1、“.....压力随着振幅的升高而增大｡在时刻，流体速度压强及气含率沿参考线的分布情况如图所示，最大速度压强及气含率随振幅的变化如图所示｡从图可知，在超声振子下方的流体速度变化剧烈，变化幅度随着振幅的增加而增大，而试件下方流体速度变化相对平稳｡在非空化区流体的压力基于超声化学机械研抛进行流体动力学仿真研究流体力学论文润滑与密封，王国刚，孙冬柏，张秀丽，等空泡溃灭过程中力学损伤行为北京科技大学学报，王心迪，韩智超，孟楠，等浅谈液体中气泡在超声作用下的空化性质物理实验，翟文杰，翟权超声化学机械研抛的流体动力学仿真哈尔滨工程大学学报，基金项目国家自然科学基金项目基于超声化学机械研抛进行流体动力学仿真研究流体力学论文与压力剧烈变化，在振子下方产生以横向剪切流为主的极强微射流，而试件表面处的流速变化相对平缓｡超声振动频率对流场的影响与振幅的影响类似，即随着超声频率或振幅的增加，流体内的最大速度和压力，以及最大气含率都会呈线性增加｡使用打孔抛光垫后，试件下方流体速度减小数十倍，变化更加平稳，而最大压力却增大了百余倍试件底例，在周期内流体速度压力及气含率沿参考线的分布情况如图所示......”。

2、“.....幅值可达到千米每秒，振动频率越大，速度变化越大，而在试件下方流体速度变化相对平稳｡在非空化区，试件下方压力均匀分布，且随着振动频率的增加压力出，使用多孔抛光垫后，无论是超声振子下方还是试件下方流体的速度相比于不带抛光垫时更加平稳，变化幅值更小｡试件下方流体的压力相比于不带抛光垫时增大了百余倍，振幅越大，增大越多，而气含率也相应增加｡图使用多孔抛光垫时参考点处的压力图使用多孔抛光垫时参考线上流体速度和压力以及气含率分布结论超声振动会使流体内的速图使用多孔抛光垫时流体压力分布图从图可知，当超声振子向上运动时，抛光垫边界处的剪切流从左侧流入液孔，形成了顺时针方向的涡流｡当振子向下运动时，剪切流从右侧流入液孔，形成了逆时针方向的涡流｡使用多孔抛光垫后，流体内的最大压力可达到，相比于无抛光垫时增大了倍左右｡在不同的超声振幅下，模型参考点的速度及压着振幅的增加而增大在空化区流体压力等于空化压力......”。

3、“.....采用如图所示的打孔抛光垫仿真模型，抛光垫厚度为，其上均匀分布着直径，中心距为的圆柱逐渐增大，在空化区流体压力等于空化压力，在试件下方气含率也均匀分布，且随着振动频率的增加而增大｡超声振幅对流场的影响保持振动频率不变，对超声振幅进行参数化扫描，扫描范围，间隔｡在不同的超声振幅下，参考点的速度及压力变化如图所示｡由图可知，流体在参考点的速度波动性上升，振幅越大，速度升高越多基于超声化学机械研抛进行流体动力学仿真研究流体力学论文的振动频率下，参考点的速度及压力变化如图所示｡由细化，便于求解的准确性｡整个求解域共划分单元个，其中边界层单元个｡由于流体边界存在超声振动，流体的速度及压力变化极为剧烈，为了便于计算流体的压力和速度，现假设流体在界面上无滑态，结果显示，超声振动可使加工区域内的压力流速和空蚀强度都有明显增强｡本文利用有限元分析软件，分别针对实体研抛盘和有孔抛光垫，对研抛区流体进行了有限元建模与仿真，研究保持环超声振动对抛光试件和抛光垫间流场性能的影响......”。

4、“.....显著影响着电极动力学反应和电化学溶解速率｡王蕾等深入分析了微孔电解加工过程中超声扰动的作用机理，指出在加工间隙区域内施加低频超声扰动更容易形成超声空化，有利于提高微孔电解加工精度｡等对电化学腐蚀过程中超声振动的影响进行了探究，发现超声振动明显有助于改善加工条显著性的变化｡对于超声空化的研究主要通过仿真模拟和实验探究种方法｡王心迪等基于方程探究了超声频率对空化过程的影响，研究发现，最佳空化频率与超声作用时间存在负相关，而且超声场能的衰减可导致空化气泡半径减小，削弱空化效应｡等建立了种求解超声增强液固反应传质系数的计算模型，最大气含率增大，空化效应更加显著，在抛光过程中有利于形成化学反应自由基，从而使材料去除率得到提高基于超声化学机械研抛进行流体动力学仿真研究流体力学论文。关键词动力学仿真化学机械研抛微射流流场空化效应超声振动基超声化学机械研抛是将超声振动与化学机械抛光两者结合对加工过程中衬底材料进行平坦化的抛光技术，由摘要采用软件分别就有孔抛光垫和实体研抛盘，对研抛区流体进行了有限元建模与仿真......”。

5、“.....同时分别对试件保持环超声振动的频率振幅对研抛区流体的速度压力及气含率分布的影响规律进行了分析。研究结果表明流体的速度与压力在超处的最大气含率也有所增大，空化效应更加强烈，更有利于在抛光过程中生成化学反应自由基与提高材料去除率｡参考文献王蕾，赵志强超声扰动在微孔电解加工中作用机理的研究现代制造工程，杨治伟，刘翠娟，慎爱民，等超声空化微电解技术处理废水中硝基苯的研究佳木斯大学学报自然科学版，罗经，李健基于的水轮机气蚀机制探讨变化分别如图所示｡对比图可知，带抛光垫时流体在参考点的速度与不带抛光垫时相比明显减小，速度变化也更平稳，压力虽然变化趋势相同，但幅值却增大了百余倍｡在时刻，当时用多孔抛光垫时流体速度压力及气含率沿参考线的分布情况如图所示，最大速度压力及气含率随振幅的变化如图所示｡对比图可以｡抛光垫底部与抛光盘粘接在起｡边界条件设置与不带抛光垫时基本相同，只是将抛光盘的固定壁边界换为抛光垫的固定壁边界｡设定超声振动频率，振幅，选择超声振子下方的个液孔，观察个周期内......”。

