1、“..... 最初采用的是旋转电机加滚珠丝杠驱动的串联机构形形式,如日本公司生产的引线键合机,键合速度仅为线∕秒。 到上世纪九十年代,直线电机凭借其卓越性能代替了旋转电机开始广泛的应用到芯片封装设备上,如美国公司生产的引线键合机,其定位平台采用广义并联机构,平台由线性导轨支撑,方向之间用滚动轴承解藕,键合速度可达到线∕秒。 公司生产的引线键合机......”。
2、“..... 采用旋转电机和直线电机混合驱动,空气轴承和线性导轨支撑平台,经过特殊设计,旋转驱动构建的质心在其旋转轴线上,实现了旋转机构的质心驱动,消除了质心惯性力的影响。 瑞士公司利用该结构研制的型号为的引线键合机,最大键合速度为线∕秒,实验室可以达到线∕秒,是目前世界最高水平。 随着新型电机的不断出现......”。
3、“.....天津大学冯晓梅等人研制出由音圈电机驱动的新型高精密定位平台,其最大加速度可以达到。 等人研制出的新型平台,采用超音速直线电机,结构简单紧凑。 和利用空气轴承设计出的新型引线键合机,工作效率有了突破性的进西安文理学院本科毕业设计论文第页展,达到了当前流行速度的近两倍。 长春光学精密机械与物理所王延风等台。 研制出种新型高速加速度气浮平台,其工作空间,加速度超过......”。
4、“.....不易发生爬行,振动也好,热稳定性好使用寿命是半永久性的,与液体静压导轨相比,它不污染环境。 由于具有这些特点,载荷变动小的超精密加工机床和测量机以及精密机器般都采用气浮静压支承。 空气轴承以清洁干燥的空气作为润滑介质,具有精度高无摩擦无磨损清洁无污染寿命长免维护低发热结构设计灵活耐高低温和原子辐射等特点,广泛应用于三坐标测量机......”。
5、“..... 由于采用了空气轴承支撑传递相对位移,转速较低,传动时只需克服摩擦力矩和较小的附加阻力矩,承受的是轴向和径向双向轻载荷,所以选用了能同时承受径向载荷和轴向载荷的滚动轴承。 对于其支撑方式可以选择端固定,端游动,这样可以避免由于热变形伸长而引起的弯曲变形......”。
6、“.....固定端的滚动球轴承需选型号为,游动端选滚动球轴承型号为方向上对于其支撑方式可以选择端固定,端游动,这样可以避免由于热变形伸长而引起的弯曲变形,由选定的丝杠可知,固定端的滚动球轴承需选型号为,游动端选滚动球轴承型号为定位平台联轴器的选择对于联轴器的选择,根据轴的滚珠丝杠直径为,选择联轴器型号为根据轴的滚珠丝杠直径为,选择较大的学术价值,又有广阔的市场前景......”。
7、“.....随着微电子技术计算机技术和通信技术的迅速发展电子产品正迅速朝着便携式小型化发向发展,芯片的集成度不断提高,对封装技术也提出更高的要求,特别是引线键合技术提出了特别高的要求单位体积信息的提高高密度化单位时间处理速度的提高高速化。 因此引线键合技术也朝着高度集成化高性能化多引线和细间距化方向发展,高速高精度的需求日益紧迫。 为进步提高质量和生产效率......”。
8、“.....也体现了该类装备向高速高精度发展的趋势。 这就要求集成电路的引线键合技术不但发展和改良,需要发展新的引线键合定位平台来促进封装业的发展。 因此,发展具有我国自主知识产权的引线键合定位平台设备的核心技术,开展基于新的驱动方式机构形式和控制方法的新型高速高精度定位系统的关键技术研究,是制造装备中的重要研究内容之......”。
9、“..... 西安文理学院本科毕业设计论文第页本课题主要讨论问题本课题的主要内容是设计定位平台轴的传动装置和气浮导轨。 定位平台计过程可分为总体方案设计,完成原理方案设计和结构方案设计,确定实施方案对引线键合定位平台两运动导轨的相互运动方式进行设计对引线键合定位平台的气浮导轨进行设计对引线键合定位平台驱动装置传动装置供气装置测量等装置进行设计......”。
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