1、以下这些语句存在若干问题，包括语法错误、标点使用不当、语句不通畅及信息不完整——“.....保存氧化腐蚀退火离子注入多晶硅去除保存淀积疏松的哈尔滨工业大学工程硕士学位论文实物图多晶硅加聚酰亚胺硅片的清洗必须保证衬底基片清洗干净，否则就会给沉积膜造成各种缺陷，造成沉积的薄膜厚度不均。其清洗顺序为先将硅片用甲苯超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入丙酮中超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入无水乙醇中超声清洗分钟，取出用超纯水反复清洗遍以上，以去除剩余的无水乙醇将清洗完的硅片放入烘干箱中度烘干分钟，取出保存甩胶将聚酰亚胺树脂均匀覆盖多晶硅表面烘干放入烘箱中烘干，直至聚酰亚胺树脂完全固化保存工艺流程图如下实物图多晶硅加聚酰亚胺硅片的清洗必须保证衬底基片清洗干净，否则就会给沉积膜造成各种缺陷，造成沉积硅片清洗甩胶烘干保存腐蚀哈尔滨工业大学工程硕士学位论文的薄膜厚度不均。其清洗顺序为先将硅片用甲苯超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入丙酮中超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入无水乙醇中超声清洗分钟，取出用超纯水反复清洗遍以上，以去除剩余的无水乙醇将清洗完的硅片放入烘干箱中度烘干分钟，取出保存混合配比分别称取二氧化硅粉末，放入到聚酰亚胺中，用球磨机混合均匀，放置小时，以清除气泡......”。

2、以下这些语句存在多处问题，具体涉及到语法误用、标点符号运用不当、句子表达不流畅以及信息表述不全面——“.....以及以多晶硅原片为基底制作各种不同材料钝化层的工艺步骤和具体参数。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文第章多晶硅纳米薄膜表层钝化的分析多晶硅器件的寿命，稳定性，效率等都受到表层钝化质量的影响。钝化效果不好的器件寿命降低，稳定性差，效率低下，这必然影响多晶硅器件的使用。随着时代的发展，人们对多晶硅器件的钝化效果提出了较高的要求。通过第二章表层钝化的原理和测试方法的分析我们知道，对于薄膜材料的表层钝化的薄膜材料的选择采用了几种材料单独或混合制作出了多晶硅纳米薄膜钝化层，本章将对表层钝化的样品进行表征并对钝化效果进行测量和比较。多晶硅表层钝化薄膜的表征图给出了所制备的多晶硅纳米薄膜的照片。从图中可以看出，晶粒大小在左右，大小致，分布均匀。图给出多晶硅样品的图谱。从图中可以看出，除了单晶硅衬底产生的衍射峰外，所制备的多晶硅纳米薄膜还具有等特征衍射峰......”。

3、以下这些语句在语言表达上出现了多方面的问题，包括语法错误、标点符号使用不规范、句子结构不够流畅，以及内容阐述不够详尽和全面——“.....少子寿命与表面复合速率的关系为少子寿命越大，表面复合速率越小，钝化效果越好，反之，少子寿命越小，表面复合速率越大，钝化效果越差。样品多晶硅原片哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从测量的寿命分布图可以看出，样品的寿命分布从微秒到微秒，其中地寿命区域偏多，平均少子寿命为微秒，钝化效果般。富硅的。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的测试分析图可以知道，样品的寿命分布从微秒到微秒，其中深色区域明显增多，其平均少子寿命为微秒，较样品平均少子寿命有了明显的提高，说明经钝化后，钝化效果有了明显的改善。富硅的。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从平均寿命分布图可以看出，样品的最高寿命可达微秒，说明局部的钝化效果有了很大的提高，但是平均少子寿命只有微秒，较样品的平均少子寿命提高不大，说明总体的钝化效果并没有得到大的改善，种材料总体的钝化效果相差不是很大，但是与样品的钝化效果相比，还是有了很大的提高哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的少子平均寿命图可以看出，样品的寿命分布从微秒到微秒，深色区域明显增多，平均寿命较......”。

