1、以下这些语句存在若干问题,包括语法错误、标点使用不当、语句不通畅及信息不完整——“.....因此在工艺加工过程中要规范谨慎参考文献。离子注入工艺及设备研究第六章离子注入质量检测颗粒污染测量检测表面的颗粒数,颗粒会造成掺杂的空洞。颗粒的可能来源有电极放电机械移动过程中的外包装注入机未清洁干净温度过高造成光刻胶脱落背面的冷却橡胶处理过程产生的颗粒。剂量控制掺杂剂量不合适导致方块电阻偏高或偏低。掺杂剂量不合适的原因有工艺流程离子束电流检测不够精确离子束中混入电子,造成计数器计算离子数量的,导致掺杂剂量过大退火问题。超浅结结深掺杂剖面不正确,高温会造成杂质再分布,增加结深以及横向掺杂效应沟道效应影响离子的分布。江苏信息职业技术学院毕业设计论文第七章总结离子注入技术是近几十年以来在国际上得到蓬勃发展和广泛应用的种材料表面改性的高新技术。随着工艺技术的不断发展,离子注入机的不断更新,该技术将在半导体工艺中发挥越来越重要的作用。离子注入法掺杂相比扩散法掺杂来说,它的加工温度低容易制作浅结均匀的大面积注入杂质易于自动化等优点。目前,离子注入法已成为超大规模集成电路制造中不可缺少的掺杂工艺......”。
2、以下这些语句存在多处问题,具体涉及到语法误用、标点符号运用不当、句子表达不流畅以及信息表述不全面——“.....它所取得的成功是其优越性的最好例证。低温掺杂精确的剂量控制掩蔽容易均匀性好这些优点,使得经离子注入掺杂所制成的几十种半导体器件和集成电路具有速度快功耗低稳定性好成品率高等特点。对于大规模超大规模集成电路来说,离子注入更是种理想的掺杂工艺。如前所述,离子注入层是极薄的,同时,离子束的直进性保证注入的离子几乎是垂直地向内掺杂,横向扩散极其微小,这样就有可能使电路的线条更加纤细,线条间距进步缩短,从而大大提高集成度。此外,离子注入技术的高精度和高均匀性,可以大幅度提高集成电路的成品率。随着工艺上和理论上的日益完善,离子注入已经成为半导体器件和集成电路生产的关键工艺之。在制造半导体器件和集成电路的生产线上,已经广泛地配备了离子注入机。离子注入工艺及设备研究致谢本论文是在我的导师刘锡锋老师的亲切关怀和悉心指导下完成的。他严肃的科学态度,严谨的治学精神,精益求精的工作作风,深深地感染和激励着我。刘老师不仅在学业上给我以精心指导,同时还在思想生活上给我以无微不至的关怀,在此谨向刘老师致以诚挚的谢意和崇高的敬意。我还要感谢在起愉快的度过毕业论文小组的同学们......”。
3、以下这些语句在语言表达上出现了多方面的问题,包括语法错误、标点符号使用不规范、句子结构不够流畅,以及内容阐述不够详尽和全面——“.....直至本文的顺利完成。在论文即将完成之际,我的心情无法平静,从开始进入课题到论文的顺利完成,有多少可敬的师长同学朋友给了我无言的帮助,在这里请接受我诚挚的谢意,最后我还要感谢培养我长大含辛茹苦的父母,谢谢你们,最后,再次对关心帮助我的老师和同学表示衷心地感谢,江苏信息职业技术学院毕业设计论文参考文献张渊主编,半导体制造工艺。北京机械工业出版社,。半导体制造技术。韩子束的入射方向偏转离子束流半径增大,导致掺杂不均匀,难以控制电荷积累还会损害表面氧化层,使栅绝缘绝缘能力降低。梁瑞林。半导体器件新工艺。北京科学出版社,。,具有荷质比为的其它离子的偏转量为将前面的的表达式江苏信息职业技术学院毕业设计论文代入,得讨论为屏蔽荷质比为的离子,光阑半径必须满足若固定......”。
