1、“.....本项目产品市场越来越广阔。为进步满足不断增长国内外市场对该产品需求,本企业计划投资扩大生产规模,增加产量,提高市场占有率,实现产品产业化。预期经济效益本项目年达产,达产期年销售收入万元,年净利润万元,上缴利税万元,利税率达到。本企业实施该项目优势技术优势项目承担单位国瑞公司前身是北京有色金属研究总院化合物半导体材料研究室,从年就开始水平单晶研究,已有多年研究开发经验,拥有支由该领域知名专家教授及长期从事该项目研究高工组成研发队伍,这支队伍对该项目产品拥有绝对技术优势。该项目技术路线设计合理,关键技术已经突破,其余技术完全能够实现,项目产品目前已通过权威部门检测和鉴定,鉴定结果为国际先进。项目目前已有部分产品销售国内外,用户中包括日本住友电工公司韩国公司等世界知名企业和中科镓英公司等国内用户,对该产品用户致反映良好......”。
2、“.....拥有水平生产厂房,公司研发基地在北京有研总院。公司在水平生产技术方面处于国际先进水平,公司是国内唯批量生产水平晶片晶片企业。公司成立了由具有多年水平研究开发经验专业人员组成销售队伍,这支队伍熟悉本项目产品各项性能指标,了解客户需求,比较利于开展工作。同时,由于本项目产品性价比高于国外同类产品,因此在国际上具有强竞争力。目前产品已经进入国际市场,被日本住友电工集团韩国公司等世界知名企业应用。日本住友电工集团向对外来产品要求极为严格,本公司产品能够大量进入该集团,说明本产品极具竞争力。管理优势我公司拥有支素质高业务精专业搭配合理管理队伍,公司员工具有大专以上学历。管理团队知识层次高,具有高度凝聚力勇于开拓创新性和丰富管理经验。高素质员工群体现代科学管理方式可靠质量保证体系完美结合,使产品质量得到充分保证。公司在日常生产和管理中,注重提升员工质量意识,在员工头脑中筑起了质量保证长城......”。
3、“.....公司已于年通过该认证。公司按照建立现代企业制度要求,制定了整套完备管理制度,包括人事管理制度财务管理制度销售管理制度技术开发奖励制度等。实行物质奖励与精神奖励相结合,奖酬激励人才使用激励与企业文化激励相结合,短期激励与长期激励相结合综合激励方式。自公司成立以来,凭借自身雄厚实力和分别表示液固气相。反应使进入,反应使部分与反应生成气相逸出,二者差值,造成中并入。高温区气相扩散到中温区发生如下反应反应消耗了,使反应向右继续进行,加剧了向中并入。反应与温度关系密切,如将温度升到以上,反应基本停止,从而可抑制反应向右方进行故将该温区温度维持在以上。我们对多段炉设计,各段炉温单独控制及其协调配合控制也进行了反复实验研究并不断进行了优化,对提高单晶生长成品率发挥了重要作用......”。
4、“.....正常传递密切相关,结晶速度控制不当,会严重干扰内加热炉所形成温度分布,进而影响单晶正常生长,本项目在对热场配置进行优化时,兼顾了采用合适结晶速度这重要参数。固液界面特种加热炉可很好调整固液界面形状,这对生长不同晶向晶体降低位错密度,提高成品率都十分重要。单晶生长过程中固液界面形状控制是提高成品率关键技术。在水平单晶生长过程中,无法完全按器件制造所要求晶向生长,即晶体生长方向与晶片晶向有定夹角,这导致了水平单晶切片,般都要斜切因而切片技术难度较大,为使所切晶片上电学参数尤其是载流子浓度均匀分布,固液界面也必须与生长方向成定角度。因为杂质主要是掺杂剂概述项目提出背景技术开发状况现有产业规模项目产品的主要用途性能投资的必要性预期经济效益研发基地,加快了单晶材料产业化步伐。年在国内首次拉制重,加工直径英寸晶片单晶,年建成了国内第个有台单晶生长系统生产线......”。
5、“.....使我国单晶年产量首次突破,我国单晶材料研究由长期实验室阶段向产业化迈出了第大步。国瑞电子材料有限责任公司年月注册成立,由北京有色金属研究总院和有研半导体材料股份有限公司共同出资组建。注册资金万元,有研总院占股份,对该公司有绝对控股权,原有研总院该项目研发人员全部转入国瑞公司继续水平砷化镓项目研究与开发工作。目前企业拥有单晶生产系统台及相应晶片加工切片机磨片机划园机倒角机抛光机等性能检测设备......”。
