1、“.....酸液配比硅块清经过设臵滴定工艺,滴定工艺调整,修改酸洗时间后,硝酸单耗降低幅度较大,清洗成本中新鲜酸及废酸成本大大降低。其中,抽取的第个数据月因清洗陶瓷环,酸液单耗有所升高,第及第个数据因清洗部分尺寸较小的物料,酸液单耗有所升高。国产化全自动硅时间设臵为酸液清洗约桶后,酸洗时间设臵为部分特殊物料酸洗时间可设臵为至。另外,对滴定工艺也进行了改进,滴定工艺设臵为酸液清洗至约桶之前,每桶滴定次酸洗约大于桶后,每桶滴定次洗时间及滴定工艺进行灵活设臵,与上述工艺存在少量偏差。取设臵滴定工艺后月的混合酸寿命统计如下修改酸洗时间,设臵滴定工艺为了进步降低酸耗,提高酸液寿命,对清洗后物料进行观察分析,新鲜酸液时物料表面亮度较高,腐蚀厚度过大酸液清洗至国产化全自动硅块清洗机混合酸寿命的研究原稿硬件技术的结合,采用涡轮流量计和计时补液清洗过程中对酸液进行少量补充两种方式来实现换酸......”。
2、“.....因涡轮流量计无法区别液体与气体,若供酸系统酸液用完,则气体进入管道,但涡轮流量计仍进行累积,就会造成酸液体积不准确,直接导致后期提高酸混合酸寿命。该套系统在设计之初进行考虑,可设臵滴定频次及滴定量,即每清洗几桶可设定,设备都会向混合酸槽内加入定量的新鲜酸。为降低投资成本,该套系统酸液管道未采用计量精确的电磁流量计,现场利用时补的方式进行滴定,即用时间来计算有效提高产量,从而降低生产成本。酸液配比硅块清洗中,酸液配比后的实际比例是否与设定值致,直接决定了酸液的使用寿命。进口硅块清洗机中多采用高精度的电磁流量计来计量酸液补给量,但价格较昂贵。为了降低投资成本,该套国产化硅块清洗机利用软命的研究原稿。酸洗时间与滴定工艺酸洗时间固定,未设臵滴定工艺硅块酸洗的时间长短决定了清洗效果,也直接影响了酸液寿命。因此,选取最佳的酸洗时间尤为重要。该套设备在运行之初,根据生产经验将酸洗时间设臵为......”。
3、“.....取个月过程中对酸液进行少量补充两种方式来实现换酸。在换酸过程中,因涡轮流量计无法区别液体与气体,若供酸系统酸液用完,则气体进入管道,但涡轮流量计仍进行累积,就会造成酸液体积不准确,直接导致后期物料清洗不干净酸液寿命低,造成酸液浪费等情况混合酸寿命统计如下酸洗时间固定,设臵滴定工艺酸液清洗定量硅块后,参与反应的氟离子和硝酸根离子量将减少,酸洗效果减弱,如果在清洗的过程中不断补充少量新鲜酸液,即进行滴定,按照反应的特点滴定定量的硝酸和氢氟酸,既可提高反应效果,也可以目前国内部分多晶硅厂采用的是进口的硅块清洗设备,清洗效果良好,但设备价格昂贵,投资成本高。在确保清洗效果的前提下,同时达到降低投资成本及生产成本的目的,我们与深圳捷佳创有限公司共同研发制造了台国产化全自动硅块清洗机。酸液配比硅块清。关键词硅块硅块清洗机混合酸寿命滴定在信息化时代的今天......”。
4、“.....电子工业重要的基础材料就是半导体硅材料,而优质的多晶硅材料则是其基础之基础。目前的多晶硅产品,主要是以改良西门子法生产的棒状制造了台国产化全自动硅块清洗机。关键词硅块硅块清洗机混合酸寿命滴定在信息化时代的今天,信息工业的坚强后盾是高速发展的电子工业,电子工业重要的基础材料就是半导体硅材料,而优质的多晶硅材料则是其基础之基础。目前的多晶硅产品,主酸液体积,该管线设计为利用重力补给,可确保满管,酸液计量较为准确。基于上述情况考虑,在后期的生产中,加入了滴定工艺,酸液清洗至桶后,滴定设臵为每桶滴定次。设备运行中,因物料批次的不同,现场根据实际清洗效果对酸混合酸寿命统计如下酸洗时间固定,设臵滴定工艺酸液清洗定量硅块后,参与反应的氟离子和硝酸根离子量将减少,酸洗效果减弱,如果在清洗的过程中不断补充少量新鲜酸液,即进行滴定,按照反应的特点滴定定量的硝酸和氢氟酸,既可提高反应效果......”。
5、“.....采用涡轮流量计和计时补液清洗过程中对酸液进行少量补充两种方式来实现换酸。在换酸过程中,因涡轮流量计无法区别液体与气体,若供酸系统酸液用完,则气体进入管道,但涡轮流量计仍进行累积,就会造成酸液体积不准确,直接导致后期,刘志刚等,硅片在体系中的腐蚀速度,太阳能学报,。混合酸寿命的长短直接决定了硅块清洗的酸耗成本,另外,在连续的生产线中,更换酸液时无法正常清洗物料,必须占用生产时间,本套系统换算时间约为。所以,延长混合酸寿命,也可以国产化全自动硅块清洗机混合酸寿命的研究原稿多晶硅为主,将棒状多晶硅破碎为块状,便于下游生产厂家拉单晶或铸多晶投炉。但在硅料破碎运转的过程中,不可避免会引入杂质,为确保硅块在投炉前的表面洁净,需对其进行清洗,去除表面金属杂质等。国产化全自动硅块清洗机混合酸寿命的研究原稿硬件技术的结合,采用涡轮流量计和计时补液清洗过程中对酸液进行少量补充两种方式来实现换酸......”。
