1、“.....加剧了向中的并入。反应与温度关系密切,如将温度升到以上,反应基本停止,从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。我们对多段炉的设计,各段炉温的单独控制及其协调配合控制也进行了反复实验研究并不断进行了优化,对提高单晶生长成品率发挥了重要作用......”。
2、“.....正常传递密切相关,结晶速度控制不当,会严重干扰内加热炉所形成的温度分布,进而影响单晶正常生长,本项目在对热场配置进行优化时,兼顾了采用合适的结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉可很好调整固液界面形状......”。
3、“.....提高成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状的控制是提高成品率的关键技术。在水平单晶生长过程中,无法完全按器件制造所要求的晶向生长,即晶体生长方向与晶片的晶向有定的夹角,这导致了水平单晶的切片,般都要斜切因而切片技术难度较大,为使所切晶片上电学参数尤其是载流子浓度均匀分布......”。
4、“.....因为杂质主要是掺杂剂的分凝是以固液界面为界线的,如果单晶生长过程中固液界面与生长方向之间角度和所切晶片晶向与单晶生长方向之间角度不致,所切晶片上的载流子浓度会形成浓度梯度镓单晶近年来大量用于红外和高亮度,是目前生产量和需求量最大增长率最快的化合物半导体器件之。但是由于国内没有生产该产品的企业......”。
5、“.....本项目的实施,可以满足国内企业市场需求,替代进口产品,并可出口创汇。同时,本项目的实施,将带动相关产业的发展,从而推动我国经济快速发展......”。
6、“.....第二章技术可行性分析项目技术路线工艺设备的合理性和成熟性关键技术的先进性项目技术路线多晶合成单晶生长晶体加工工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶......”。
7、“.....该生长系统在国际上未见成型产品,本项目单位根据多年工艺技术积累,选用精密的温控仪表欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组合......”。
8、“.....炉体移动速度最低时小时爬行不大于。采用优质管支撑石英反应管使石英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径扩大不超过。石英舟的预处理技术单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的,因此首先要解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利......”。
9、“.....生长完成后,晶体易从舟中取出脱舟良好且生长的晶体完整性好符合产品技术指标。这个问题曾是困扰单晶生长的个较严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳,碳舟虽可避免粘接问题,但碳易大量掺入晶体成为有害杂质,从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法......”。
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