1、“.....电磁阀，蝶阀，挡板阀，由旋片泵对真空室进行从大气开始抽气。当到达左右的压强时，关闭蝶阀，打开蝶阀，由有扩散泵作为主泵，旋片泵作为前级泵对真空室进行抽气，当达到镀膜时所需的工作压强时，真空室内的压强基本保持稳定，抽气系统继续抽气直到镀膜结束。第页第章软件的应用软件的简单介绍是由美国公司世界著名力学分析专家及其科技团对共同部分开发的款可以应用在多领域并在各领域有着巨大影响力的有限元分析软件。他使用方便，适用面广，由其是对中间计算分析迅速，前后处理方便简单。除能进行常规的计算外，还能对非线性断裂曲屈温度场电场及流构耦合等问题进行计算分析。软件的分析计算过程计算分析过程主要由三部分组成，即建立模型加载求解及结果评价，具体流程图如下由于通过搭接布尔运算粘结拷贝等方法进行，所以可对任何复杂的结构进行建模切耗时少。列如要建立个比较复杂的结构模型，即结构上的有些槽孔等......”。

2、“.....然后再用这个大模型减去各个小模型，这样就可以得到我们想要的复杂模型。对于有对称第页性的模型，我们可先画出对称轴边的图形，然后以对称轴为基准进行镜像即可得到具有对称性的模型图。模型建立后，划分单元是很方便的，在些线或面上定出要划分的比列或单元长度，就可以自动生成单元和节点。单元库种类也相当多，有百多种不同种类的单元可以选择，这对于般的工程计算完全可以满足了。后处理可对计算过程中的整个过程沿个路径或任步的结果进行打印显示，同时还可以显示响应幅值随时间或频率的变化曲线及变形图。中运用的子结构方法子结构模态综合理念已日渐成熟，从年代开始，就有人不断提出各种子结构的方法，经过多年的发展，该方法已成为解决复杂结构动力分析的有效方法，它不仅能够保证结构分析的精度，且能够大幅度降低动力方程的数目。子结构综合的方法很多，归根起来......”。

3、“.....方法本身并不复杂，但真正使用在实际结构有定难度，其关键的步是对外界面的处理。而软件就是兼顾了这方面的因素，同样个结构，边界可处理为固定，也可处理为自由，界面的处理完全可人为控制，这样大大的提高了程序的通用性，使用简便。在运用子结构方法的同时，在些零部件的有限元分析当中我们还能用到子模型法。子模型法是有限元法的项高级分析技术，在解决复杂应变问题时由其无可比拟的优点，但其分析步骤繁琐，过程比较复杂，容易出现操作，实际应用较少。利用对轴辊的有限元分析有了些基本的理论基础，就不需要把整个系统的三维图导入中分析，因为在本课题中辊道受力均匀，也没有明显的结构变形的地方，般不会产生这种集中应力的现象，因此在轴肩等些小地方再用子模型法进行分析。将各辊轴独立出来，各自加上相应的约束和定的载荷，从而将分析步骤和过程简化了。在这里，分析主要是完成对收第页放膜张力辊道......”。

4、“.....收放膜辊道的有限元分析建立模型由于收放膜辊道的结构，形状是样的，因此只须建立个收膜辊道模型即可。在中建立收膜辊道的模型，并用中的命令把模型导入中。生成有限元定义单元类型。选取梁单元，打开对话框后，在单元库中选择。设定单元尺寸。在有与辊道紧紧贴合，影响镀膜质量。这点没有体现出来。以上两点是在今后设计中要重点改进的地方，这对于卷绕式镀膜的性能影响比较大。谢辞通过本次毕业设计让我学会了很多的东西，曾经在书本上学到的东西到底有什么用怎么用等系列的疑惑都得到了解决。知识学些课本上的东西是不够的，但是没有课本上的理论作为基础也是不行的。在毕业设计过程中，我们要充分的利用现有的网络资源，查阅各种相关的文献以全面的了解自己的课题，及其相关领域的技术发展状况。然后结合现有的技术第页发展并融入自己的创新观点。本次毕业设计能够顺利的完成，得感谢王旭迪教授的精心辅导。每周王老师都要开两次会......”。

5、“.....并帮助我们查找相关的资料。在毕设中期，我在卷绕式镀膜机的卷绕系统设计线性蒸发源的结构设计卷绕系统的传动等方面出现瓶颈，不知道该怎么继续下去时，王老师又带着我去中科大微纳加工中心参观相关的真空镀膜设备，这些为我之后的设计提供了很好的思路。另外还的感谢身边的那些为我提供意见的同学们，还有同组做毕设的同学，我们每次开会都会相互讨论，彼此指出各自的不足并相互交换意见。有了这些帮助我才能顺利的将毕业设计完成。参考文献真空设计手册编写组真空设计手册北京国防工业出版社,郭鸿震真空系统设计与计算北京市冶金工业出版社,罗思真空技术北京机械工业出版社，夏正勋蒸发卷绕镀膜机几个关键技术问题的研究真空与低温,邵文韫，王阳明真空镀膜机卷绕系统中张力控制的研究机床与液压梁勇真空卷绕镀膜技术及设备的现状与发展真空丁学恭,蔡海涛宽幅薄膜高真空卷绕蒸发式镀膜机的研究与设计农业工程学报，张红霞......”。