4、以下这些语句该文档存在较明显的语言表达瑕疵,包括语法错误、标点符号使用不规范,句子结构不够顺畅,以及信息传达不充分,需要综合性的修订与完善——“.....磁质量分析器图磁质量分析器离子注入工艺及设备研究为向心力,使离子作圆周运动,半径为从上式可知,满足荷质比的离子可通过光阑。或者对于给定的具有荷质比为的离子,可通过调节磁场使之满足下式,从而使该种离子通过光阑,其余的离子则不能通过光阑,由此达到分选离子的目的。另外,若固定和,通过连续改变,可使具有不同荷质比的离子依次通过光阑,测量这些不同荷质比的离子束流的强度,可得到入射离子束的质谱分布。加速聚焦器为了保证注入的离子能够进入,并且具有定的射程,离子的能量必须满足定的要求,所以,离子还需要进行电场加速。完成加速任务的是由系列被介质隔离的加速电极组成管状加速器。离子束进入加速器后,经过这些电极的连续加速,能量增大很多。与加速器连接的还有聚焦器,聚焦器就是电磁透镜,它的任务是将离子束聚集起来,使得在传输离子时能有较高的效益,聚焦好的离子束才能确保注入剂量的均匀性。扫描系统离子束是条直径约的线状高速离子流,必须通过扫描覆盖整个注入区。扫描方式有固定,移动离子束固定离子束,移动。离子注入机的扫描系统有电子扫描机械扫描混合扫描以及平行扫描系统,目前最常用的是静电扫描系统......”。
5、以下这些语句存在多种问题,包括语法错误、不规范的标点符号使用、句子结构不够清晰流畅,以及信息传达不够完整详尽——“.....组完成横向偏转,另组完成纵向偏转。在平行电极板上施加电场,正离子就会向电压较低的电极板侧偏转,改变电压大小就可以改变离子束的偏转角度。静电扫描系统使离子流每秒钟江苏信息职业技术学院毕业设计论文横向移动多次,纵向移动移动次。静电扫描过程中,固定不动,大大降低了污染几率,而且由于带负电的电子和中性离子不会发生同样的偏转,这样就可以避免被掺入到当中。终端系统终端系统就是接受离子注入的地方,系统需要完成的承载与冷却正离子的中和离子束流量检测等功能。离子轰击导致温度升高,冷却系统要对其进行降温,防止出现由于高温而引起的问题,有气体冷却和橡胶冷却两种技术。冷却系统集成在载具上,载具有多片型和单片型两种。离子注入的是带正电荷的离子,注入时部分正电荷会聚集在表面,对注入离子产生排斥作用,使入对颗粒污染非常敏感,表面的颗粒会阻碍离子束的注入,大电流的注入会产生更多颗粒,过后的清洗虽然可以除掉颗粒但留下的看不见的遮挡是个不易发现的致命的缺陷。所以我们要尽可能地避免这种情况的发生......”。
6、以下这些语句存在多方面的问题亟需改进,具体而言:标点符号运用不当,句子结构条理性不足导致流畅度欠佳,存在语法误用情况,且在内容表述上缺乏完整性。——“.....甚方选择,选定涂料项目部组织人员对其他工地外墙涂料进行考察,向有关专家进行请教,并听取有关涂料厂家的产品介绍,并邀请厂家到工地制作样板间。经综合比较,并考虑设计单位业主监理的意见,最后选定美国美威尔外墙涂料。实施八做相溶性试验,选定腻子腻子除了要求其具有易批易打磨外,还应具备较好的强度持久性和耐久性。通过与涂料相溶性试验,并送至省中心检验所根据福建省标准建筑外墙腻子进行检验,最后确定选用福建惠兴工贸有限公司生产的美惠牌外墙腻子。图涂料施工工艺流程检查效果小组于年月日对层外墙面涂料质量进行检查,共检查处,保证项目均合格,般项目共检查点,其中合格数点,缺陷点数共点,合格率为。绘制缺陷统计表和排列图,如表和图所示。墙面湿度及值检测腻子层打磨刮腻子腻子层检查养护不少于天墙面湿度及值检测刷抗碱封闭底漆刷第二遍面漆检查验收质量评定底漆及面漆采用美国美威尔外墙涂料,底漆为,面漆为腻子选用美惠牌外墙专用腻子。分三遍成活,先满刮头遍腻子,修理铲平再刮二遍腻子,砂纸磨光最后刮三遍腻忆,砂纸磨光......”。