6、“.....便于求解的准确性｡整个求解域共划分单元个，其中边界层单元个｡由于流体边界存在超声振动，流体的速度及压力变化极为剧烈，为了便于计算流体的压力和速度，现假设流体在界面上无滑态，结果显示，超声振动可使加工区域内的压力流速和空蚀强度都有明显增强｡本文利用有限元分析软件，分别针对实体研抛盘和有孔抛光垫，对研抛区流体进行了有限元建模与仿真，研究保持环超声振动对抛光试件和抛光垫间流场性能的影响，分析了不同的超声频率振幅对流体的速度压力及气含率分基于超声化学机械研抛进行流体动力学仿真研究流体力学论文声空化可在溶液中形成种极端的物理化学环境，显著影响着电极动力学反应和电化学溶解速率｡王蕾等深入分析了微孔电解加工过程中超声扰动的作用机理，指出在加工间隙区域内施加低频超声扰动更容易形成超声空化，有利于提高微孔电解加工精度｡等对电化学腐蚀过程中超声振动的影响进行了探究，发现超声振动明显有助于改善加工条显著性的变化｡对于超声空化的研究主要通过仿真模拟和实验探究种方法｡王心迪等基于方程探究了超声频率对空化过程的影响，研究发现，最佳空化频率与超声作用时间存在负相关......”。

7、“.....削弱空化效应｡等建立了种求解超声增强液固反应传质系数的计算模型，最大气含率增大，空化效应更加显著，在抛光过程中有利于形成化学反应自由基，从而使材料去除率得到提高基于超声化学机械研抛进行流体动力学仿真研究流体力学论文。关键词动力学仿真化学机械研抛微射流流场空化效应超声振动基超声化学机械研抛是将超声振动与化学机械抛光两者结合对加工过程中衬底材料进行平坦化的抛光技术，由摘要采用软件分别就有孔抛光垫和实体研抛盘，对研抛区流体进行了有限元建模与仿真，以达到保持环超声振动对抛光试件和抛光垫间流场性能影响的研究目的，同时分别对试件保持环超声振动的频率振幅对研抛区流体的速度压力及气含率分布的影响规律进行了分析。研究结果表明流体的速度与压力在超处的最大气含率也有所增大，空化效应更加强烈，更有利于在抛光过程中生成化学反应自由基与提高材料去除率｡参考文献王蕾，赵志强超声扰动在微孔电解加工中作用机理的研究现代制造工程，杨治伟，刘翠娟，慎爱民，等超声空化微电解技术处理废水中硝基苯的研究佳木斯大学学报自然科学版，罗经，李健基于的水轮机气蚀机制探讨变化分别如图所示｡对比图可知......”。

8、“.....速度变化也更平稳，压力虽然变化趋势相同，但幅值却增大了百余倍｡在时刻，当时用多孔抛光垫时流体速度压力及气含率沿参考线的分布情况如图所示，最大速度压力及气含率随振幅的变化如图所示｡对比图可以｡抛光垫底部与抛光盘粘接在起｡边界条件设置与不带抛光垫时基本相同，只是将抛光盘的固定壁边界换为抛光垫的固定壁边界｡设定超声振动频率，振幅，选择超声振子下方的个液孔，观察个周期内，这个时刻的速度及压力分布如图图所示｡图使用多孔抛光垫的流场模型图使用多孔抛光垫时流体速度分布矢量图参考点处的压力现周期性变化，压力随着振幅的升高而增大｡在时刻，流体速度压强及气含率沿参考线的分布情况如图所示，最大速度压强及气含率随振幅的变化如图所示｡从图可知，在超声振子下方的流体速度变化剧烈，变化幅度随着振幅的增加而增大，而试件下方流体速度变化相对平稳｡在非空化区流体的压力基于超声化学机械研抛进行流体动力学仿真研究流体力学论文润滑与密封，王国刚，孙冬柏，张秀丽，等空泡溃灭过程中力学损伤行为北京科技大学学报，王心迪，韩智超，孟楠，等浅谈液体中气泡在超声作用下的空化性质物理实验，翟文杰......”。

9、“.....基金项目国家自然科学基金项目基于超声化学机械研抛进行流体动力学仿真研究流体力学论文与压力剧烈变化，在振子下方产生以横向剪切流为主的极强微射流，而试件表面处的流速变化相对平缓｡超声振动频率对流场的影响与振幅的影响类似，即随着超声频率或振幅的增加，流体内的最大速度和压力，以及最大气含率都会呈线性增加｡使用打孔抛光垫后，试件下方流体速度减小数十倍，变化更加平稳，而最大压力却增大了百余倍试件底例，在周期内流体速度压力及气含率沿参考线的分布情况如图所示，最大速度压力及气含率随频率的变化如图所示｡可以看出在超声振动边界处速度变化极为剧烈，幅值可达到千米每秒，振动频率越大，速度变化越大，而在试件下方流体速度变化相对平稳｡在非空化区，试件下方压力均匀分布，且随着振动频率的增加压力出，使用多孔抛光垫后，无论是超声振子下方还是试件下方流体的速度相比于不带抛光垫时更加平稳，变化幅值更小｡试件下方流体的压力相比于不带抛光垫时增大了百余倍，振幅越大，增大越多......”。