1、“.....反应的化学方程式为。探讨高温富氛围中的碳化硅的形成过程和机理晶体学论文。单晶硅炉内环境分析由于单晶炉内结构比较复杂，其温度和气体流动情中的碳化硅的形成过程和机理晶体学论文。单晶硅炉内环境分析由于单晶炉内结构比较复杂，其温度和气体流动情况采集困难，为了比较全面地了解单晶硅炉内热场和流场分布情况，本文通过建立单晶硅炉的维模型，利用晶体生长专业软件对单晶硅炉内温度分布和气体流动情况进行模拟分析，模拟过程中采用的物性参数如表所示。通过模拟单晶硅炉内温度和探讨高温富氛围中的碳化硅的形成过程和机理晶体学论文报，年夫雪单晶硅直拉法生长工艺的数值模拟上海上海大学，李进，景华玉，高忙忙，等直拉单晶硅生长过程中晶体长度对内应力的影响硅酸盐通报，施伟，谭毅，郝建洁......”。

2、“.....张佃平，李进，康少付，苏少鹏，李杨高温富环境中复合纤维异化机理研究人工晶体学报，基金国家自然科学基参与反应的硅蒸汽在埚帮处没有沉积，并且碳纤维生成碳化硅的过程是逐层进行。为了提高埚帮的使用寿命，在埚帮的设计过程中可以考虑增加层隔离材料，隔开碳纤维与硅的接触，防止碳和硅发生反应后引起埚帮失效。参考文献姜雷，刘丁，赵跃，等水平磁场作用下直拉单晶硅生长维数值模拟材料热处理学报，关小军，张向宇，潘忠奔，等热屏位置影响直拉单晶被硅蒸汽包围并处在高温环境下，碳与硅发生了较为激烈的化学反应，反应在碳纤维的端部表现更为剧烈，最终生成碳化硅并成块状。图埚帮异化过程示意图结论本文通过晶体生长软件模拟埚帮所处的温度场和流场分布情况，利用和等手段对异化后的复合纤维进行表征，对获得的碳化硅结构和形貌进行了分析，获得以下主要结论......”。

3、“.....利用扫描电镜对异化后的埚帮进行形貌分析。分析结果可以看出，没有发生反应的埚帮部分全部是纤维状并且保持良好的碳纤维形貌，如图所示。从图的形貌变化来看，碳纤维与硅发生反应是从外层逐步向内层扩展，并结合图可以看出，同层碳纤维与硅发生反应沿着碳纤维的方向进行，整个反应过程碳纤维在高温下反应，。在实际的生产过程中发现，由于埚帮处在高温和富硅的复杂工作环境中，目前常用的复合纤维埚帮在使用左右就会失效如图所示，造成了埚帮的高频次更换，降低了生产效率，增加了生产成本。图埚帮异化后图谱从图中可以看出，组试样衍射峰全是碳和碳化硅，说明复合纤维在高温和富硅的环境中与硅发生反应只生成碳化硅，并境中复合纤维异化机理研究人工晶体学报，基金国家自然科学基金。图埚帮异化后图谱从图中可以看出，组试样衍射峰全是碳和碳化硅......”。

4、“.....并且反应后的生成物中不存在硅，这主要是由于单晶硅炉内的氩气是流动的，使蒸汽硅没有在埚帮处发生凝固。组试样图谱基本致，共有个衍射峰，材料热处理学报，关小军，张向宇，潘忠奔，等热屏位置影响直拉单晶硅熔体和固液界面的模拟人工晶体学报，邢如鹏，姚西明，胡振英，等单晶硅直拉炉用炭炭埚帮的侵蚀机理探讨炭素，王世援，韩焕鹏，刘锋碳碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究电子工业专用设备，曹伟伟，朱波，赵伟，等单晶硅炉用碳素材料的硅化腐蚀研究功能材料，金超花，朱彤获得的碳化硅结构和形貌进行了分析，获得以下主要结论。坩埚内高温熔融态硅液表面的硅蒸汽在氩气的带动下以气体的形式起流出坩埚，氩气携带硅流过埚帮，为碳与硅反应生成碳化硅提供了充足的硅源，埚帮所处的高温环境为碳与硅反应提供了足够高的温度......”。

5、“.....这与埚帮在使用段时间探讨高温富氛围中的碳化硅的形成过程和机理晶体学论文且反应后的生成物中不存在硅，这主要是由于单晶硅炉内的氩气是流动的，使蒸汽硅没有在埚帮处发生凝固。组试样图谱基本致，共有个衍射峰，其中，在为处较小的衍射峰为没有完全反应的碳，其余个衍射峰对应的都是反应生成的碳化硅。从的分析结果可以进步的确定，埚帮在高温富硅的环境中与氩气带来的硅蒸汽发生了化学反应生成了碳化。埚帮作为单晶硅直拉炉中的主要承力结构部件，要求其在高温下要有定的强度，以确保埚帮内石英坩埚和液态硅在拉晶旋转过程中的稳定性。常用的埚帮大多为复合纤维材料，采用编织技术，横向由多层碳布叠加，径向针刺如图所示，这种结构埚帮具有较高的横向抗拉强度。而碳纤维在高温环境下容易造成结构的损伤和性能的退化，并且单晶炉内富含，容易与可以看出......”。

