1、“.....还原炉启动后，硅棒电流过小，硅棒表面温度过低，硅芯表面未达到熔融状态，进料后形成温度夹层。多晶硅中氧化夹层的炉内存有水分，通料时产生夹层。还原炉内的气体或多晶硅正常生长时所需的氢气露点与含氧量超标，在正常反应的温度时，硅易氧化或是氯氢硅水解形成夹层石墨卡座在空气中暴露时间过长，尤其是夏季，空气湿度较大，碳有较强的吸附性，石墨卡座受潮后重复利用，还原炉启动后形成夹层。多晶硅中氧化夹层的消除论文原稿通过还原反应中硅棒温度的变化判断的电压曲线是否正常，就是说，还原炉处于空烧阶段，温度的控制反应出正确的电压曲线，来确定夹层是否在看不到的范围产生通过改变常规的臵换流程......”。

2、“.....确保炉内干燥，产生夹层的几率会有所降低阀门内漏引起夹层。离全开后，再缓慢打开，每次的速度开至，每开停顿分钟在整个过程中，要及时补加电流，保证温度变化平稳，注意观察电压变化，保证电压波动小于随着物料的逐渐提升，电流要适当补给，维持电压曲线呈逐渐下降的趋势。进料后观察硅芯表面若有附着物，立即停炉后，在拆炉前进行冷洗。炉筒罩好后，先通入度的炉筒夹套水循环分钟，再进行臵换工作，增加抽真空的次数，目的是带走炉壁上的少量水分。在臵换气密合格后，将炉内压力降至，在炉筒水循环下静致小时，再用纯氢臵换。对于尾气阀门内漏严重的要提高炉内压到确认的阀位状态与现场的保持致硅芯击穿后......”。

3、“.....每炉次装炉前要求清理电极瓷环以及绝缘套周圈的缝隙还原炉底盘垫圈下用无水乙醇脱水。安装硅芯时，要注意避免与污物接触硅芯车的洁净小车扶手的洁净次性手套的及时更换以及防护呼吸器的正确佩戴。每炉使用过的石墨件要求密封，与空气失，经济成本大幅下降，由于硅棒氧化夹层在拉制单晶的过程中易引起硅跳，轻则放火花，重则毁坏加热器是拉晶无法进行，因此氧化夹层成为衡量多晶硅质量的个重要指标，深层次全方位地探讨多晶硅在生长期间形成氧化夹层的机理，提出从根本上消除氧化夹层的解决措施就显得尤为重，经过实验空气臵换成干燥的氮气，分钟后在通入冷却水，这样就可以避免氧化夹层的生成......”。

4、“.....在装拆还原炉环节以及进料环节来控制夹层的产生通过还原反应中硅棒温度的变化判断的电压曲线是否正常，就是说，还原炉处于空烧阶段，温度求电压波动小于回收氢空烧时间到后，再打开前手阀，缓慢打开后手阀，如炉内发现明显有料或电压波动超过应立即关闭手阀补加电流，分钟后再缓慢打开手阀保证电压波动小于手阀全开后，再缓慢打开，每次的速度开至，每开停顿分钟在整个过程中，要及时补加电流，保证温度吹扫视孔氢管线。炉筒吊开后立即给进气管线通入氮气，避免物料与空气接触。操作过程控制的要求。检查伴热管线的投用情况及温度是否正常。对于内漏严重的尾气管线，不进行抽真空。炉筒罩好后，先通入度的炉筒夹套水循环分钟，再进行臵换工作......”。

5、“.....目的是带走炉壁多晶硅中氧化夹层的消除论文原稿可达到夹层率为零。还原炉臵换的方法流程存在缺陷。目前的还原炉安装完毕，开始扣钟罩，连接上下进出水管，通入度的脱盐水进行排气环节，在此过程中，钟罩内的热空气没有及时排出，导致热空气被冷凝，凝水附着在硅芯上，无法去除，氧化夹层由此产生。此过程中，钟罩内的热空气没有及时排出，导致热空气被冷凝，凝水附着在硅芯上，无法去除，氧化夹层由此产生。关键词洁净度夹层电压曲线前言在多晶硅生产中，氧化夹层是衡量多晶硅质量的个重要指标。从实际生产情况来看，目前由于氧化夹层所引起的质量问题占的比例较大，给企业带来了定里，拆炉后与空气接触，受到污染......”。

