口压力......”。

5、“.....计算管道中平均压力方应翠老师作为我的指导老师，她治学严谨，学识渊博，视野广阔，为我营造了种良好的学术氛围。置身其间，耳濡目染，潜移默化，使我不仅接受了全新的思想观念，树立了明确的学术目标，领会了基本的思考方式，掌握了通用的研究方法，而且还明白了许多待人接物与为人处世的道理。其严以律己宽以待人的崇高风范，朴实无华平易近人的人格魅力，与无微不至感人至深的人文关怀，令人如沐春风，倍感温馨。正是由于她在百忙之中多次审阅全文，对细节进行修改，并为本文的撰写提供了许多中肯而且宝贵的意见，本文才得以成型。由于移动靶方面的资料很少很少，所以在刚开始的设计过程中就遇到了巨大的阻碍，有时感觉不知道从何下手，在方老师的耐心教导下，我查阅了大量的资料，虽然没有关于移动靶的具体研究，但是参考了这些资料，激发了我自己的许多灵感。后来就各种想法进行更进步的思考，后来在每次讨论时，方老师就我自己的想法给出宝贵的意见，这为我后面设计的继续进行非常重要。在此特向方应翠老师致以衷心的谢意,向她无可挑剔的敬业精神严谨认真的治学态度深厚的专业修养和平易近人的待人方式表示深深的敬意......”。

6、“.....柱腔内油液被压出，其油路为柱腔阀阀油箱在这里有个问题在冲压工件是系统的压力需要保持定的时间和定的范围以此来达到冲压效果，这时间和油路压力大小怎样控制这时就需要保压。当主液压缸上腔压力达到预定值时，压力继电器发出信号，使电磁铁均失电，阀回到中位，主缸上下腔以及压力缸上腔均封闭，主缸上腔短时保压，此时泵经电磁溢流阀卸荷。保压时间由压力继电器控制的时间继电器调整。滑块向上滑块上行时，通电，阀左位阀左位阀左位接入系统。主滑块上行时，各个柱腔内会留空压力减小，这时电触式压力表发出信号通电，阀左位通电，泵再次向系统供油，使柱腔内充满油液，保持压力平衡，同时油液也起到润滑和减缓冲击的作用，其油路为泵阀阀左端左阀和阀柱腔和主液压缸上腔主滑块和压边滑块同时上行时油路为主油路进油路泵阀阀右下至左上端左主液压缸下腔回油路主液压缸上腔阀号油箱号油箱柱腔阀阀左号油箱号油箱顶出活塞向上第页顶出活塞上行时，通电，阀左位阀右位接入系统。泵供油，油液通过阀，阀进入顶出活塞腔内，腔内压力增加，从而使顶出活塞向上运动......”。

7、“.....和通电，阀左位阀右位接入系统。泵供油，油液通过阀阀右端进入主液压缸上腔，使主滑块和压边滑块向下运动，产生外力使顶出活塞回程。其油路主油路进油路泵阀阀右端主液压缸上腔出油路顶出活塞腔阀阀右号油箱顶出活塞作自由向下运动在顶出缸顶出工件后，是我的指导老师我的同学对我的帮助给了我的灵感。我在这里对他们表示深深的谢意,首先，要特别感谢我的指导老师姚燕老师。姚老师渊博的专业知识，严谨的治学态度，朴实无华平易近人的人格魅力对我影响深远。使我对完成这门课程设计有了很大的兴趣，同时明白许多待人处事道理。其次，要感谢开封大学所有我们级机电体化专业任课的老师，老师们教会我的不仅仅是专业知识，更多的是对待学习对待生活的态度。第三，要感谢我的父母亲，你们是我力量的源泉，不管有什么样的困难，有你们的支持与信任，我都不会害怕，迎难而上克服它。谢谢你们对我的支持与鼓励,最后，感谢与我路走来所有同学。因为有你们的帮助，我才顺利的完成设计。我们之间相互探讨，相互激励，使我轻松攻克困难。在我不开心的时候，你们总会安慰我，我开心的时候总能有你们陪伴，我不会忘记，谢谢你们,随着毕业设计任务的完成以及顺利的通过审核......”。

8、“.....这路，父母老师同学有你们的陪伴我的生活充满了色彩。向你们致谢,参考文献杨慧敏楚忠王华云液压与液压传动，西安工业大学出版社高等职业技术教育研究会审定朱强主编，机械制图，人民邮电出版社高等职业技术教育研究会审定林党养主编，机械绘图，人民邮电出版社。许贤良，王传礼液压传动北京国防工业出版社李善术数控机床机器应用北京机械工业出版社程开关图中未画出发出信号，使均失电泵卸荷，阀右位工作。阀左位工作，顶出缸在自重作用下下降，回油经阀回油箱。第页液压机的典型工艺循环图双动薄板冲压液压机系文献达道安真空设计手册第版北京国防工业出版社,张以忱真空镀膜设备方应翠陈长琦矩形平面磁控溅射阴极的磁场模拟及结构设计,石中兵磁控溅射矩形靶磁场的优化设计,邢丽芬矩形平面靶磁场分析及薄膜厚度模拟真空获得设备真空镀膜技术此时所以，管道中为粘滞流。流导前级泵抽速的粗算主泵名义抽速为时的最大工作压强大主泵出口的最大排气压强反主泵的最大排气量大前级泵抽速矩形平面移动溅射靶的设计反前级泵抽速的粗算反所得结果与粗算中相差很少，所以说明所选的前级泵符合要求......”。

9、“.....故高真空抽气时间矩形平面移动溅射靶的设计结论本文设计的矩形平面移动溅射靶在定程度上解决了靶材利用率低的问题。可以将传统溅射过程中的靶材利用率提高至甚至更高，这在工业上具有重大的意义。虽然在以前已经有类似的思想，但是并没有在文献和实际生产过程中看到相关的实例，也希望本设计可以从新的角度为镀膜领域带来新的思维方向。不过在设计的过程中也还有些问题需要以后继续研究，进步提高靶材的利用率。由于在平时的学习中并没有将重点放在磁控溅射方面，磁控对于我而言完全是新的领域，在设计的过程中忽视了很多问题......”。