6、“.....整个反应过程具有明显的方向性。最后生成的碳化硅成块状且具有较多的孔隙如图，从整个埚帮经过定时间会全部异化可以进步推测，碳化硅中存在的这些孔隙为内层碳纤维继续参与反应提供了足够的硅源。图埚帮异化后照片通过照片分析可以推测由复合纤维构成的埚帮在高温富硅环境中的整其中，在为处较小的衍射峰为没有完全反应的碳，其余个衍射峰对应的都是反应生成的碳化硅。从的分析结果可以进步的确定，埚帮在高温富硅的环境中与氩气带来的硅蒸汽发生了化学反应生成了碳化硅。关键词复合纤维异化晶体学机理碳化硅高温根据晶体生长方式不同，当前制备单晶硅主要有两种方式悬浮区熔法和直拉法，其中以直拉法为主，法单晶硅生长过程功率及流体流动的实验研究与数值模拟人工晶体学报，年夫雪单晶硅直拉法生长工艺的数值模拟上海上海大学，李进，景华玉，高忙忙......”。

7、“.....施伟，谭毅，郝建洁，等晶硅炉热场用碳材料在硅蒸汽中的腐蚀行为研究无机材料学报，张佃平，李进，康少付，苏少鹏，李杨高温富环后抗拉强度降低的实际情况相符。埚帮异化后只有碳化硅和碳，说明没有参与反应的硅蒸汽在埚帮处没有沉积，并且碳纤维生成碳化硅的过程是逐层进行。为了提高埚帮的使用寿命，在埚帮的设计过程中可以考虑增加层隔离材料，隔开碳纤维与硅的接触，防止碳和硅发生反应后引起埚帮失效。参考文献姜雷，刘丁，赵跃，等水平磁场作用下直拉单晶硅生长维数值模拟个异化过程中单根碳纤维与硅蒸汽的化学反应过程如图所示。碳纤维由于被硅蒸汽包围并处在高温环境下，碳与硅发生了较为激烈的化学反应，反应在碳纤维的端部表现更为剧烈，最终生成碳化硅并成块状。图埚帮异化过程示意图结论本文通过晶体生长软件模拟埚帮所处的温度场和流场分布情况......”。

8、“.....对探讨高温富氛围中的碳化硅的形成过程和机理晶体学论文条件。探讨高温富氛围中的碳化硅的形成过程和机理晶体学论文。形貌分析为了分析埚帮异化后的形貌变化和进步解释埚帮异化过程，利用扫描电镜对异化后的埚帮进行形貌分析。分析结果可以看出，没有发生反应的埚帮部分全部是纤维状并且保持良好的碳纤维形貌，如图所示。从图的形貌变化来看，碳纤维与硅发生反应是从外层逐步向内层扩展，并结合图况采集困难，为了比较全面地了解单晶硅炉内热场和流场分布情况，本文通过建立单晶硅炉的维模型，利用晶体生长专业软件对单晶硅炉内温度分布和气体流动情况进行模拟分析，模拟过程中采用的物性参数如表所示。通过模拟单晶硅炉内温度和流场分布，初步判断埚帮所处位置温度分布和最高温度，并通过炉内流场分析获得氩气的流向和流动分布情况，进而判流场分布，初步判断埚帮所处位置温度分布和最高温度......”。

9、“.....进而判断出硅蒸汽与埚帮的融合关系。图单晶硅炉温度场模拟结果图图单晶硅炉流场模拟结果图通过模拟分析结果可以看出，埚帮由于处在高温以上，大多超过，并且与硅蒸汽充分接触，这为复合纤维与硅发生化学反应，导致埚帮异化提供了充分的条件表材料物性参数炉腔温度分布情况通过对单晶硅炉内温度场分析如图所示可以发现，埚帮在炉内所处的位置为高温区，温度在以上，最高处可以达到，同时，坩埚内的硅熔体液面处温度基本在以上。处在高温环境下的复合纤维具有极高的活性，并且在此温度下有大量的硅蒸汽在硅液面产生，这为碳纤维和硅发生反应提供了足够高的温度条件。探讨高温富氛围硅熔体和固液界面的模拟人工晶体学报，邢如鹏，姚西明，胡振英，等单晶硅直拉炉用炭炭埚帮的侵蚀机理探讨炭素，王世援，韩焕鹏，刘锋碳碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究电子工业专用设备，曹伟伟......”。