1、“.....最终导致设备压力偏差报警引起工艺异常,可以直观的从气源柜观察来排查,如果有积液将积液清理后再进行检漏测试气路异常源瓶进出气阀门未安装或紧固好,从源瓶内开始泄压,导致炉管与源瓶之间压力不平衡造成设备压力偏差在升高,因为随着计损坏进入炉管的气体会越来越少而且波动越来越大,因此计的使用是低压扩散设备上最需要注意的环压力偏差报警真空泵密封圈未安装好,导致真空泵有漏,造成压力波动导致设备压力偏差报警,可以通过漏率测试,般可以设臵蚀损坏计正确的带有计清洗系统的小氮气路示意图出现以上任何情况,只要计损坏,源瓶以及管内压力就会出现很大波动,导致小氮流量出现波动,严重时会有流量偏差报警,可以通过工艺运行记录参数中压力或流量记录来排查,并可以打开气源柜查看低压扩散炉工艺异常研究及处理原稿电磁阀是否异常是否完全打开......”。

2、“.....甚至连带工艺等待或工艺终止,如果报警需及时处理,以免产生大批量返工浪费成本总结本文中讨论大点低压扩散炉最容易出现的影响工艺生产的问计,将计腐蚀损坏,导致源瓶压力异常进而导致气体流量异常,时而会造成小氮流量终止或近似于,最终导致方阻飙高工艺中未设臵计清洗步骤,气路中电磁阀无法正确开关,造成通过计的氯氧磷回流至计,将计腐蚀损坏,导致源瓶压力异常进通讯异常,需要检查流量计与之间通讯线连接情况,若通讯线损坏需更换通讯线检查通讯模块是否损坏,若是则更换新模块检查流量是否损坏,可以先尝试初始化流量计,初始化完成后进行通气试验,若多次尝试无果,则流量计损坏需更换新流量计手动阀氯氧磷压力波动流量波动,以至于方阻飙高,此类现象严重情况下会造成设备压力偏差或气体流量偏差报警,即使未报警也可以通过工艺运行记录查看压力气体流量参数来排查......”。

3、“.....因尾气管堵塞般情况为偏磷酸液结晶,情况下可以拆卸进气管进行清洗,般偏磷酸液残留建议只是使用纯水清洗,若污染严重怀疑金属杂质则需要配比定的氢氟酸溶液进行清洗然后纯水清洗,建议氢氟酸溶液酸洗,纯水鼓泡循环清洗尾气管污染或堵塞低压设备般采用尾部排废,尾气管较短,除长时间未建议只使用纯水进行清洗,于此同时建议添加了水过滤系统的设备每天清洗次尾气管以及管路接头,未添加水过滤系统的每天清洗次尾气管以及管路接头压力控制计被氯氧磷腐蚀损坏气路中未设计计清洗管路或管路设计存在问题,造成通过计的氯氧磷回流至方阻不受控逐渐飙高出现此类情况排查排气管污染或堵塞进气管污染低压扩散设备由于尾部有真空泵存在般进行方式为炉口进气,所以较般常扩散设备相比进气管由尾部伸至炉口部位,进气管相对较长,容易在进气管内残留偏磷酸酸液或者清洗进气管后残留水分酸液金国光伏行业发展迅猛......”。

4、“.....为此国内市场对光伏相关设备需求量也相应变大,进口设备价格昂贵而且技术受制于人,目前国内多数企业已经选择信任国产设备,开始批量使用国产设备扩线,扩散工序作为太阳能工艺运行记录中排查解决,所以任何工序任何工艺必须清楚了解设备的重要性,文章最后还是提醒各位低压扩散炉设备用户气路流量计计真空泵为低压设备重要组成部分也是最容易出问题最不容易排查的部分,设计好的气路,好的工艺,勤快保养维护是解决异常的导致气体流量异常,时而会造成小氮流量终止或近似于,最终导致方阻飙高源瓶安装时进出气接口未安装好或未紧固好,由于进行工艺时炉管内为负压且对源瓶压力要求较高,由于进出气阀连接不好导致源瓶压力波动,源瓶与炉管内压力不平衡导致氯氧磷回流至计建议只使用纯水进行清洗,于此同时建议添加了水过滤系统的设备每天清洗次尾气管以及管路接头......”。

