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(定稿)钽靶材、钽环件成品加工技术改造项目可研建议报告(最终定稿) (定稿)钽靶材、钽环件成品加工技术改造项目可研建议报告(最终定稿)

格式:word 上传:2022-06-25 15:56:16

《(定稿)钽靶材、钽环件成品加工技术改造项目可研建议报告(最终定稿)》修改意见稿

1、“.....年改制为上海先进半导体制造股份有限公司。 台积电公司是全球最领先规模最大专业集成电路制造服务公司,年成立于台湾,在大陆有其独资子公司台积电上海数量工艺要求用途电子束焊机台最大加速电压电子束功率焊接室容积。 靶焊接及环件焊接数控车床大台回转直径通用卧式数控车床。 焊接后靶材成品车削数控车床小台回转直径通用卧式数控车床......”

2、“..... 成品靶材铣削及环件焊接槽和端头滚花热喷涂设备套电弧喷涂机。 靶材成品喷涂喷砂设备套吸入式干喷砂。 钽环件成品喷砂和钽靶材喷涂前喷砂工艺。 精密卷圆机台最大厚度,宽度。 环件卷园超声波扫描设备台专用设备靶材焊接质量检验清洗设备台专用设备。 环件及靶材成品清洗包装专用轧辊对用于靶材及环件轧制购买设备多为通用设备,也可用于分厂其它产品生产......”

3、“.....可共用。 产品工艺稳定,并有稳定用户后,再进行扩能建设,扩能建设主要补充机加设备和检测设备三坐标仪。 实施工艺路线成品钽靶材工艺路线工艺可行性分析,此工艺是经过多次试验最终确定生产工艺,加工产品既通过实验室分析检测织构检测,金相检测,焊接强度检测,焊接结合率检测,尺寸检测,外观检测,也通过最终用户上机测试,工艺先进......”

4、“..... 成品钽环件工艺路线成品钽环件工艺路线及所用设备焊接粗加喷砂喷涂检验精加检验清洗封装包装热等静压数控车大三坐标喷砂机车铣热喷涂封装机清洗线洁净室卷圆内外表面滚花划窝焊„„„„„„„项目意义和必要性项目意义随着半导体技术不断进步,计算机芯片集成化程度越来越高,当芯片线宽由原来减小到时,会出现镀膜中向片原子扩散现象,为改变此现象......”

5、“.....从而也使得溅射靶材由原来系列向系列发展,这也是半导体芯片镀膜技术发展必由之路,因此,半导体溅射用高性能钽靶材及环件产品,就成为了计算机芯片镀膜关键耗材之。 溅射用高性能钽靶材及环件制备技术目前世界上只有美国和日本两国拥有,与其相关技术也极为保密,世界各地溅射机台用高性能钽靶材及环件也都由这两国提供,包含出口给中国。 钽业四分厂车间从年开始......”

6、“.....经过两年多艰苦摸索,已掌握了该技术。 自年开始,分厂逐渐以高性能钽靶材坯料产品形式出口,并且此类产品成为了分厂主要产品之。 年,钽靶材扩散焊技术获得突破,同时型钽靶材加工制造技术也获得突破,从而使我们现在也具备了加工高性能钽靶材和钽环件成品技术基础和能力。 年,我分厂生产加工成品钽靶材及环件套,各项检测指标均达到客户要求......”

7、“.....试验结果同该公司使用其他供应商提供靶材使用结果致。 随着中国半导体制造产业发展,国内对高性能钽靶材及钽环件需求也越来越大,目前国内市场高性能钽靶材和钽环件全部依靠进口,其中有部分成品钽靶材和钽环件原材料坯料由我们提供,这类产品基本模式为宁夏生产钽坯料低价格出口到美国美国完成成品加工出售给中国或其他国家芯片制造厂高价格......”

8、“.....更重要是严重阻碍了中国半导体行业自主研发能力。 所以,我们进行高性能钽靶材和钽环件成品加工,不但可以提升我们企业技术水平,增加利润,增强抵御市场风险能力,完善钽材加工产业链,还可以为中国半导体产业发展提供坚实材料基础,意义重大。 项目必要性产品技术附加值大幅提高。 以同种型号靶材和环件市场价格举例出口块钽靶材坯料,售价约块......”

9、“.....售价约套,而套成品钽环件售价是套。 提升企业形象,稳定世界三强地位。 项目形成产业化后,除进步稳定我们世界钽铌三强地位外,也进步提高了我们在钽深加工领域上技术实力,万元,二期完成后,按照件钽靶材,套环件计算,预计可实现新增产值约亿元。 六市场切入情况目前计划切入市场基本情况中芯国际集成电路制造有限公司靶材约块年,环件约件年,产值约亿......”

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