1、“.....对薄膜铂电阻元件稳定性进行测试与评估。关于规应用的温度区间，薄膜铂电阻长期稳定性能否满足或更高精度要求，需要结合工艺与设计试验测试进行评估。水相点测试水相点是热力学温标的唯基准点，评估铂电阻元件稳定性，须选择水相点值作为比较基准。因为要评测的稳定性达量关于薄膜铂电阻元件稳定性的测试研究电器论文进行温度测控。对薄膜铂电阻元件的稳定性开展研究，具有重要的战略意义。通过对薄膜铂电阻元件的结构工艺进行分析，可找出影响稳定性的主要因素。针对这些因素设计稳定性加速试验，搭建精准的水相点测试系统，选取样品进行试验......”。

2、“.....薄膜铂电阻元件的测量精度与稳定性主要由薄膜栅条铂电阻决定。采用纯铂靶，通过溅射刻蚀方式制备薄膜栅条铂电阻，膜层均匀致密，杂质与缺陷少，厚度达到时，栅条电阻的阻值与温度系数重复性稳定性好，与铂综合评估薄膜铂电阻元件的稳定性。结构与工艺分析引线式薄膜铂电阻元件，采用片式层状结构，其主要由高纯氧化铝陶瓷基底高纯铂薄膜栅条电阻纯金焊盘合金引线硼硅玻璃保护层构成。铂金属氧化铝陶瓷硼硅玻璃的化学与热稳定性都非常好，封装后的采用相同精度的设备仪器相同的测试参数，对多个样品进行水相点测试......”。

3、“.....测试结果偏差小于，符合测试系统不确定度小于要求，可以用来进行量级的测试评估。稳定性试验与测试对于长期使用的铂电阻元件，常规方法无法测试其稳定究机电工程技术，刘建庆，张金涛，王玉兰，等水相点处铂电阻温度计稳定时间的研究计量技术，周艺标准铂电阻温度计稳定性试验分析仪器仪表标准化与计量，何迎辉，龙悦，何峰，江方何薄膜铂电阻元件稳定性测试与分析微处理机，。测试的阻元件稳定性的主要因素，综合考虑薄膜缺陷杂质电迁移结构封装应力与温度应力等因素，对薄膜铂电阻元件进行了试验与测试。在常规应用的温度段......”。

4、“.....能达到内的稳定性要求，满足高端军事应用环境水相点下阻值测试，薄膜铂热电阻元件电阻最大波动，不超过，其中只样品阻值变化曲线见图。自然贮存下，薄膜铂电阻元件相当稳定，阻值变化幅度不超过，与测试系统的不确定度基本相同。图贮存试验阻值变化曲线从上述试验可见，薄膜铂电阻元设计次温度冲击进行加速考核。加速考核试验同时，还设计了自然贮存试验并周期校准。以此来综合评估薄膜铂电阻元件的稳定性。测试的铂电阻元件采用线制焊接，通过内径比元件尺寸大左右的玻璃管进行隔离密封。铂电阻元件先预冷......”。

5、“.....通过内径比元件尺寸大左右的玻璃管进行隔离密封。铂电阻元件先预冷，再在水相点瓶中测试，预冷与测试时间稳定以上，保证铂电阻元件与水相点瓶间已达到热平衡。关于薄膜铂电阻元件稳定性的测试研究电器论文薄膜热敏电阻器精细刻蚀技术研究传感器与微系统，马毅，张宏宇薄膜铂热电阻特性分析计量与测试技术，吴承汕铂电阻温度计长期稳定性的试验研究仪器仪表标准化与计量，王金鹏，周晨飞，梁军生，等退火工艺对薄膜型铂电阻热阻特性的影响探性好，与铂丝体材基本相同，理论上能达到等标准铂电阻精度或更高......”。

6、“.....采用相同精度的设备仪器相同的测试参数，对多个样品进行水相点测试。经实测，测试结果偏差小于，符合测试系统不确定度小于要求，可以用来求，所设计的测试方法也可为制作高精度高稳定军用温度传感器提供应用参考。参考文献谭贵权薄膜铂电阻元件的应用和检测功能材料，增刊温宇峰，祖光裕，胡明，等薄膜热敏电阻工艺研究电子元件与材料，姜国光，王震，张洪泉，等高灵敏度经过高温电寿命试验次温度冲击试验，电阻没有呈现明显的缓变趋势，最大波动幅度小于。在的自然贮存下，电阻阻值很稳定。说明现有工艺下......”。

7、“.....至少能满足内的稳定性要求。结束语针对影响薄膜铂电瓶中测试，预冷与测试时间稳定以上，保证铂电阻元件与水相点瓶间已达到热平衡。图高温电寿命试验阻值变化曲线图温度冲击试验阻值变化曲线自然贮存试验个生产批次中各选取只薄膜铂电阻元件样品，持续进行个月的常规贮存，每个月进行行量级的测试评估。稳定性试验与测试对于长期使用的铂电阻元件，常规方法无法测试其稳定性，只能采用加速试验方法进行评估。因薄膜缺陷杂质电迁移对稳定性影响最大，设计高温电寿命试验进行加速考核......”。

8、“.....不考虑封装应力与热传递偏差，薄膜铂电阻元件的测量精度与稳定性主要由薄膜栅条铂电阻决定。采用纯铂靶，通过溅射刻蚀方式制备薄膜栅条铂电阻，膜层均匀致密，杂质与缺陷少，厚度达到时，栅条电阻的阻值与温度系数重复性稳定膜铂电阻元件稳定性的测试研究电器论文。结构与工艺分析引线式薄膜铂电阻元件，采用片式层状结构，其主要由高纯氧化铝陶瓷基底高纯铂薄膜栅条电阻纯金焊盘合金引线硼硅玻璃保护层构成。铂金属氧化铝陶瓷硼硅玻璃的化学与热稳定性都非常好级，所以，水相点测试系统的不确定度必须小于......”。

9、“.....薄膜铂电阻元件精度可达级，稳定性也相应提高。航天航空船舶等军事领域，越来越多选用高精度高稳定小结构的薄膜铂电阻元件进行温度测控。对薄膜铂电阻元件稳定性进行测试与评估。关于薄膜铂电阻元件稳定性的测试研究电器论文。基于现有的先进制备工艺，薄膜铂电阻长期稳定性得到很大提高，影响长期稳定性的主要原因是微观物理特性与结构特性，如薄膜缺陷杂质电迁移，结构封装与温度应力。在体材基本相同，理论上能达到等标准铂电阻精度或更高，满足高精度高稳定测温要求。随着薄膜铂电阻制作工艺的发展，薄膜铂电阻元件精度可达级......”。