1、“.....精细的硅片单面研磨,厚度误差可以控制在以内且不需要电化学自停止腐蚀,依靠腐蚀液对的腐蚀速度技术的压阻式加速度传感器原稿。微机械加工技术微机械加工技术的基础是微电子工业,为了制造出更大规模的集成电路芯片,各技术发达国家都在积极地向着制作出更小线宽的芯片而努力,目前可制作的最小线宽已达。而在微机械加工技术中,直接采纳了集成电路制造的技术,如集成硅压力传感器集成温度传感器等。采用与标准集成电路工艺相兼容的技术来制件和维微机械元件等方面。在硅微电子机械加工技术中阳极键合和直接键合是目前广泛采用的方法。压阻式加速度传感器。压阻式加速度传感器是最早开发的硅微型加速度传感器,也是当前使用较多的种。随着对硅微型加速度计原理研究的深入以及工艺实现的多样性,硅微型加速度传感器的种类日益繁多,各种应用于不同场合下的硅微型加速度加工技术微机械加工技术的基础是微电子工业......”。

2、“.....各技术发达国家都在积极地向着制作出更小线宽的芯片而努力,目前可制作的最小线宽已达。而在微机械加工技术中,直接采纳了集成电路制造的技术,如集成硅压力传感器集成温度传感器等。采用与标准集成电路工艺相兼容的技术来制作微机械器件,将标准双极型与型集基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器原稿性能测试与结果分析冲击试验。高值硅微型加速度计的灵敏度很低,在小加速度下几乎没有信号输出,只有进行冲击试验,才能检验其性能。为此,常温下冲击试验在马希特击锤上进行。将标准传感器和被标定传感器同时固定在马希特击锤的锤头上,分别对单臂梁和双臂梁结构的加速度传感器样品在不同的齿数下进行冲击试验。过载试验可达到而不失效,加速新型硅微加速度传感器的设计与制作清华大学学报,。目前,氧化光刻腐蚀掺杂金属喷镀锯切引线焊接技术业已成熟,新近发展的湿法各向异性腐蚀干法腐蚀技术阳极键合硅熔键合已变成非常实用的技术......”。

3、“.....微机械技术已开始走出实验室,进入实用阶段,但现在仍处于高投入低面研磨,厚度误差可以控制在以内且不需要电化学自停止腐蚀,依靠腐蚀液对的腐蚀速度极慢,使得腐蚀过程停止在层上,从而保证了硅片减薄后的厚度即为弹性梁的厚度。制作的传感器芯片尺寸,封装在陶瓷管壳中。选型硅片,晶向,直径为,厚度为,电阻率为。传感器芯片加工工艺流程,如图所示。加速度传感器由于加工出芯片梁的厚度比设计值偏差较大,故其测试灵敏度比设计值小,如表所示。在质量块尺寸定的情况下,梁的长度与灵敏度成正比,梁的宽度与灵敏度成反比。在梁的尺寸定情况下,质量块的质量与灵敏度成正比。对制作的加速度传感器样品,在马希特击锤上进行了大量地冲击标定测试,测试结果表明设计和加工制作的加速度计样品在进行加速度的冲击时,有出,只有进行冲击试验,才能检验其性能。为此......”。

4、“.....分别对单臂梁和双臂梁结构的加速度传感器样品在不同的齿数下进行冲击试验。过载试验可达到而不失效,加速度传感器冲击测试范围到。测试结果分析。通过对被测试加速度传感器输出电压与加速度之间关系较好的信号输出,单臂梁结构的加速度计的灵敏度为双臂梁结构的加速度计的灵敏度为,与理论设计值基本吻合。参考文献范树新,聂丽梅压阻式加速度传感器的研究进展采矿技术,费龙,钟先信,温志渝硅微加速度传感器的现状及研究方向传感器技术,朱长纯,刘君华新型硅基集成光波导加速度传感器半导体杂志,刘理天,杨景铭压阻式硅微型加速度传感器加工工艺压阻式传感器的悬臂梁常采用工艺在硅片上外延生长层外延层刻蚀而成,试用键合工艺制造压阻式加速度传感器。采用键合工艺优点是能得到高质量的外延层,且悬臂梁的厚度通过硅片减薄工艺易于得到保证,精细的硅片单面研磨......”。