4、以下这些语句该文档存在较明显的语言表达瑕疵，包括语法错误、标点符号使用不规范，句子结构不够顺畅，以及信息传达不充分，需要综合性的修订与完善——“.....但是大体的钝化效果有了很大改善，最低区域的少子寿命已能提高到微秒。了富硅的。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从的平均寿命分布图可以看出，虽然相比较前面的个型号样品的，平均寿命并没有很大的改善，但是最大寿命可以达到微秒，平均少子寿命也能达到微秒，说明，此样品的钝化效果已经达到了较好的水平哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的平均寿命分布图可以看出，此种钝化材料所能达到的钝化效果已经相当好，其平均少子寿命可以达到微秒，最低最高少子寿命分别为微秒和微秒，钝化效果较前面的个型号的样品有较大的提高，而且颜色变化不是很大，较均。了疏松的。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文从样品的平均寿命分布图可以看到，其少子的平均寿命已经达到了微秒，最低少子寿命已经提高至微秒，已经超过了前面几个样品的最高寿命，钝化效果为所测试的样品中最好的，而且颜色基本均，没有大的变化。多晶硅薄膜钝化样品寿命测试的分析如图为不同钝化材料少子平均寿命的对比分析图，从图中可以看出，其中，以二氧化硅和氮化硅复合钝化膜的效果最佳，二氧化硅单层膜次之，在单层钝化薄膜中，二氧化硅的钝化效果好于聚酰亚胺，氮化硅相对较差。综合测试......”。

5、以下这些语句存在多种问题，包括语法错误、不规范的标点符号使用、句子结构不够清晰流畅，以及信息传达不够完整详尽——“.....从而减低多晶硅的表面复合速率，以提高多晶硅薄膜的钝化效果，延长多晶硅材料的使用寿命，提高器件工作的稳定性。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文本章小结采用原子力显微镜对多晶硅纳米膜的表面形貌进行表征，给出了多晶硅纳米膜形貌图采用微波光电导衰减仪测试了不同钝化材料的多晶硅样品的少子寿命，发现二氧化硅和氮化硅复合制备的多晶硅样品的钝化效果最好，其少子平均寿命可达微秒，单层钝化样品中，二氧化硅的钝化效果最好，氮化硅和聚酰亚胺的效果较二氧化硅要差。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文结论课题在分析多晶硅表层钝化理论的基础上，对多晶硅薄膜的钝化种类和测量方法进行分析和比较，制作出多晶硅纳米膜表层钝化样品，并对在不同类型的表层钝化样品进行了分析和比较。通过研究得出如下结论选择在硅片正面淀积多晶硅纳米薄膜，厚度为，采用对多晶硅纳米膜进行表征，纳米膜的晶粒大小均匀表面平整度良好。多晶硅薄膜的钝化种类和测量方法进行分析和对比，分析表明对于薄膜材料来说采用低压化学气相淀积法和等离子体气相沉积法来制作含有二氧化硅......”。

6、以下这些语句存在多方面的问题亟需改进，具体而言：标点符号运用不当，句子结构条理性不足导致流畅度欠佳，存在语法误用情况，且在内容表述上缺乏完整性。——“.....已被微分调节作用消除。因此，可以改善系统的动态性能。在微分时间选择合适情况下，可以减少超调，减少调节时间。微分作用对噪声干扰有放大作用，因此过强的加微分调节，对系统抗干扰不利。此外，微分反应的是变化率，而当输入没有变化时，微分作用输出为零。微分作用不能单独使用，需要与另外种调节规律相结合，组成或控制器。本课题所采用的智能仪表的算法是类似于的种便于操作应用的控制算法，其控制精度高控制响应速度快等特点使得其在工控上得到了广泛的应用。温度控制系统由被控对象测量装置调节器和执行机构构成。测量装置对被控温度进行测量，并将测量值与给定值比较，若存在偏差便由调节器对偏差信号进行处理，再输送给执行机构来增加或减少供给被控对象的热量，使被控温度调节到整定值。它包括温度传感器和智能仪表等。测量装置的精度直接影响温度控制系统的精度，因此在高精度温度控制系统中必须采用高精度的温度测量装置。被控对象是个装置或个过程，它的温度是被控制量。在些简单的温度控制系统中，也常采用电加热器作为执行机构，对被控对象直接加热。通过调节电压或电流的大小可改变供出的热量。设计温度双极性控制系统......”。