6、“.....因涡轮流量计无法区别液体与气体,若供酸系统酸液用完,则气体进入管道,但涡轮流量计仍进行累积,就会造成酸液体积不准确,直接导致后期洗机混合酸寿命的研究原稿。混合酸洗工艺介绍混合酸洗工艺的目的是除去表面所有金属污染物。通过腐蚀掉定量的硅表面层甚至次表层,去除金属污染物。这步工艺相当重要,是清洗工艺中关键的步,为保证腐蚀品质,采用优级纯酸液和因配比不当造成酸液浪费,目前该问题已解决。酸洗时间要根据酸液消耗及物料表面情况灵活设臵,滴定工艺必不可少。在提高混合酸寿命,降低酸液单耗的同时,也提高了产量。目前的酸洗时间与滴定工艺仍有较大的提升空间,将滴定量与滴定频次进步改进优要是以改良西门子法生产的棒状多晶硅为主,将棒状多晶硅破碎为块状,便于下游生产厂家拉单晶或铸多晶投炉。但在硅料破碎运转的过程中,不可避免会引入杂质,为确保硅块在投炉前的表面洁净,需对其进行清洗,去除表面金属杂质等......”。
7、“.....设臵滴定工艺酸液清洗定量硅块后,参与反应的氟离子和硝酸根离子量将减少,酸洗效果减弱,如果在清洗的过程中不断补充少量新鲜酸液,即进行滴定,按照反应的特点滴定定量的硝酸和氢氟酸,既可提高反应效果,也可以物料清洗不干净酸液寿命低,造成酸液浪费等情况。目前国内部分多晶硅厂采用的是进口的硅块清洗设备,清洗效果良好,但设备价格昂贵,投资成本高。在确保清洗效果的前提下,同时达到降低投资成本及生产成本的目的,我们与深圳捷佳创有限公司共同研发有效提高产量,从而降低生产成本。酸液配比硅块清洗中,酸液配比后的实际比例是否与设定值致,直接决定了酸液的使用寿命。进口硅块清洗机中多采用高精度的电磁流量计来计量酸液补给量,但价格较昂贵。为了降低投资成本,该套国产化硅块清洗机利用软清洗中,酸液配比后的实际比例是否与设定值致,直接决定了酸液的使用寿命......”。
8、“.....但价格较昂贵。为了降低投资成本,该套国产化硅块清洗机利用软硬件技术的结合,采用涡轮流量计和计时补液清洗化,同时对清洗后的物料表面质量进行检测,避免腐蚀厚度过大,造成酸液浪费。该项工作仍要继续努力完善。参考文献蒋潇,周红卫,陈会明,张初华,蒋荣华,中国多晶硅产业分析及预测,新材料产业,陈鼎孙,硅的化学腐蚀综述,特殊电工,安静,孙铁囤国产化全自动硅块清洗机混合酸寿命的研究原稿硬件技术的结合,采用涡轮流量计和计时补液清洗过程中对酸液进行少量补充两种方式来实现换酸。在换酸过程中,因涡轮流量计无法区别液体与气体,若供酸系统酸液用完,则气体进入管道,但涡轮流量计仍进行累积,就会造成酸液体积不准确,直接导致后期块清洗机投资成本低,硬件配臵方面较进口设备有较大差距,我们需要克服硬件问题,在确保清洗质量的前提下,最大限度地提高混合酸寿命,降低酸液单耗,降低新鲜酸及废酸处理成本......”。
9、“.....在清洗过程中,酸液配比需稳定控制,避免有效提高产量,从而降低生产成本。酸液配比硅块清洗中,酸液配比后的实际比例是否与设定值致,直接决定了酸液的使用寿命。进口硅块清洗机中多采用高精度的电磁流量计来计量酸液补给量,但价格较昂贵。为了降低投资成本,该套国产化硅块清洗机利用软酸洗约大于桶后,每桶滴定次。设备运行中,因物料批次的不同,现场根据实际清洗效果对酸洗时间及滴定工艺进行灵活设臵,与上述工艺存在少量偏差。经上述工艺调整后取月酸液寿命统计如下酸液单耗趋势图如下上图数据可看出后期,物料表面发暗,与前期清洗物料表面程度差距较大。因此,固定不变的酸洗时间在前期过度消耗了酸液,在后期对物料表面的清洗程度降低,酸液寿命较低。根据酸液的清洗量,对酸洗时间进行了修改。新鲜酸液时,时间设臵为酸液清洗约桶后,酸洗酸液体积,该管线设计为利用重力补给,可确保满管,酸液计量较为准确......”。
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