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磁控溅射TiO2薄膜的相结构转变温度探究(论文原稿) 磁控溅射TiO2薄膜的相结构转变温度探究(论文原稿)

格式:word 上传:2022-07-26 01:25:40

《磁控溅射TiO2薄膜的相结构转变温度探究(论文原稿)》修改意见稿

1、“.....分别为退火处理的时间均为。利用扫描电镜对不同退火温度条件下的氧化钛薄膜进行形貌表征。利用射线衍射仪对不同退火温度條件将氧化钛薄膜置入射频磁控溅射设备真空溅射腔内。靶材材质为高纯度的氧化钛,溅射介质为高纯氩气,本底真空度真空度位,设备运行时气压为......”

2、“.....试验材料及方法本试验的主要设备为射频磁控溅射设备晶体振荡膜厚测试仪真空管式参考文献氧化钛薄膜制备工艺的研究进展,张帅,张立生,李慧,等,无机盐工业,氮气流量和退火处理对射频磁控溅射氮掺杂氧化钛薄膜性能的影响,杨勇,汪。摘要本文采用磁控溅射技术制备氧化钛薄膜......”

3、“.....实验采用射线衍射方法和扫描电镜的手段对氧化钛薄膜的相结构进行表征,时,氧化钛薄膜晶体结构中的锐钛矿相含量减少,而氧化钛薄膜晶体结构中的金红石矿相含量增加。计算结果如下表。利用公式计算不同退火温度下氧化钛薄膜晶的氧化碳薄膜相结构进行了分析,为氧化钛薄膜制备工艺优化提供参考......”

4、“.....公式如下公式控溅射中溅射功率对薄膜质量影响的研究,李金玉,国际公关,。摘要本文采用磁控溅射技术制备氧化钛薄膜,通过退火来实现氧化钛相结构的转变,实验磁控溅射薄膜的相结构转变温度探究论文原稿结果表明实验退火后的氧化钛薄膜结构整体表现出较好的致密性......”

5、“.....为氧化钛薄膜制备工艺优化提供参射线图谱检测得到的结果吻合。当退火温度上升时,氧化钛薄膜晶体结构中的锐钛矿相含量减少,而氧化钛薄膜晶体结构中的金红石矿相含量增加。计算结果如下钛薄膜结构进行检测,分析氧化钛薄膜相结构的转变过程磁控溅射薄膜的相结构转变温度探究论文原稿......”

6、“.....体结构中不同矿相的质量分数,公式如下公式中,代表金红石矿相的最大峰强度代表锐钛矿相的最大峰强度。结合上述公式,计算得出的结果与上述中,代表金红石矿相的最大峰强度代表锐钛矿相的最大峰强度。结合上述公式,计算得出的结果与上述射线图谱检测得到的结果吻合......”

7、“.....结果表明实验退火后的氧化钛薄膜结构整体表现出较好的致密性,针对不同退火温度条件帅,张立生,李慧,等,无机盐工业,氮气流量和退火处理对射频磁控溅射氮掺杂氧化钛薄膜性能的影响,杨勇,汪冰洁,姚婷婷,等,材料科学与工程学报......”

8、“.....利用扫描电镜对不同退火温度条件下的氧化钛薄膜进行形貌表征。利用射线衍射仪对不同退火温度條件下的氧化薄膜置入射频磁控溅射设备真空溅射腔内。靶材材质为高纯度的氧化钛,溅射介质为高纯氩气,本底真空度真空度位,设备运行时气压为,偏压为,设备溅化碳薄膜相结构进行了分析,为氧化钛薄膜制备工艺优化提供参考......”

9、“.....分析氧化钛薄膜相结构的转变过程。摘要本文采用磁控溅射技术制备氧化钛薄膜,通过退火来实现氧化钛相结构的转变,实验采用设备溅射功率为。然后利用晶体振荡膜厚测试仪检测氧化钛薄膜厚度为......”

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