1、“.....年完成阶段性成果，即完成溅射钽环件坯料制备工艺研究。取得技术突破项目时间合计重量销售额万元溅射钽环件用钽条晶粒尺寸在，并均匀致溅射钽环件用钽条同板差小于溅射钽环件用钽凸结体加工工艺，采用压力成型及精加工工艺，保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差要求。市场情况产品研发成功后，产品质量得到国外多家用户认可......”。

2、“.....详细销售情况见表，表表年至年月钽条销售表项目时间合计重量销售额万元表年至年月钽环件销售表项目时间合计重量销售额万元高性能能钽靶材和钽环件成品加工技术基础通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材成品加工工艺研究和公司科技攻关项目型钽靶材生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究，获得成品钽靶材型钽靶材和钽环件加工工艺......”。

3、“.....焊接结合率大于，结合强度满足要求成品钽靶材机加工艺，产品尺寸及形位公差满足用户要求成品钽靶材表面铝热喷涂工艺成品钽靶材清洗工艺。靶材坯料成品靶材市场情况成品钽靶材工艺技术突破后，经多次工艺试验及改进，对靶材进行破坏检测，各种检测指标都合格。成品靶材有块已经得到上海先进材料公司上机测试......”。

4、“.....现在正在积极推进在其他半导体公司进行上机测试。型钽靶材生产工艺研究取得技术突破型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织型钽靶材拉深工艺型钽靶材机加工艺型钽靶材焊接工艺。靶材坯料同规格铜型靶材市场情况型钽靶材目前在国内没有应用，我们图纸来源于公司，他们希望我们加工成品提供，由于我们没有关键设备......”。

5、“.....工艺不稳定成熟，所以没有给用户提供样品。溅射钽环件生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究在年取得阶段性成果后，由于市场原因，课题在终止年后，于年完成总体工艺研究。取溅射钽环件用钽条晶粒尺寸在，并均匀致溅射钽环件用钽条同板差小于溅射钽环件用钽凸结体加工工艺，采用压力成型及精加工工艺，保证钽凸结体对尺寸公差及形位公差要求......”。

6、“.....形成批量销售。详细销售情况见表，表表年至年月钽条销售表项目时间合计重量销售额万元表年至年月钽环件销售表项目时间合计重量销售额万元高性能能钽靶材和钽环件成品加工技术基础通过自治区科技攻关项目高性能钽靶材成品加工工艺研究和公司科技攻关项目型钽靶材生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究......”。

7、“.....具体取得成果分述如下高性能钽靶材成品加工工艺研究取得技术突破钽靶材和铜铜背靶扩散焊接技术，焊接结合率大于，结合强度满足要求成品钽靶材机加工艺，产品尺寸及形位公差满足用户要求成品钽靶材表面铝热喷涂工艺成品钽靶材清洗工艺。靶材坯料成品靶材市场情况成品钽靶材工艺技术突破后，经多次工艺试验及改进，对靶材进行破坏检测，各种检测指标都合格......”。

8、“.....测试结果同国外提供钽靶材结果致。现在正在积极推进在其他半导体公司进行上机测试。型钽靶材生产工艺研究取得技术突破型钽靶材坯料制备工艺保证拉深后内部组织型钽靶材拉深工艺型钽靶材机加工艺型钽靶材焊接工艺。靶材坯料同规格铜型靶材市场情况型钽靶材目前在国内没有应用，我们图纸来源于公司，他们希望我们加工成品提供......”。

9、“.....前期试验都在外协加工，工艺不稳定成熟，所以没有给用户提供样品。溅射钽环件生产工艺研究溅射钽环件生产工艺研究在年取得阶段性成果后，由于市场原因，课题在终止年后，于年完成总体工艺研究。取得技术突破钽环件内外表面滚花工艺，获得菱形花纹，并均匀钽环件端头滚花工艺，获得菱形花纹，和表面花纹致钽环件和钽凸结体焊接工艺......”。