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(定稿)国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性建议书(最终定稿) (定稿)国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性建议书(最终定稿)

格式:word 上传:2022-06-25 16:41:53

《(定稿)国家火炬计划水平砷化镓单晶材料产业化项目可行性建议书(最终定稿)》修改意见稿

1、“.....反应基本停止,从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。我们对多段炉的设计,各段炉温的单独控制及其协调配合控制也进行了反复实验研究并不断进行了优化,对提高单晶生长成品率发挥了重要作用......”

2、“.....正常传递密切相关,结晶速度控制不当,会严重干扰内加热炉所形成的温度分布,进而影响单晶正常生长,本项目在对热场配置进行优化时,兼顾了采用合适的结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉可很好调整固液界面形状,这对生长不同晶向晶体降低位错密度,提高成品率都十分重要......”

3、“.....在水平单晶生长过程中,无法完全按器件制造所要求的晶向生长,即晶体生长方向与晶片的晶向有定的夹角,这导致了水平单晶的切片,般都要斜切因而切片技术难度较大,为使所切晶片上电学参数尤其是载流子浓度均匀分布,固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺杂剂的分凝是以固液界面为界线的......”

4、“.....所切晶片上的载流子浓度会形成浓度梯度,即得不到均匀分布,这会对在晶片上生长外延材料及器件的成品率和性能造成不良影响。角度不致还有可能在晶体内部出现热应力率投资利税率内部收益率较高,当产品产量为吨时,即达到盈亏平衡......”

5、“.....是目前生产量和需求量最大增长率最快的化合物半导体器件之。但是由于国内没有生产该产品的企业,使国内企业对该产品的需求主要依赖进口。本项目的实施,可以满足国内企业市场需求,替代进口产品,并可出口创汇。同时,本项目的实施,将带动相关产业的发展,从而推动我国经济快速发展......”

6、“.....表序号年份项目投产期生产期合计第年第二年第三年第四年第五年第六年第七年第八年第九年第十年生产负荷原材料及辅助材料外购燃料和动力工资及福利摊销费用修性和成熟性关键技术的先进性项目技术路线多晶合成单晶生长晶体加工工艺流程为装管脱氧封管多晶合成约小时多晶清洁处理封管余掺杂剂放籽晶装入单晶炉单晶生长天熔料接籽晶走车生长......”

7、“.....该生长系统在国际上未见成型产品,本项目单位根据多年工艺技术积累,选用精密的温控仪表欧陆智能式温控仪和机械传动系统双向导轨和同步进电机带动精密丝杠组合,可保证在长达天的单晶生长过程中温控精度......”

8、“.....采用优质管支撑石英反应管使石英反应管长期处于高温下时膨胀度不至影响单晶生长反应管外径扩大不超过。石英舟的预处理技术单晶生长是在密封于石英反应管中的石英舟中进行的,因此首先要解决的是石英舟与熔体的粘舟问题。只有不粘舟才能保证单晶生长顺利,不出多晶孪晶。生长完成后......”

9、“.....这个问题曾是困扰单晶生长的个较严重问题。很多单位曾试用过石英舟表面涂碳,碳舟虽可避免粘接问题,但碳易大量掺入晶体成为有害杂质,从而使晶体报废。本项目承担单位国瑞公司经多年研究实践找到了解决粘接问题的良好方法,成为本公司项独特的专有技术石英舟预处理技术......”

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