1、“.....采取调制热处理可显著降低并消除应力变形图图施加极限压强时，箱体发生的变形主要集中在箱体上板，其他面由于加强筋的作用产生的变形基本可以忽略。由图分析可知，箱体的最大变形为,在允许的变形范围内，为安全起见我们将上板的厚度增加两个毫米由于上板可能要放置其他部件，故不便布置加强筋抽气系统的设计与计算选泵与配泵本系统采用分子泵和罗茨泵作为主泵，选用旋片泵作为预抽泵和前级泵。主泵可以利用下面的经验公式计算。式中镀膜室的体积，。所以，分子泵的抽速为选用台抽速为的型涡轮分子泵。罗茨泵的抽速可由下式算出因此，选用的罗茨泵作为分子泵的前级泵。通常，罗茨泵所配前级泵抽速根据经验公式计算，旋片泵的抽速为选用的旋片泵作为罗茨泵的前级泵及真空系统的预抽泵。抽气时间的计算镀膜机抽气系统的气体来源真空镀膜机的镀膜室中......”。

2、“.....上述五项气源中，第项对计算高真空泵而言，这部分气体主要在抽气系统预抽真空时被预抽真空泵抽走，因而它只是作为选择预抽真空泵缩短预抽时间的依据。由于各种材料的放气量不但数字差别很大，而且也不完整。因此，高真空的抽气时间的计算结果与实际就有定的出入。预抽时间计算分子泵启动前先用选片泵预抽至，预抽管道大小和选片泵进气口径致。则选片泵从大气压抽到的抽气时间为分子泵抽气时间计算分子泵抽气范围为，抽气管道直径为，管道长。由于过渡态流导的计算比较复杂，工程上允许用分子流导计算代替。这样不但计算简单而且设计偏于安全，因此可以将这个过程全部当做高真空抽气来计算。对于高真空抽气，有些特殊的地方要考虑......”。

3、“.....而其他气源越来越成为主要的气体负荷。其中有微漏，渗漏，蒸发，表面解吸。高真空领域的抽气，实际上是对伴随排气过程的变化所产生的放气流量的排除。常用的近似计算高真空抽气时间的方法有解析法和图表法。本设计采用的是解析法。真空室的主要表面放气的对象及放气率分别如下真空室内表面加热片组合布气盒表面解析法的求解方程分别在压强为和压强为时的时间，二者相减可以得到高真空的抽气时间所以，总的抽气时间为，再加上分子泵启动时间，仍然满足要求。布气系统的设计布气系统的作用由于镀膜是靠气体的沉积形成薄膜，因此气流的均匀性对薄膜的质量有着非常重要的作用，布气装置的作用便是使高流速的反应气体减速形成流速慢分布均匀，冲击性小的气流。其原理便是层层阻拦或者层层分离，使气流尽量均匀......”。

4、“.....布气系统的机构原理是让气体通过不断分离的管道口径不断变化最后再在定空间内混合后次通过布满细孔的两层板最后达到均匀性较好的气流。般的布气装置就是气流通过布满细孔的管道，由此出来的气体流速依然较强，并不能达到比较理想的效果。采用本结构的布气系统能实现气体较好的均匀混合图图图图上图是用分解开的组合布气系统的三维图纸，在结构上由上下，左右，前后以及中间板，还有通气管道组合而成。首设计可以帮助我们更加清楚的认识自我，磨练学生的意志与耐性，这会为学生日后的工作和生活带来很大的帮助。在此衷心地感谢干蜀毅老师在设计过程中给我的精心指导和帮助，以及同学们给予的帮助，无论从资料的收集还是工程图的改进，都使我在毕业设计的两个月里受益匪浅。他们都给了我很多的帮助和启示，使我认识到了自己的不足，这次毕业设计定会对我今后的学习和发展起到重要的作用。然后感谢真空教研组老师对学生的深切关心......”。

5、“.....以便我们有足够安静的环境进行毕业设计，使得我们每个星期都能够与老师讨论。至此论文完成之际，再次向我的导师表示衷心的感谢和崇高的敬意,再次向指导我的学长及帮助过我的同学致以诚挚的谢意,谢谢,参考文献何建坤中国十五节能评估及十二五节能工作的建议中国可持续能源项目网站，于萍，张雨丝太阳能电池的生产与发展太阳能电池施正荣，晶体硅太阳能电池的现状和发展，中国第七届光伏会议论文集，杭州，李芬，朱颖，李刘合，等等离子体增强化学气相沉积技术及其发展真空电子技术，Ⅱ，李芮化学气相沉积技术印染张以忱真空镀膜技术北京冶金工业出版社，杨乃恒太阳能电池板与真空镀膜技术沈阳东北大学出版社，马元远，王德苗，金浩，等工艺参数对化学气相沉积薄膜性能的影响真空，，徐成海真空工程技术北京化学工业出版社，达道安真空设计手册第版北京国防工业出版社......”。

