1、“.....以生产加工热场系统的保温隔热材料及坩埚为主,生产部分的大型发热体。针对这些产品的高纯度要求,对进入生产线的原材料的纯度生产线的洁净度,进行严格控制......”。
2、“.....在材料及产品的成型过程中,合理安排提纯工艺处理,保证产品的高质量,提高产品的纯度。产品方案的目标项目建成以后,主要是以硅单晶生长炉的坩埚保温筒和固化保温毡为主要产品,重点针对国内当前面大量广的热场系统。等到该产品市场较为巩固以后,再开发其他系统的热场零件。热诚与科研院所企业合作,研究硅单晶生长炉对热场零部件的使用要求......”。
3、“.....掌握复合材料在单晶生长炉上的特殊性和规律性,满足硅单晶生长炉具的其他性能要求。自主开发,突破关键技术,实现复合材料制造硅单晶生长炉热场零部件的国产化。及早研制出完全能满足级单晶生长炉拉制晶棒的坩埚坩埚直径在左右研制出拉制硅晶棒的单晶棒的单晶生长炉用发热体发热体的直径在左右通过物理机械性能检测......”。
4、“.....调整制造热场材料的设计和拉晶的工艺参数,将产品做到令用户十分满意。第四章场址选择地点与地理位置交通区位优势非常明显。生产用原料及辅助材料以及生产的深加工系列产品,可通过公路铁路等方式运输,交通运输条件十分便利......”。
5、“.....主要车间的照明均采用双电源,手动切换,保证停电时的人身安全。所有电气设备均应有可靠的接地装置,防止发生触电事故。三职业危害的防护主要从以下两方而着手改善劳动条件和改善操作环境。改善劳动条件合理有效的采用生产自动控制,减少或取消职工与强噪声设备和扬尘点的接触次数和时间......”。
6、“.....保证控制操作人员的操作环境四消防设施消防安全设置的依据和原则该项目的建筑为单层建筑,根据消防法及其它有关消防的法律法规,并根据建筑设计防火规范要求和工程的火灾危险作,对复合材料热场系统进行试验和使用。在西安用复合材料制作的坩埚及加热器,装在加有横向磁场的上,使用情况很好......”。
7、“.....浸渍树脂后碳化制成坩埚。随后,在年美国等用三维复合材料制造了单晶生长炉用坩埚埚帮埚托发热体隔热屏及支撑块等等人制备的高纯复合材料,制造的硅单晶生长炉的热场零部件,通过系列的高温处理,金属杂质含量控制到很低的程度。年,等采用复合材料在硅单晶生长炉的底部设置个容积等于坩埚的容积的环槽......”。
8、“.....可以防止其他热场零件受到损伤。东洋炭素,等国外厂商在其产品介绍中,也提到复合材料制造单硅晶生长炉的坩埚发热体等产品。其中提到的个别产品已经投入使用,大多数则仍处于研究阶段。二产品目标市场分析目标市场确定超高纯及晶体结构完整的硅晶圆是半导体工业中制作芯片的基础材料。集成电路的出现及发展,使人类步入了微电子时代......”。
9、“.....硅单晶生长技术装备面临新的挑战。为改变我国集成电路用关键基础材料技术水平低品种不配套产业化规模小关键基础材料依赖进口的局面,国家科技部设立了微电子配套材料专项,选择英寸硅单晶抛光制备技术研究作为首次研究任务,并要求英寸硅单晶抛光片形成小批量生产能力,达到集成电路技术要求......”。
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