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(定稿)1万吨超大规模集成电路用超净高纯试剂项目可行性建议书(最终定稿) (定稿)1万吨超大规模集成电路用超净高纯试剂项目可行性建议书(最终定稿)

格式:word 上传:2022-06-25 16:46:19

《(定稿)1万吨超大规模集成电路用超净高纯试剂项目可行性建议书(最终定稿)》修改意见稿

1、“.....加快研究及产业化进程,于年月组建了由华谊集团公司中远化工有限公司三爱富新材料股份有限公司和上海化学试剂研究所等多元投资的上海华谊微电子化学品有限公司,成为执行计划的实体主体,拥有平方米实验室平方米净化室和配置相应的试验设备等。通过课题的研究开发,不仅提升了在超净高纯试剂方面的技术水平......”

2、“.....年由上海华谊集团公司上海中远化工有限公司和台湾联仕共同出资组建成立合资公司上海华谊微电子材料有限公司,建成吨年规模的超净高纯试剂生产线,现已正式投产,投资亿万人民币,生产各类微电子化学品,主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸氟化铵,产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及半导体生产线质量标准的要求......”

3、“.....建有世界流水平的生产线和净化包装线。实验室部分有洁净房平方米,最高洁净要求可以达到级。拥有价值近万元的大型精密测试仪器和技术装备,如测试限达到的电感耦合等离子光谱质谱仪测试限的原子吸收光谱仪紫外可见分光光谱仪极谱仪总碳分析仪的离子色谱仪气相色谱仪高效液相色谱仪激光散射颗粒测定仪空气净化颗粒测试仪微波消化器等......”

4、“.....产品已开始进入主要集成电路厂家试用,如中芯国际台积电,并出口东南亚。微电子技术与超净高纯试剂在西部地区的发展西部地区的微电子技术相对于沿海地区来说发展较晚,但现今也进入了快速发展的阶段。年成都地区首先引进了英寸芯片的生产线,并将其定为号工程,总投资亿人民币。随后又引进了几条英寸及英寸生,芯片线路线宽都在......”

5、“.....需要建设级的超净厂房,主要用于产品灌装和产品检测,共需要平米。其次,为适应英寸以上芯片生产线,超净高纯试剂的高要求,在级的超净室内还需设置级的超净工作台,核心操作都在超净工作台内完成。这样形成逐级严格的控制,更利于保证洁净度。除上述的核心部分的级超净室与级超净工作台外,还必须设置更大规模的与其配套的万级超净室与十万级洁净室......”

6、“.....在这样的要求下,般采用普通玻璃设备都难以达到,必须采用优质的石英玻璃来制作各种生产设备才能达到要求。这些石英玻璃必须经过专业设计并严格控产业化技术还有待进步的完善。部分产品的产业化技术也将能够形成规模化生产,相关分析测试方法的研究也有了较大的突破......”

7、“.....关键的仪器设备包括容器等必须依赖进口,超净高纯试剂工艺先进技术如气体吸收离子交换膜处理技术等的应用要达到国外的先进水平也有定的差距,这也导致真正要实现超净高纯试剂的工业化规模生产存在较大的差距。我国半导体市场规模在不断扩大,年我国市场已达亿元。年年间,平均增长率。目前国内英寸英寸毫米生产线条,英寸线条......”

8、“.....产能已占全国的,英寸以上高端生产线已开始成为国内芯片制造业主体。按十二五计划新建的生产线对于超净高纯试剂耗用量将有较大幅度增长。此外,随着国内平板显示器大发展,上广电产能将达到月,京东方产能将达到月,二厂三厂建成后将达万枚月。工艺与是类似的,需求的超净高纯试剂也要几万吨。在市场供应方面,目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化......”

9、“.....目前绝大部分需要从其他国家或地区进口,标准水平及以上档次的产品则全部依赖进口。进口产品的主要来源有日本韩国美国等国家及我国的台湾地区。表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率超净高纯试剂吨吨我国超净高纯试剂的研制起步于世纪年代中期......”

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