6、“.....阀位与现场阀位不符。进料时，手阀刚打开，大量的物料进入还原炉。多晶硅中氧化夹层的消除论文原稿。消除多晶硅夹层的实验方法确定安装硅芯的要点。每炉次装炉前要求清理电极瓷环以及绝缘套周圈的控制反应出正确的电压曲线，来确定夹层是否在看不到的范围产生通过改变常规的臵换流程，减少还原炉内的凝水的生成，确保炉内干燥，产生夹层的几率会有所降低还原炉臵换的方法流程存在缺陷。目前的还原炉安装完毕，开始扣钟罩，连接上下进出水管，通入度的脱盐水进行排气环节，在变化平稳，注意观察电压变化，保证电压波动小于随着物料的逐渐提升，电流要适当补给，维持电压曲线呈逐渐下降的趋势。进料后观察硅芯表面若有附着物，立即停炉后......”。

7、“.....还原炉臵换的方法流程的改进。为了避免热空气被冷凝，在钟罩扣上后，及时通入氮气打开放开管线，的少量水分。在臵换气密合格后，将炉内压力降至，在炉筒水循环下静致小时，再用纯氢臵换。对于尾气阀门内漏严重的要提高炉内压到确认的阀位状态与现场的保持致硅芯击穿后，打开电解氢气，在度以上空烧分钟后转换回收氢气，此时要保证炉内温度不波动，注意观察电压曲线，要的缝隙还原炉底盘垫圈下用无水乙醇脱水。安装硅芯时，要注意避免与污物接触硅芯车的洁净小车扶手的洁净次性手套的及时更换以及防护呼吸器的正确佩戴。每炉使用过的石墨件要求密封，与空气隔绝。吊炉筒时，用丝扣将视孔水活接头扣住，避免有水滴在底盘上。炉筒清洗时......”。

8、“.....视孔冷却水有滴在底盘上的现象，进料后生成水解物，产生夹层。炉筒清洗和干燥不彻底，通炉筒水时水份极易从炉壁挥发，致使硅芯上附着水分。通料时形成氧化夹层。阀门内漏引起夹层。离还原炉最近的氯氢硅物料手阀内漏，停炉时调节阀和手阀之间有余压，内漏出的料液囤积在管消除论文原稿。还原炉内存有水分，通料时产生夹层。还原炉内的气体或多晶硅正常生长时所需的氢气露点与含氧量超标，在正常反应的温度时，硅易氧化或是氯氢硅水解形成夹层石墨卡座在空气中暴露时间过长，尤其是夏季，空气湿度较大，碳有较强的吸附性，石墨卡座受潮后重复利用，由于夹套水法兰视孔水的活接头与还原炉底盘在同水平线上......”。

9、“.....存留的水容易溅到底盘上，渗到炉筒垫圈下面，垫圈下的水将垫圈整体浮起，很难被发现。罩炉筒时，水被挤压出来，炉内会产生圈水跡，启炉后与氯氢硅反应，生成水解物，产生夹层。硅芯安装完毕吊炉筒时，视孔冷却水有滴还原炉最近的氯氢硅物料手阀内漏，停炉时调节阀和手阀之间有余压，内漏出的料液囤积在管道里，拆炉后与空气接触，受到污染，进料时硅芯上沉积黑色污物。调节阀卡涩，阀位与现场阀位不符。进料时，手阀刚打开，大量的物料进入还原炉。多晶硅中氧化夹层的消除论文原稿。还原还原炉臵换的方法流程的改进。为了避免热空气被冷凝，在钟罩扣上后，及时通入氮气打开放开管线，将空气臵换成干燥的氮气，分钟后在通入冷却水......”。