7、以下这些语句存在标点错误、句法不清、语法失误和内容缺失等问题,需改进——“.....线角不顺直,裹棱流坠皱皮等质量缺陷已降为次要因素。裹棱流坠皱皮装饰线分色线直线平整度偏差刷纹涂膜泛碱颜色不均匀频数点累积图缺陷排列图巩固措施将外墙面细拉毛施工工艺纳入工地技术文件中。将外墙涂料施工工艺纳入下循环中,并在装饰施工予以完善。遗留问题及下步打算经过这次循环,取得了定的效果。墙面涂膜泛碱现象比较严重,已上升为影响外墙装饰质量的主要因素。在下轮循环中,不但要解决墙面涂膜泛碱质量缺陷,同时还要对层外墙面涂膜泛碱现象进行处理结论产品质量的优劣,是衡量个国家生产力发展水平以及技术经济发展水平的重要标志。不断提高产品质量,直接关系到我们国家四个现代化的早日实现,人民生活的逐步改善以及企业自身的生存发展。建筑业作为国家拉动国民经济增长的支柱性产业,建筑产品的质量与国家经济发展人民生活水平息息相关,其产品质量的好坏直接关系到人民群众的生命财产安危。我国历来就十分重视建筑质量,经过近年的曲折发展,特别是近期系列法律法规条例的颁布和出台,对保证建筑产品的质量起到了显著的作用,建筑质量取得了长足的进步。但在经济利益的驱动下......”。
8、以下文段存在较多缺陷,具体而言:语法误用情况较多,标点符号使用不规范,影响文本断句理解;句子结构与表达缺乏流畅性,阅读体验受影响——“.....不得不给予高度的重视。建筑产品质量问题很大部分出现在施工阶段。施工阶段成了决定建筑产品质量好坏的关键。为此本文着重讨论了施工阶段工程项目的质量管理问题,并提出了点看法建筑工程项目的次性多样性固定性庞大性和产品的社会性的特点,决定了建筑工程项目质量的特点影响工程质量的因素多质量波动大质量变异大质量隐蔽性大。这就决定了质量管理与控制任务的长期性和艰巨性,控制方法的多样化。建筑工程项目质量管理方法全面质量管理。全面质量管理是质量管理的更高境界,因为全面质量管理的核心是三全管理全员参与全过程全企业的正确的抽真空步骤夹紧步骤充气时使用未过滤的气体以及强束流机的转盘造成的,因此在工艺加工过程中要规范谨慎参考文献。离子注入工艺及设备研究第六章离子注入质量检测颗粒污染测量检测表面的颗粒数,颗粒会造成掺杂的空洞。颗粒的可能来源有电极放电机械移动过程中的外包装注入机未清洁干净温度过高造成光刻胶脱落背面的冷却橡胶处理过程产生的颗粒。剂量控制掺杂剂量不合适导致方块电阻偏高或偏低。掺杂剂量不合适的原因有工艺流程离子束电流检测不够精确离子束中混入电子,造成计数器计算离子数量的,导致掺杂剂量过大退火问题......”。
9、以下这些语句存在多方面瑕疵,具体表现在:语法结构错误频现,标点符号运用失当,句子表达欠流畅,以及信息阐述不够周全,影响了整体的可读性和准确性——“.....高温会造成杂质再分布,增加结深以及横向掺杂效应沟道效应影响离子的分布。江苏信息职业技术学院毕业设计论文第七章总结离子注入技术是近几十年以来在国际上得到蓬勃发展和广泛应用的种材料表面改性的高新技术。随着工艺技术的不断发展,离子注入机的不断更新,该技术将在半导体工艺中发挥越来越重要的作用。离子注入法掺杂相比扩散法掺杂来说,它的加工温度低容易制作浅结均匀的大面积注入杂质易于自动化等优点。目前,离子注入法已成为超大规模集成电路制造中不可缺少的掺杂工艺。离子注入是作为种半导体材料的掺杂技术发展起来的,它所取得的成功是其优越性的最好例证。低温掺杂精确的剂量控制掩蔽容易均匀性好这些优点,使得经离子注入掺杂所制成的几十种半导体器件和集成电路具有速度快功耗低稳定性好成品率高等特点。对于大规模超大规模集成电路来说,离子注入更是种理想的掺杂工艺。如前所述,离子注入层是极薄的,同时,离子束的直进性保证注入的离子几乎是垂直地向内掺杂,横向扩散极其微小,这样就有可能使电路的线条更加纤细,线条间距进步缩短,从而大大提高集成度。此外,离子注入技术的高精度和高均匀性......”。
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