7、以下这些语句存在标点错误、句法不清、语法失误和内容缺失等问题，需改进——“.....在双极性温度控制系统中，锅炉内胆中有铜电阻测温型号，当锅炉内胆温度变化后，即测量值和给定值不相同，温度信号反馈到智能仪表中，和给定值进行比较后，若当前值小于给定值，即智能仪表的变量输出大于零，送出相应的输出信号，控制可控硅触发器起来驱动可控硅的通断，实现使加热器件进行加热，使得值接近及趋向值，从而达到控制锅炉温度的目的若当前值大于给定值，即智能仪表的变量输出小于零，送出相应的输出信号，控制管道阀门的开度大小，以便控制冷却水的流量，从而对锅炉进行降温，使得值接近及趋向值。要想实现对锅炉温度升温保温降温的程序曲线控制，需要利用智能仪表的温度调节功能。在该模拟夹套锅炉的温度控制系统中，由于本实验装置用的内胆作为加热锅炉，散热较慢，试验中为闭环不自衡对象，并且温度对象有较大的滞后，所以可以把温度对象确定为阶积分加纯滞后延迟环节。升温降温过程具有线性增加或递减的特点，并且在双极性温度控制当中，升温过程比降温过程惯性大，降温时冷却水注入有滞后，保温时控制精度较好。控制系统原理图如图所示......”。

8、以下文段存在较多缺陷，具体而言：语法误用情况较多，标点符号使用不规范，影响文本断句理解；句子结构与表达缺乏流畅性，阅读体验受影响——“.....实验所用的管道流程图如图所示关闭手阀打开手阀往内胆中注水，注水使得锅炉内胆液位达到左右即可对锅炉进行加热。注水完毕后，关闭手阀打开手阀可以往外胆注入冷却水，以便可以方便的降低锅炉的温度。双极性温度控制系统的参数整中华传统文化经典，让我更深刻的认识到什么是真正的孝，在做人做事方面也使我受益匪浅。在课余时间殷老师经常组织我们各个实验组之间进行篮球比赛，让我们在学习之余能锻炼身体，也促进了同学们之间的友谊。殷老师诲人不倦的育人精神，严谨的治学作风，在学习工作中对我严格的要求给我极大单冷却分钟。保存氧化腐蚀退火离子注入多晶硅去除保存淀积疏松的哈尔滨工业大学工程硕士学位论文实物图多晶硅加聚酰亚胺硅片的清洗必须保证衬底基片清洗干净，否则就会给沉积膜造成各种缺陷，造成沉积的薄膜厚度不均。其清洗顺序为先将硅片用甲苯超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入丙酮中超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入无水乙醇中超声清洗分钟，取出用超纯水反复清洗遍以上，以去除剩余的无水乙醇将清洗完的硅片放入烘干箱中度烘干分钟，取出保存甩胶将聚酰亚胺树脂均匀覆盖多晶硅表面烘干放入烘箱中烘干......”。

9、以下这些语句存在多方面瑕疵，具体表现在：语法结构错误频现，标点符号运用失当，句子表达欠流畅，以及信息阐述不够周全，影响了整体的可读性和准确性——“.....否则就会给沉积膜造成各种缺陷，造成沉积硅片清洗甩胶烘干保存腐蚀哈尔滨工业大学工程硕士学位论文的薄膜厚度不均。其清洗顺序为先将硅片用甲苯超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入丙酮中超声震荡清洗分钟，取出再将硅片放入无水乙醇中超声清洗分钟，取出用超纯水反复清洗遍以上，以去除剩余的无水乙醇将清洗完的硅片放入烘干箱中度烘干分钟，取出保存混合配比分别称取二氧化硅粉末，放入到聚酰亚胺中，用球磨机混合均匀，放置小时，以清除气泡。分别制作出质量体积比为的五种钝化胶匀胶用匀胶机分别将种配比的钝化较均匀涂覆在多晶硅片上烘干分别在下烘干个小时保存待测量本章小结介绍了多晶硅纳米薄膜表层钝化所使用的多晶硅原片的制作步骤和制作工艺的具体参数，以及以多晶硅原片为基底制作各种不同材料钝化层的工艺步骤和具体参数。哈尔滨工业大学工程硕士学位论文第章多晶硅纳米薄膜表层钝化的分析多晶硅器件的寿命，稳定性，效率等都受到表层钝化质量的影响。钝化效果不好的器件寿命降低，稳定性差，效率低下，这必然影响多晶硅器件的使用。随着时代的发展......”。