5、“.....依靠腐蚀液对的腐蚀速度而指导梁结构参数的选取。经过对梁结构有限元的计算分析选取单臂梁双臂梁结构参数,如表所示。关键词微加工微压阻式传感器微机械技术是近十几年来新出现的门技术,它对现代科技的影响,将超过曾经出现过的晶体管,堪称为跨时代的技术。同时些有远见的科学家设想个真正的系统应该有输入和输出两个通道,于是又引出了固态执行器的概念。硅微加速度传是由于在同样的载荷下,梁厚与应力大小成反比,而应力大小直接影响灵敏度,应力越大灵敏度越高。由于加工出芯片梁的厚度比设计值偏差较大,故其测试灵敏度比设计值小,如表所示。在质量块尺寸定的情况下,梁的长度与灵敏度成正比,梁的宽度与灵敏度成反比。在梁的尺寸定情况下,质量块的质量与灵敏度成正比。对制作的加速度传感器样品,在马希特击锤上产出状态,很重要的问题是如何形成批量生产。在会议上......”。

6、“.....已达总数的,由此可见,微机械加工技术已经确立了它在固态传感器与执行器方面的主导地位。基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器原稿。微机械较好的信号输出,单臂梁结构的加速度计的灵敏度为双臂梁结构的加速度计的灵敏度为,与理论设计值基本吻合。参考文献范树新,聂丽梅压阻式加速度传感器的研究进展采矿技术,费龙,钟先信,温志渝硅微加速度传感器的现状及研究方向传感器技术,朱长纯,刘君华新型硅基集成光波导加速度传感器半导体杂志,刘理天,杨景铭性能测试与结果分析冲击试验。高值硅微型加速度计的灵敏度很低,在小加速度下几乎没有信号输出,只有进行冲击试验,才能检验其性能。为此,常温下冲击试验在马希特击锤上进行。将标准传感器和被标定传感器同时固定在马希特击锤的锤头上,分别对单臂梁和双臂梁结构的加速度传感器样品在不同的齿数下进行冲击试验。过载试验可达到而不失效......”。

7、“.....基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器原稿。压阻式硅微型加速度传感器加工工艺压阻式传感器的悬臂梁常采用工艺在硅片上外延生长层外延层刻蚀而成,试用键合工艺制造压阻式加速度传感器。采用键合工艺优点是能得到高质量的外延层,且悬臂梁的厚度通过硅片减薄工艺易于得到保证,精细的硅片基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器原稿感器是器件中的个重要分支,具有十分广阔的应用前景。梁结构的有限元模型。是个可在微机上使用的综合性有限元软件,是微机电系统设计中广泛使用的有限元分析软件。通过有限元的分析计算可以预测悬臂梁上引力分布固有频率可测最大加速度等,进而指导梁结构参数的选取。经过对梁结构有限元的计算分析选取单臂梁双臂梁结构参数,如表所性能测试与结果分析冲击试验。高值硅微型加速度计的灵敏度很低,在小加速度下几乎没有信号输出,只有进行冲击试验,才能检验其性能。为此......”。

8、“.....将标准传感器和被标定传感器同时固定在马希特击锤的锤头上,分别对单臂梁和双臂梁结构的加速度传感器样品在不同的齿数下进行冲击试验。过载试验可达到而不失效,加速感器技术,朱长纯,刘君华新型硅基集成光波导加速度传感器半导体杂志,刘理天,杨景铭新型硅微加速度传感器的设计与制作清华大学学报,。梁结构的有限元模型。是个可在微机上使用的综合性有限元软件,是微机电系统设计中广泛使用的有限元分析软件。通过有限元的分析计算可以预测悬臂梁上引力分布固有频率可测最大加速度等,进越来越明显它主要应用在结构维器件和维微机械元件等方面。在硅微电子机械加工技术中阳极键合和直接键合是目前广泛采用的方法。目前,氧化光刻腐蚀掺杂金属喷镀锯切引线焊接技术业已成熟,新近发展的湿法各向异性腐蚀干法腐蚀技术阳极键合硅熔键合已变成非常实用的技术,可以用以形成微米级的孔槽台面悬臂梁进行了大量地冲击标定测试......”。

9、“.....有较好的信号输出,单臂梁结构的加速度计的灵敏度为双臂梁结构的加速度计的灵敏度为,与理论设计值基本吻合。参考文献范树新,聂丽梅压阻式加速度传感器的研究进展采矿技术,费龙,钟先信,温志渝硅微加速度传感器的现状及研究方向传较好的信号输出,单臂梁结构的加速度计的灵敏度为双臂梁结构的加速度计的灵敏度为,与理论设计值基本吻合。参考文献范树新,聂丽梅压阻式加速度传感器的研究进展采矿技术,费龙,钟先信,温志渝硅微加速度传感器的现状及研究方向传感器技术,朱长纯,刘君华新型硅基集成光波导加速度传感器半导体杂志,刘理天,杨景铭度传感器冲击测试范围到。测试结果分析。通过对被测试加速度传感器输出电压与加速度之间关系的分析,其基本属于线性关系,采用元线性回归模型对被测试传感器数据进行直线拟合......”。