《(定稿)1万吨超大规模集成电路用超净高纯试剂项目立项分析评估建议书(完整版)》修改意见稿
1、“.....占全市出口总量。成都市商务局相关负责人介绍,去年同期成都便携式电脑出口数据几乎为零。随着鸿富锦公司产能进步提升和仁宝纬创等企业陆续投产,这数字还将继续放量增长,预计全年成都市出口便携式电脑将超过万台。而在今年年初......”。
2、“.....其中集成电路,特别是大规模及超,二厂三厂建成后将达万枚月。工艺与是类似,需求超净高纯试剂也要几万吨。在市场供应方面,目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化,在更高档次超净高纯试剂供应方面,目前绝大部分需要从其他国家或地区进口,标准水平及以上档次产品则全部依赖进口......”。
3、“.....表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率超净高纯试剂吨吨我国超净高纯试剂研制起步于世纪年代中期,年由北京化学试剂研究所在国内率先研制成功适合中小规模集成电路技术用种级试剂。随着集成电路集成度不断提高,对超净高纯试剂中可溶性杂质和固体颗粒控制越来越严......”。
4、“.....为了满足我国集成电路发展需求,国家自六五开始至八五,将超净高纯试剂研究开发列入了重点科技攻关计划,并由北京化学试剂研究所承担攻关任务。到目前为止,北京化学试剂研究所已相继推出了Ⅰ级Ⅱ级和Ⅲ级超净高纯试剂,其中Ⅲ级超净高纯试剂达到国际标准水平,适用于工艺技术加工制作......”。
5、“.....目前北京化学试剂研究所正在进行用于工艺技术Ⅳ级超净高纯试剂研究开发。十五期间,国家科技部将用超净高纯试剂研究课题列入了超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中,由北京化学试剂研究所上海华谊集团公司等单位承担,其研究主要目是完成技术用超净高纯试剂研究与开发工作,此项目现已完成......”。
6、“.....配套支撑条件基本上可以满足研发要求,颗粒金属杂质阴离子及等分析测试方法研究也取得了系列成果,为十二五产业化技术及更加深入研究奠定了良好技术基础。上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作,加快研究及产业化进程......”。
7、“.....成为执行计划实体主体,拥有平方米实验室平方米净化室和配置相应试验设备等。通过课题研究开发,不仅提升了在超净高纯试剂方面技术水平,也培养了大批专业技术人才。年由上海华谊集团公司上海中远化工有限公司和台湾联仕共同出资组建成立合资公司上海华谊微电子材料有限公司......”。
8、“.....现已正式投产,投资亿万人民币,生产各类并达到其所要求杂质含量和颗粒度。为使超净高纯试剂质量达到要求,需从多个方面同时予以保障,包括试剂提纯包装供应系统及分析方法等。目前,国际上普遍使用提纯工艺有十余种,它们适用于不同成分不同要求超净高纯试剂生产,例如......”。
9、“.....超净高纯试剂在运输过程中极易受污染,所以超净高纯试剂包装及供应方式是超净高纯试剂使用重要环。特别是颗粒控制相关技术,它贯穿于超净高纯试剂生产运输始终,包括了环境控制工艺控制成品包装控制等各个环节。国内外超净高纯试剂生产技术发展现状国外世纪年代便开始生产电子工业用试剂......”。
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