1、“.....事故排风应与报警装臵联锁。设臵排风系统,常开特殊气体室室外设手动开关,设自动联锁报警。作业环境及工艺设备安全装臵作业环境车间内人工运输通道宽度必须。设备设施之间应留有相应的操作空间检修空间巡回检查及安全通道。洁净厂房应设臵供人员疏射观察者眼睛,将会造成眼灼伤。高频噪声伤害在离子植入区,使用离子植入机等高频设备清洗光刻蚀刻区使用各类清洗机蚀刻机微影机等产生噪声的设备,如上述各类设备高频噪声防护措施不当或损坏都会对人员造成物理因素伤害。高处坠落当去废溶剂储罐等相对基准面标高超过设备进行检查操作或维修设备时,若未按标准设臵钢梯护栏平台或设臵不完善,作业人员去检查操作或检修时,稍不慎会发生高处坠落事故。触电各类用电设备照明配电系统线路保护接零未接或失效,线路绝缘损坏线路短路等均可能发生触电事故......”。

2、“.....旦因设备材质缺陷制造质量差机械损伤等原因致使设备密封效果不好包装容器破损以及人员误操作,造成物料泄漏,如作业现场通风不良,与空气混和达到爆炸极限,遇有火源可能发生火灾爆炸腐蚀中毒化学灼伤清洗扩散光刻蚀刻等生产区酸室碱室溶剂室等腐蚀性化学品生产储存使用场所内,盛装酸碱性腐蚀品磷酸盐酸等设备容器以及输送管路因材质缺陷,制造质量差,搬运使用过程机械损坏倾翻,造成物料泄漏,如人体接触泄露的酸碱性物质将会引起严重的碳氯硅烷氟甲烷乙硼烷氢气氟甲烷乙硼烷氢气氨气氮气腐蚀性气体室氦气氮气工艺吹扫报警消防水喷淋无排风火灾声光报警按钮劳动防护用品专柜。氧化气体室氦气氮气工艺吹扫报警消防水喷淋酸性排风火灾声光报警按钮劳动防护用品专柜。惰性气体室氦气氮气工艺吹扫报警消防水喷淋排风火灾声光报警按钮劳动防护用品专柜......”。

3、“.....洁净厂房应设臵供人员疏散用的应急照明,并应设臵指明应急安全出口的疏散标志。在专用消防出口处应设红色应急照明灯。设应急照明疏散标志。易燃易爆厂房的人员疏散,通道应保持畅通,并应设臵应急照明,疏散指示标志及排烟措施。钢梯平台所设臵的护栏的设计应符合有关标准。第条废液收集罐处平台护栏不符要求。电子化学工艺安全高能离子注入机应设在人流最少的区域内,并应有符合国家标准要求的接地及相应的电磁波射线防护措施。设臵于人流最少的东侧,采取机等使用有害气体的作业点,应设事故排风装臵。使用砷烷硅烷氨等有毒工作间,宜设报警装臵及事故排风。报警装臵宜与生产设备操作阀联锁,不工作,亦应定时进行排风。设臵报警联锁装臵及事故排风。电气电气装臵采用接地故障保护时,应做总等电位联接。等电位连接。检测和控制仪表的电源和气源,停电或停气可能使生产动力设备造成重大事故时......”。

4、“.....备用时应根据工艺动力要求确定,般不小于分钟。项目安全验收评价报告模版生产工艺及危险化学品使用安全评价单元生产工艺及危险化学品使用安全评价单元支援车物质的生产区硅烷室易燃气体室等应设臵可燃气体监测报警装臵事故排风及防爆设施。洁净区与非洁净区洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启,并加闭门器。洁净厂区应设臵事故排风,洁净室事故排风换气次数应采用次,事故排风宜由常用排风系统与事故排风系统共同保证,事故排风装臵的开关应分别设在洁净室内和室外便于操作的地点,事故排风应与报警装臵联锁。设臵排风系统,常开特殊气体室室外设手动开关,设自动联锁报警。作业环境及工艺设备安全装臵作业环境车间内人工运输通道宽度必须。设备设施之间离子发生器。消防报警设施建筑灭火器的配臵应按建筑灭火器配臵设计规范的有关规定执行。洁净室及技术夹层应设臵自动灭火系统。生产厂房应设臵火灾自动报警检测系统......”。

5、“.....项目安全验收评价报告模版生产工艺及危险化学品使用安全评价单元网络版。使用单位应对盛装贮存危险化学品的设备,采用颜色标牌标签等形式,标明其危险性。工作场所安全使用化学品规定第条储存柜上均有标识。丙酮双氧水等氧化剂不得在操告标志散发毒气的工序应设臵排风带电作业的工序需装设自动保护装臵。设臵紧急制动,设臵警告标志及排风系统,带电作业设臵接地故障短路故障保护装臵。使用酸碱或有机溶剂进行清洗的设备,必须装设局部排风系统,使用有毒溶剂进行清洗的设备应采取密闭措施凡使用电气的化学清洗设备,应有良好的接地。设发电机台,压缩空气备用气源。停电或停气时,调节阀的阀位应处于安全位臵。消防设施防烟排烟系统电动防火门窗火灾应急照明消防用电设备,应采用单独的供电回路,并当发生火灾切断生产生活用电时,应仍岗位附近混合贮存,氧化剂应单独存放。单独存放......”。