6、“.....主要用于设备购置原辅材料费购置研发费用工资福利费市场调研培训和其他费用,资金来源为企业自筹。管理商,公司制定了以人为本,科学管理,追求卓越,顾客至上,持续发展质量方针,尊重人才,通过培训不断提高员工素质,重视人力资源开发,倡导全员参与采用现代管理方法,使工作规范化合法化,持续提高工作效率和质量重视质量,通过推行科学质量管理,持续改进产品质量服务和管理水平提供符合顾客要求产品,达到并超过顾客满意,争取更多顾客,拓展市场持续改进质量管理体系,使公司保持同行业前列。公司年通过质量管理体系认证,并且在生产管理等每个环节都严格按要求去做,从而保证产品质量,降低生产成本。企业从事该产品生产条件产业基础本项目产品技术成熟,年通过了中科镓英半导体有限公司质量管理部所做测试报告......”。
7、“.....鉴定结果为产品技术产品质量均达到国际先进水平,具备进步扩大生产规模技术条件。本项目产品近年来大量用于红外和高亮度,目前本产品成功进入世界上最大水平砷化镓单晶应用厂商日本住友电工公司。国外另重要用户韩国认为该项目产品质量等同于日本住友电工公司产品。国内中科镓英公司大量购买本项目产品经加工后亦成功进入国际市场,产品市场销售网络已经形成。企业现有生产单晶生长过程中固液界面与生长方向之间角度和所切晶片晶向与单晶生长方向之间角度不致,所切晶片上载流子浓度会形成浓度梯度,即得不到均匀分布,这会对在晶片上生长外延材料及器件成品率和性能造成不良影响。角度不致还有可能在晶体内部出现热应力而导致晶体完整性差,使增大,从而降低成品率。国内外在水平单晶研究开发中,多年来都是使用管状加热炉。因此,固液界面只能与生长方向垂直,无法得到所需要偏角。管状加热炉除了无法得到所需偏角以外......”。
8、“.....由于砷化镓热导率相对较低,在采用管状加热炉情况下固液界面四周热环境是固定,无法变动,加上热辐射和固液界面结晶潜热难以导出,使熔体边缘温度低于中心处温度,往往使固液界面凹向熔体。这种界面非常容易出孪晶,或使晶体增大,降低成品率。在单晶生长理论中,理想固液界面形状应为平坦或略为凸向熔体,做到这点,加热体设计和制造非常关键。加热体是单晶生长核心,对单晶生长影响非常大,是决定单晶生长成功与否关键因素之。该产品设计和制造是本公司多年科研结晶。本公司在炉体结构设计保温层设置和配置加热区段设置加热区域设置等方面均取得了很大进步。目前制作加热体,截面区固液交界面区有特殊加热结构。高温区各加热段设计合理,中温区有后加热体设置,其余各区设置合适在产品试制过程中表明,该加热体非常适合水平砷化镓单晶生长。采用这种加热体,可以很好调节固液界面形状及固液界面与生长方向夹角,使其与所切割晶片方向致......”。
9、“.....同时,采用这特种加热炉,通过高温区中温区和固液界面区温度分布控制,很容易调平固液界面。当然,这种加热体如何单独控制又协调配合形成所需温度分布,也要经过反复实验研究不断优化。经过几年开发,本项目单位已在国内独家掌握了该项技术,该项技术达到世界先进水平。关键技术先进性本项目产品年月通过了中国有色金属工业协会组织科技成果鉴定,鉴定结论为该项目利用本单位独创石英舟预处理技术生长系统设计和制造技术,固液界面特种加热炉设计和制造技术,研究开发了本项目产品生长工艺技术和晶片加工工艺技术。通过提高单晶单炉产量和成品率,提高晶片加工成品率,实现了水平砷化镓单晶材料产业化,达到了预期目标。该项目技术达到国际先进水平,产品质量也达到国际先进水平,同类商品国际市场占有率接近。该产品与日本住友电工相比,各项技术指标均达到或高于其产品......”。
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