6、“.....汪嫣卷绕真空镀膜设备智能系统的研究成都四川大学机械设计制造及其自动化系，蔡海涛，李宪华种新型的宽幅的卷绕式真空镀膜机真空,王大为真空镀膜机卷绕系统空间轴系平行度的研究上海上海大学机械电子工程系，蒋观沅国外卷绕式真空镀膜机真空赵韩，田杰机械原理合肥合肥工业大学出版社,朱家诚机械设计课程设计合肥合肥工业大学出版社，第页宋勇精通有限元分析北京清华大学出版社，对话框中选择定义材料属性。在对话框中选择材料相对应的参数。施加载荷在柱面的两端添加约束，并将位移约束施加在两个端面上，在键槽的面施加定的旋转载荷并在宽度为的辊轴上施加均匀分布的径向载荷。求解及其后处理选择在命令，开始求解后，关闭弹出的警告信息。选择命令项，打开其中的及命令，即可得到如下图所示应力第页图利用图中用颜色的不同来表示辊道的受力大小，并能很清楚的看出滚刀手里后的变形情况......”。

7、“.....其单位为牛。为了更明显的显示变形情况，分析出来的辊道应力图的变形明显被放大了，实际的变形是很小的。点选点选。这样即可得到收膜辊道的位移变化图形。图中用颜色的不同来表示位移的大小，也能直观的看出变形，根据底下的彩色条也能确定位移的大小，单位为米。同样为了更加明显的表示形变，而将图形变化夸大了。位移图如下第页图展平辊道的有限元分析展平辊道的有限元分析和上述的收膜辊道步骤是样的，同样要经过建模生成有限元施加载荷求解及后处理等，具体的就在此不重复了。其应力分析如下图所示图其位移变化分析如下图第页图用对线性蒸发源的温度分析热分析可分为稳态热分析及瞬态热分析两种情况。在稳态热分析中任节点的温度都不随时间的变化。稳态热分析般用于分析相对稳定的载荷对系统部件等的影响。般在瞬态热分析以前，先进行稳态热分析以确定部件的初始温度分布......”。

8、“.....瞬态热分析是指对个系统的加热过程或冷却过程的分析，在这个过程中系统的温度热流率热边界条件以及系统内随时间都有明显的变化。瞬态热分析的操作步骤为定义分析文件名，定义单元类型，定义材料属性传导系数材料密度材料比热，建立几何模型，设置单元密度，划分单元，施加对流换热载荷，施加初始温度，设置求解选项，温度偏移量设置，输出控制，存盘，求解，显示温度场分布云图。在这里只对蒸发主槽进行了稳态温度分析，由于有机材料的蒸发温度比较低，般为度，在内壁处输入初始量温度，由于温度向外扩散，从而形成个温度分布场，其分布云图如下第页图图第页结论本文的研究工作在很多方面还只是在现有些存在的技术基础之上，将他们综合起来，完成了对台普通的卷绕式真空镀膜机的设计工作。根据课题要求实现有机材料的蒸发式镀膜，光伏器件中的基板大部分是比较薄的，具有柔性，因此将其设计成卷绕式的镀膜机比较适用......”。

9、“.....相较般的真空基片式镀膜机，其效率大大的提高了，而且镀膜厚度可以通过调节线性蒸发源的功率，卷绕系统的卷绕速率等实现控制，镀膜的均匀性可以通过个三电机驱动的反馈调节系统，实现对放膜收膜蒸镀主辊的线速度的调节，从而保持线速度的致，使得膜层比较均匀。卷绕式真空镀膜机出现，对于现在蒸蒸日上的太阳能电池行业的推进起到个非常重要的作用。设计中的些不足整个镀膜机中卷绕系统的辊道的驱动机构由三电机驱动，并通过程序反馈系统的调节实现他们转速稳定性的控制，这在本文中没有体现出来。卷绕系统中的些展平辊子不具有自动调节张力的能力，在些比较好的卷绕式真空镀膜机中，这些展平辊子都是具有个弹性机构，能够根据柔性基材中张力的大小长生适当的位置变化，从而调节柔性基材内的张力，而不会出现张力过大出现崩断，或者由于反馈系统的滞后性出现柔性基材的松弛而的缺点......”。