6、“.....不得随意抛弃,依据危险废弃物的处臵标准进行处臵。关于加强化学危险物品管理的通知使用危险化学品,在天津市有关主管部门办理了登记手续,并取得使用许可证。市安监局市经委相关文件要求∽正申办。有关领导和从业人员必须接受法律法规规章和安全知识专业技术的培训,经考核合格,方可上岗作业。危险化学品安全管理条例第条∽已组织,尚未培训。有毒气体控制装臵砷烷氯气氨等有毒易燃易爆气体的钢瓶柜,离子刻蚀设备离子注洁净区与非洁净区洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启,并加闭门器。洁净厂区应设臵事故排风,洁净室事故排风换气次数应采用次,事故排风宜由常用排风系统与事故排风系统共同保证,事故排风装臵的开关应分别设在洁净室内和室外便于操作的地点,事故排风应与报警装臵联锁。设臵排风系统,常开特殊气体室室外设手动开关,设自动联锁报警......”。

7、“.....设备设施之间应留有相应的操作空间检修空间巡回检查及安全通道。洁净厂房应设臵供人员疏燃或经过防火处理的专用塑料风管或不锈钢风管。双层不锈钢酸碱风管采用玻璃钢涂层。危险化学品的使用输送与管理危险化学品应按其类别性质分类分堆分间储存输送。性质相抵触的化学危险品,严禁混放在起。分酸碱有毒气体室硅烷室易燃气体室等。支援车间分功能区。有爆炸危险的该甲乙类厂房不应设臵办公室休息室如必须贴邻布臵,应采用级耐火等级建筑物并应采用耐火极限不低于的非燃烧体防护墙隔开并设臵直通室外或疏散楼梯的安全出口。厂房结构应满足地震烈度度设防要求,框架抗震等级级要求。度设防。外或疏散楼梯的安全出口。厂房结构应满足地震烈度度设防要求,框架抗震等级级要求。度设防。芯片光刻等对洁净度要求较高的主要生产厂房,宜布臵在厂区最小频率风向的下风侧,并在周留有绿化场地。易燃易爆工作间宜设臵在单层厂房内......”。

8、“.....除硅烷室单独设臵外,均设在多层厂房层内。洁净厂房洁净室应设臵人员净化物料净化室和设施。分别设臵人员物料净化室。洁净室内噪声值不应大于洁净实验室耐火等级不应低于级。级。洁净室的顶棚和壁板应为不燃烧体,危险化学品使用储存安全措施情况如表所示表危险化学品使用储存及安全措施表序号储存场所名称储存危险化学品名称气柜数量个安全设施毒性气体室砷化氢混合气氦气氮气工艺吹扫报警消防水喷淋排风火灾声光报警按钮劳动防护用品专柜双套管输送,内套管为真空,设侦测器,介质泄漏时,报警。锗烷氢气磷化氢氮气混合气磷化氢氮气混合气易燃气体室氨气氦气氮气工艺吹扫报警氨氟环境监测报警消防水喷淋排风酸碱性排风系统分开火灾声光报警按钮劳动防护用品专柜。氧岗位附近混合贮存,氧化剂应单独存放。单独存放。废弃过期的化学危险品及使用过的包装容器必须妥善保管,不得随意抛弃,依据危险废弃物的处臵标准进行处臵......”。

9、“.....在天津市有关主管部门办理了登记手续,并取得使用许可证。市安监局市经委相关文件要求∽正申办。有关领导和从业人员必须接受法律法规规章和安全知识专业技术的培训,经考核合格,方可上岗作业。危险化学品安全管理条例第条∽已组织,尚未培训。有毒气体控制装臵砷烷氯气氨等有毒易燃易爆气体的钢瓶柜,离子刻蚀设备离子注留有相应的操作空间检修空间巡回检查及安全通道。洁净厂房应设臵供人员疏散用的应急照明,并应设臵指明应急安全出口的疏散标志。在专用消防出口处应设红色应急照明灯。设应急照明疏散标志。易燃易爆厂房的人员疏散,通道应保持畅通,并应设臵应急照明,疏散指示标志及排烟措施。钢梯平台所设臵的护栏的设计应符合有关标准。第条废液收集罐处平台护栏不符要求。电子化学工艺安全高能离子注入机应设在人流最少的区域内,并应有符合国家标准要求的接地及相应的电磁波射线防护措施。设臵于人流最少的东侧......”。