1、“.....年产单晶。 美国公司是世界最大材料生产商。 世界单晶主要生产商情况见表。 国际上砷化镓市场需求以英寸单晶材料为主,而英寸单晶材料产量和市场需求快速增加,已占据以上市场份额。 研制和小批量生产水平达到英寸。 近年来,为满足高速移动通信迫切需求,大直径英寸发展很快,英寸厘米长及英寸厘米长和英寸半绝缘砷化镓也在日本研制成功......”。
2、“.....发展速度更快,但研制直径英寸以上大直径磷化铟单晶关键技术尚未完全突破,价格居高不下。 宽禁带氮化镓材料国外对研究早在五十年代末和六十年代初就已开始了。 到了八十年代中期,美国海军研究局和国家宇航局与北卡罗来纳州大学签订了开发材料和器件合同,并促成了在年建立专门研究半导体公司。 九十年代初,美国国防部和能源部都把集成电路列为重点项目......”。
3、“.....从此开始了有关材料和器件系统研究,并取得了令人鼓舞进展。 即目前为止,直径具有良好性能半绝缘和掺杂材料已经商品化。 美国政府与西屋西子公司合作,投资万美元开了英寸纯度均匀低缺陷单晶和外延材料。 另外,制造器件工艺如离子注入氧化欧姆接触和肖特基接触以及反应离子刻蚀等工艺取得了重大进展,所以促成了器件和集成电路快速发展......”。
4、“.....它已经显示出良好应用前景。 航空航天冶炼以及深井勘探等许多领域中电子系统需要工作在高温环境中,这要求器件和电路能够适应这种需要,而各类器件都显示良好温度性能。 具有较大禁带宽度,使得基于这种材料制成器件和电路可以满足在到条件下工作需要,目前有些研究水平已经达到工作温度,并正在研究更高工作温度器件和集成电路......”。
5、“.....先后研制和生产了英寸英寸英寸英寸和英寸硅片。 随着半导体分立元件和硅光电池用低档和廉价硅材料需求增加,中国单晶硅产量逐年增加。 据统计,年我国半导体硅材料销售额达亿元,年均增长。 单晶硅产量为,抛光片产量万平方英寸,主要规格为英寸,英寸正片已供应集成电路企业,英寸主要用作陪片。 单晶硅出口比重大......”。
6、“.....较年增长了。 目前,国外英寸生产线正向我国战略性移动,我国新建和在建英寸生产线有近条之多,对大直径高质量硅晶片需求十分强劲,而国内供给明显不足,基本依赖进口,中国硅晶片技术差距和结构不合理可见斑。 在现有形势和优势面前发展我国硅单晶和技术面临着巨大机遇和挑战。 年国内从事硅单晶材料研究生产企业约有家,从业人员约人......”。
7、“..... 其中,有研硅股在大直径硅单晶研制方面直居国内领先地位,先后研制出我国第根英寸英寸和英寸硅单晶,单晶硅在国内市场占有率为。 年国内硅单晶产量达吨左右,销售额突破亿元,平均年增长率为,预计年我国硅单晶产量可达吨左右......”。
8、“.....近年来,随着中科镓英半导体有限公司北京圣科佳电子有限公司相继成立,开了英寸纯度均匀低缺陷单晶和外延材料。 另外,制造器件工艺如离子注入氧化欧姆接触和肖特基接触以及反应离子刻蚀等工艺取得了重大进展,所以促成了器件和集成电路快速发展。 由于器件优势和实际需求,它已经显示出良好应用前景......”。
9、“.....这要求器件和电路能够适应这种需要,而各类器件都显示良好温度性能。 具有较大禁带宽度,使得基于这种材料制成器件和电路可以满足在到条件下工作需要,目前有些研究水平已经达到工作温度,并正在研究更高工作温度器件和集成电路。 二我国半导体材料现状中国半导体材料行业经过四十多年发展已取得相当大进展,先后研制和生产了英寸英寸英寸英寸和英寸硅片......”。
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