1、“.....返回氯硅烷贮罐供氯硅烷循环屏蔽泵使用，富裕氯硅烷通过氯硅烷输送泵送往干法精馏工序。鼓泡淋洗塔中不被吸收的气体，经过还原尾气压缩机压缩，压力由常压升至，经过压缩气吸收气换热器压缩气过冷气冷却后，冷凝下来的氯硅烷返回氯硅烷贮罐，不凝低温气体进入吸收塔，其中绝大部分氯化氢三氯氢硅四氯化硅在吸收塔内被低温四氯化硅贫液吸收下来，吸收了氯硅烷氯化氢的四氯化硅成为富液，进入富液贮罐。通过富液屏蔽泵输送，富液经过三级贫富液换热器二级贫富液换热器级贫富液换热器与贫液换热升温后，进入脱吸塔，控制定温度塔釜和压力塔顶，氯化氢以气体进入缓冲罐，返回三氯氢硅合成系统重新利用，二氯二氢硅以液态进入缓冲罐，然后进行处理和外卖。脱吸后的四氯化硅称之为贫液，温度为，经过贫液水冷器级贫富液换热器二级贫富液换热器三级贫富液换热器贫液过冷器降温至，进入吸收塔重新利用......”。

2、“.....其中含有微量的氯硅烷氯化氢，为进步净化氢气，采用活性炭吸附器吸附氢气中的杂质三个活性炭吸附器通过时间程序控制，分别进行吸附再生降温。在吸附过程中，活性炭吸附下氢气中微量的氯硅烷氯化氢杂质，通过带式过滤器过滤掉碳粉后，送到立方纯氢储罐，供还原等工序使用。再生过程对吸附饱和的活性炭吸附器加热通氢气吹赶，氯硅烷氯化氢随氢气经过过滤器过滤掉炭粉后重新返回鼓泡淋洗塔鼓泡淋洗。降温过程是对再生后高温活性炭吸附器通冷导热油进行降温。该工序能耗主要为导热油吸收的还原炉余热和电力。多晶硅还原电解氢气或干法回收的高纯氢气，经导热油换热器加热至后，在气体分布板后与经提纯净化后的三氯氢硅在混合罐内均匀鼓泡，三氯氢硅蒸发，氢气与三氯氢硅混合，此时控制混合罐压力，温度，并控制氢气与三氯氢硅气体摩尔比为，混合气体出混合罐后在气气换热器内与的还原尾气进行热交换，升温至左右后进入还原炉......”。

3、“.....气体中所含的硅将在热硅棒上还原沉积生长多晶硅，直至热硅棒的直径达到要求为止。反应后尾气经过气气换热器后进入干法回收系统。在还原炉内混合气体在硅芯发热体表面经过约天的生长周期长成合乎要求的热硅棒。热硅棒经冷却后即多晶硅棒，每炉次的多晶硅棒经过取样检测后，按照不同用户的要求进行切割滚磨破碎清洗烘干等加工处理后，最后进行真空包装。该工序能耗为电力，同时输出导热油吸收的余热用于其他供需加热。主要生产工艺简图工艺的技术特点干法还原尾气回收年，西门子公司成功开发了利用氢气还原三氯硅烷在硅芯发热体上沉积硅的工艺技术，并于年开始了工业规模的生产，这就是通常所说的西门子法。西门子法中还原尾气采用湿法回收工艺，由于湿法回收中采用水洗来除去氢气中氯化氢氯硅烷，在损失氯化氢氯硅烷同时，增加了废水的处理量，并且水分及水中空气中的杂质进入到氢气中，污染了氢气......”。

4、“.....湿法回收工艺消耗大收率低，从而增加了整个多晶硅生产成本。因此在西门子法工艺的基础上，通过增加还原尾气干法回收系统氢化工艺，实现了闭路循环，于是形成了改良西门子法闭环式氢还原法。采用干法回收工艺，还原尾气中的各组分几乎可以分离回收，由于整个系统是闭路循环，不引入新的污染源，故回收各组分品质稳定，可直接返回系统重新利用，从而提高了收率，减少了消耗。采用改良西门子法，其特点为闭路循环系统，采用节能型大还原炉干法回收等技术，产品质量高，原辅材料及电力消耗大为降低，每生产公斤多晶硅的单耗与国内目前水平相比，各项单耗都大幅度降低。还原炉导热油冷却由于多晶硅生产过程中各种物料要反复经过多次加热冷却过程，如对生产中余热资源进行合理利用，则可以大大降低能耗。还原炉能耗占生产能耗，因此对还原炉余热进行利用是余热利用的主要环节，还原炉用导热油冷却后......”。