6、“.....濮良贵，纪名刚机械设计第八版北京高等教育出版社，核工业西南物理研究院大面积化学气相沉积镀工艺研究中国，气体通过管道进入反置于上板内壁的分离管路系统，此时气体被分流成很多细束。随后这些细束气流再反向通过布满细孔的中板，最后再通过布有更细孔的下板，此时进来时的强气流已成为流速较低，均匀性较好的工艺气体，可以满足镀膜时对气体的要求。机架的设计与计算真空镀膜室总重估计真空室六块钢板组成，钢的密度为，则真空室壳体总重约玻璃电池板玻璃最大尺寸为，密度为，质量为布气盒总重为加强筋每个，总重加热片总重因此，磁控溅射真空镀膜室总重约为。机架的结构设计与校核机架采用槽钢构成，根据机械设计手册选择槽钢型号为。槽钢在平放时米跨度能承受集中力为，立放时米跨度能承受集中力为。机架的结构如上图所示。通过的模拟分析，得到了图所示的机架应力分布图。从图中可以看出，机架的最大内应力为......”。

7、“.....满足设计要求。因此，所设计的机架满足要求，可以使用。结论本设计将等离子体增强化学气相沉积技术技术应用到太阳能电池板的研究和开发之中，设计出相应的生产装置和系统，并进行系列的基础理论研究和成膜工艺研究以优化工艺的流程和薄膜的性能，从而提高太阳能电池板的成膜质量和生产效率。本文介绍了镀膜原理以镀膜生产线的组成与各部分作用。技术原理是利用低温等离子体作能量源，克服了传统镀膜工艺对高温的依赖，保证了低温下能获得较高的沉积速率和维持稳定的镀膜状态，因而能够很好的适用于工业化大规模生产。在阐述技术原理的基础上对镀膜装置的主体进行设计，同时设计了布气系统抽气系统真空室壳体以及机架，完成了镀膜装置的总体设计。通过这系列的训练，不仅锻炼了自己的独立思考能力以及学会了作为名合格工科院校毕业生应具备的分析处理问题的方法......”。

8、“.....谢辞为期三个月的毕业设计即将结束，在诸位老师的指导和同学的帮助指导之下，本人对于机械设计有了更多新的认知，对机械设计的整体脉络了解得更加的清晰透彻。通过毕业设计，使自己对自己大学四年以来所学的知识有更多的认识，并且将这些理论知识应用到实际设计当中。通过毕业设计，帮助我们总结大学四年收获提升自我。检验我们大学所学的机械和真空方面的知识。同时，还帮助我们改变些处理事情时不严谨的习惯。从最开始时的搜集资料，整理资料，到方案比选，确定方案，再到着手开始进行装置真空室布气系统和抽气系统的设计，每步都是环环相扣，衔接紧密，其中任何个步骤产生遗漏或者疏忽，就会对以后的设计带来很多的不便。学生的动手能力和资料搜集能力在设计中也得到提升。同时也激发了我们对于设计的热爱，激发了我们的创新精神。毕业设计中很多数值公式计算方法以及些常用的标准都需要我们去耐心地查阅书籍......”。

9、“.....设计中需要用到辅助设计软件的地方，也需要我们耐心的学习。掌握其使用的要领，运用到设计当中去。最后总结的阶段，需要将前期各个阶段的资料进行归类整理并不断修改。经过了两个多月的学习和工作，我终于完成了太阳能电池装置设计的全部设计工作。从开始接到论文题目的不知所措，再到进行系统的设计，最后到论文文章的完成，每走步对我来说都是新的尝试与挑战，这也是我在整个大学期间独立完成的最艰难的项目。在这段时间里，我学到了很多新的知识也有很多感触，从对技术的无所知，对，等软件的很不了解状，我开始了独立的学习和试验，查看相关的技术资料和文献，让自己头脑中模糊的概念逐渐清晰，使自己不完美的作品步步完善起来，使自己懒散的思维逐渐严谨起来，每次改进都是我最大的收获，每次尝试的成功都会让我兴奋不已。从中我也充分认识到了系统性思维方式方式给我带来的好处。虽然我的设计作品不是完美......”。