1、“.....解决我国急需高纯气体材料国产化问题,使高纯硅烷气体纯度达到。该项目在国内属首创,技术指标达到国际同行业先进水平,填补我国高纯度特气生产空白,彻底改变我国电子特气长期受制于人局面。本项目是在国内七五八五科技攻关成果,即高纯硅烷纯度达高纯电子气产品基础上,采用白俄罗斯明斯克无线电材料研究所超纯材料中心技术......”。
2、“.....气体精馏纯化技术,加以改进和创新,将硅烷纯度提高到兆位级以上。以满足我国微电子生产厂家线宽集成电路,高亮度发光二级管和高转换效率砷化镓太阳能电池对高纯度电子气要求,促进我国电子信息产业健康发展。项目建设必要性及意义兆位级高纯硅烷磷烷砷烷是微电子工业光电子技术不可缺少气体材料,在电子工业中有着十分重要地位,它们开发及产业化平......”。
3、“.....新材料能源与信息技术被世界公认为现代技术三大支柱。特种电子气体是微电子工业重要支撑材料,被誉为是铋造电魅神经细胞源。半导体技术主要依赖于半导体材料进步,因此发展电子工业必须同步或超前发展特种气体产业,如果关键材料依赖进口,正处于蓬勃发展时期我国电子工业,必然受控于西方工业技术发达国家......”。
4、“.....基本可以保证对中小规模集成电路生产技术用气。但是随着集成电路技术光电技术发展,其对电子气体要求也越来越高。我国目前制芯业水平,与当代国际上以英寸为主流生产线相比,大约还相差年时间,同时电子气体研制水平和工业化生产技术有着很大差距。由于国内目前在此领域内投入资金及科研技术力量严重不足,使得国内电子气体在产品质量品种数量上以及储存运输等方面......”。
5、“.....与我国跳跃式发展微电子技术光电子技术不相适应。目前国内能够独立开发和量化生产高纯硅烷电子气厂家只有南京华厦特种气体有限公司家,国内目前销售大多为国外进口分装销售。因此,为了尽快赶上国际先进水平,打破高纯度电子气体全部依赖进口现状,满足我国半导体制造业需求。同时为响应国家在十五期问特种气体必须有个突破要求......”。
6、“.....以填补国内高纯硅烷磷烷砷烷空白项目。为促进和保障我国电子信息产业稳步发展做出贡献。特种电子气体是发展集成电路和微电子工业技术必不可少关键基础材料之。本项目生产高纯硅烷磷烷和砷烷是电子工业生产中主要原材料,用途广泛。本项目实施意义特种气体既可以替代进口,也可以出口创汇,符合国家产业政策......”。
7、“.....投资回收期较短,是个有发展前途项目,随着生产规模扩大,生产成本和盈利水平可望进步改善。以这气体是微电子工业重要支撑材料,被誉为是铋造电魅神经细胞源。半导体技术主要依赖于半导体材料进步,因此发展电子工业必须同步或超前发展特种气体产业,如果关键材料依赖进口,正处于蓬勃发展时期我国电子工业,必然受控于西方工业技术发达国家......”。
8、“.....基本可以保证对中小规模集成电路生产技术用气。但是随着集成电路技术光电技术发展,其对电子气体要求也越来越高。我国目前制芯业水平,与当代国际上以英寸为主流生产线相比,大约还相差年时间,同时电子气体研制水平和工业化生产技术有着很大差距。由于国内目前在此领域内投入资金及科研技术力量严重不足,使得国内电子气体在产品质量品种数量上以及储存运输等方面......”。
9、“.....与我国跳跃式发展微电子技术光电子技术不相适应。目前国内能够独立开发和量化生产高纯硅烷电子气厂家只有南京华厦特种气体有限公司家,国内目前销售大多为国外进口分装销售。因此,为了尽快赶上国际先进水平,打破高纯度电子气体全部依赖进口现状,满足我国半导体制造业需求。同时为响应国家在十五期问特种气体必须有个突破要求......”。
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