5、“.....造成通过计的氯氧磷回流至电磁阀是否异常是否完全打开,建议配合设备方面人员共同排查尾气管路是否有漏上述异常均会造成设备流量偏差报警,甚至连带工艺等待或工艺终止,如果报警需及时处理,以免产生大批量返工浪费成本总结本文中讨论大点低压扩散炉最容易出现的影响工艺生产的问的成本损失流量偏差报警计损坏以及所有会造成压力偏差报警的都可能导致流量偏差报警,由于压力波动流量波动本来是相互影响的,因此会因为通讯延迟或优先问题本来是压力异常也优先流量偏差报警,所以大多数流量偏差报警排查方向与压力偏差报警致流量计低压扩散炉工艺异常研究及处理原稿池制造的核心工序,设备的使用和选型也至关重要,目前随着电池工艺向大尺寸,薄片化,低表面浓度发展,因此在产量单管产量......”。

6、“.....建议配合设备方面人员共同排查尾气管路是否有漏上述异常均会造成设备流量偏差报警,甚至连带工艺等待或工艺终止,如果报警需及时处理,以免产生大批量返工浪费成本总结本文中讨论大点低压扩散炉最容易出现的影响工艺生产的问受控方阻压力偏差流量偏差引言太阳能电池是种取之不尽用之不竭的可再生清洁能源,所以被认为是当下最有前景的新能源,因此出现了现在各大电池组件生产制造以及相关主工艺设备制造商百花齐放,百家争鸣的状态,这势必促使光伏行业的飞快发展。近几年同上尾气与总排废管道链接的软管中有偏磷酸积液或总排废管道底部积液瓶废液超过总体积的,还有尾气管堵塞会造成设备压力偏差报警引起工艺异常炉管异常由于目前石英管设计,尾部除进出气热电偶外还有多余备用的孔需要使用堵头以及石英棉封闭吃力,如果密封法宝低压扩散炉工艺异常研究及处理原稿。低压扩散炉工艺异常研究及处理原稿......”。

7、“.....主要介绍低压扩散炉在生产中异常的研究及解决方法低压扩散炉工艺异常研究及处理原稿。关键词低压扩散建议只使用纯水进行清洗,于此同时建议添加了水过滤系统的设备每天清洗次尾气管以及管路接头,未添加水过滤系统的每天清洗次尾气管以及管路接头压力控制计被氯氧磷腐蚀损坏气路中未设计计清洗管路或管路设计存在问题,造成通过计的氯氧磷回流至,研究后发现不管是工艺控制,还是设备运行都是相辅相成,而且互相影响深远,总之了解设备运行情况以及运行原理是解决工艺异常问题的最重要途径,所有的工艺异常除参数设臵异常之外大多数均为设备硬件问题,而大多数设备硬件问题又都可以从工艺软件或软件通讯异常,需要检查流量计与之间通讯线连接情况,若通讯线损坏需更换通讯线检查通讯模块是否损坏,若是则更换新模块检查流量是否损坏,可以先尝试初始化流量计,初始化完成后进行通气试验,若多次尝试无果......”。

8、“.....或被杂质反应导致反应物变少最终导致在外围动力条件不变,工艺参数不变的情况下方阻会不断飙高此种现象不会造成压力或流量偏差报警,从软件或硬件上排查起来比较困难,在确定其他方面无异常差也会导致漏气,造成设备压力偏差报警石英炉门密封性不好,或长期使用炉门密封圈或炉门变形,导致设备压力偏差报警,可以使用专用卡塞尺测量,也可通过手动检漏上述任何情况都与设备硬件有关,如果排查出异常需及时清理或更换,避免造成设备工艺或生产更低压扩散炉工艺异常研究及处理原稿电磁阀是否异常是否完全打开,建议配合设备方面人员共同排查尾气管路是否有漏上述异常均会造成设备流量偏差报警,甚至连带工艺等待或工艺终止,如果报警需及时处理,以免产生大批量返工浪费成本总结本文中讨论大点低压扩散炉最容易出现的影响工艺生产的问警,甚至会因回流现象损坏压力控制器......”。

9、“.....也可以在不确定的情况下佩戴好防护用品检查进出气阀以及进出气管路是否有漏气或链接紧固异常情况尾气中与炉管或与泵之间链接的软管接头处未紧固好漏气,测试检查方通讯异常,需要检查流量计与之间通讯线连接情况,若通讯线损坏需更换通讯线检查通讯模块是否损坏,若是则更换新模块检查流量是否损坏,可以先尝试初始化流量计,初始化完成后进行通气试验,若多次尝试无果,则流量计损坏需更换新流量计手动阀室压力,查看达到设定值的时间,或达到设定值后每分钟泄压是否超过真空泵膜片内有杂质,导致真空泵有漏且抽速异常,造成压力波动导致设备压力偏差报警,最终导致工艺异常,排查方法同上真空泵与炉管或与尾气系统连接的管路内有偏磷酸积液,导致泵计是否有啪啪的响声来确定,如果确定需更换新的计,建议使用厂家计,尤其出现第种情况,计被腐蚀损坏有个过程,非正常使用的情况下大概周左右,而且不容易报警......”。