5、“.....以及进入精馏塔等加热物料，实现了余热回收利用，根据实际的运行经验，还原过程的的余热得到再次利用，使得单位电耗大幅度下降，同时由于还将使全厂的用水量下降大约。设备能效指标核算供电系统该项目生产装置为连续性生产，属易燃易爆的生产场所，为保证用电安全，用电负荷为二级负荷，由两个独立电源供电，当个电源故障，另个电源可满足生产二级负荷的要求。项目供电采用二路架空线路供电，厂内建变电站座和变电所三座对生产供电。在变压器选型方面，选用，和，还原炉变压器选用单台配电容量为多晶硅专用调压变压器，该变压器能够合理调整多晶硅还原工序随结晶过程带来的电阻变化引起的加热热功率变化，保证了结晶温度，解决了多晶硅生产中物耗高能耗高成本高污染严重及难实现规模生产问题。在变压器选型方面符合节能要求。在无功补偿方面，侧采用还原炉电气系统配套的无功补偿装置......”。

6、“.....使补偿后功率因数不小于。符合国家节能要求。干法回收设备干法回收设备主要由换热装置吸收装置储存装置和输送设备组成。吸收装置主要有鼓泡淋洗塔吸收塔脱吸塔活性炭吸附器高效氢气过滤器等换热装置主要有鼓泡气气换热器鼓泡塔氯硅烷换热器压缩气吸收气换热器压缩气过冷器贫液水冷器级二级贫富液换热器贫液过冷器脱吸塔顶冷凝器脱吸塔再沸器导热油水换热器等储存装置有还原尾气缓冲罐氯硅烷储气的氢压缩机液体氯硅烷输送泵关键的分析设备关键的阀门仪表等可以考虑引进合资产品。将变压器并联运行，根据用电负荷大小及时调整变压器运行的台数以及功率因数，确保变压器经济运行，节约电能。在变压器选型方面，还原炉变压器选用多晶硅专用调压变压器，该变压器能够合理调整电压，保证了结晶温度。在无功补偿方面，侧采用还原炉电气系统配套的无功补偿装置，侧设电容无功功率自动补偿装置，使补偿后功率因数不小于......”。

7、“.....通过调节电动机的转速来调节风机水泵的流量，避免节流造成的损失，节约电能。针对主要耗能环节还原部分，选用节能型大还原炉，电力消耗大幅降低。选用新型高效机泵，以降低能耗。余热的利用。本项目利用导热油回收节能型大型还原炉生产多晶硅产生的余热，在正常情况下，用导热油回收还原炉的余热能满足各用热负荷所需热量，可用于冬季取暖及周边其他企业的用热。废弃物处理和综合利用本项目所产生的固体废物主要是废吸附剂，送莒县环卫所进行无害化填埋，四氯化硅为副产品可外卖生产其他产品。节能效果分析节电效果分析根据统计，多晶硅生产电耗平均为，本项目投运后，千克多晶硅电耗为，生产每千克较平均水平低，据此按年产吨多晶硅核算，年可节约电能万，折标准煤吨按折算。年可减排吨，减排吨。余热利用项目合理利用导热油回收节能型大型还原炉生产多晶硅产生的余热，用于满足各用热负荷所需热量。根据工艺参数......”。

8、“.....表导热油余热回收系统余热利用效果核算表序号项目名称单位数量导热油额定流量导热油余热系统出油温度导热油余热系统回油温度导热油余热系统出油比热导热油余热系统回油比热导热油余热系统供热量供热功率负荷系数实际供热负荷年运行时间年供热折标准煤量通过表核算，导热油余热利用系统年可节煤吨。第六章节能评估结论评估结论中华人民共和国可再生能源法规定国家将可再生能源开发利用的科学技术研究和产业化发展列为科技发展与高技术产业发展的优先领域，纳入国家科技发展规划和高技术产业发展规划，并安排资金支持可再生能源开发利用的科学技术研究应用示范和产业化发展，促进可再生能源开发利用的技术进步，降低可再生能源产品的生产成本，提高产品质量。多晶硅生产是可再生能源太阳能发电的基础，可见本新建多晶硅项目，符合行业准入条件......”。

9、“.....该项目产品为直径多晶硅棒，符合产业结构发展要求。该项目基于发展清洁可再生能源为出发点，不仅有效地实施了污染的源头控制，而且最大限度的实施了回收利用还原尾气以及余热，实现了物料和能源的循环利用，社会和环境效益明显，并带来了定的经济效益，符合行业准入条件和循环经济发展的要求。与多晶硅生产平均电耗相比，本项目千克多晶硅电耗为，较平均水平低，按年产吨多晶硅核算，年可节约电能万，折标准煤吨按折算。年可减排吨，减排吨。该项目主要产品多晶硅单位产品综合能耗为当量值，电耗为，在同行业中处于较好水平。该项目实施后万元工业总产值综合能耗为万元，对日照市的节能降耗起到巨大的推动作用。富液储罐二氯二氢硅储罐吸收塔出口缓冲罐吸附后纯氢储罐等输送设备有氯硅烷循环屏蔽泵富液循环屏蔽泵冷油循环屏蔽泵等。为提高吸收效率，在鼓泡洗淋塔还采用尾气压缩机提高尾气压力提高吸收效果......”。