在图像显示,交界处的数字,和应用负载改变工具的方向增加.至.百万到制作较厚的线宽是相当完整。这表明的修改过程的能力,通过刀具路径编程和正常负荷控制的硅表面上制作各种沟槽宽度约毫米的模式。图.结论当正常的.百万或更高负荷传统过程中用来制造硅工件的范围在毫米宽的沟模式,容易形成不良山丘。岗形成的机制是由于工具和硅衬底导致接触区域被转化为溶液,具有很高的耐硅相之间的直接接触。为了制作无岗形成毫米宽的范围内槽模式,过程进行了修改,包括涂层,担任中学抵制。做工具和硅衬底之间的直接接触,是可以预防的,从而避免了硅和山丘形成的相变。凹槽图案为.和.毫米的宽度约.宽高比通过修改过程,可以成功地制备硅工件上施加载荷与.和.万,分别。此外,被证明与不同宽度的凹槽图案与硅片上制造过程中的灵活性。完成所需的模式和宽度可以由刀具路径编程和控制应用的正常负荷,分别在机械加工中的过程。!.!!.对于般中小流量的液压系统,大多通过换向阀的有机组合实现所要求的动作。对高压大流量的液压系统,现多采用插装阀与先导控制阀的逻辑组合来实现。速度控制通过改变液压执行元件输入或输出的流量或者利用密封空间的容积变化来实现。相应的调整方式有节流调速容积调速以及二者的结合容积节流调速。节流调速般采用定量泵供油,用流量控制阀改变输入或输出液压执行元件的流量来调节速度。此种调速方式结构简单,由于这种系统必须用闪流阀,故效率低,发热量大,多用于功率不大的场合。容积调速是靠改变液压泵或液压马达的排量来达到调速的目的。其优点是没有溢流损失和节流损失,效率较高。但为了散热和补充泄漏,需要有辅助泵。此种调速方式适用于功率大运动速度高的液压系统。容积节流调速般是用变量泵供油,用流量控制阀调节输入或输出液压执行元件的流量,并使其供油量与需油量相适应。此种调速回路效率也较高,速度稳定性较好,但其结构比较复杂。节流调速又分别有进油节流回油节流和旁路节流三种形式。进油节流起动冲击较小,回油节流常用于有负载荷的场合,旁路节流多用于高速。调速回路经确定,回路的循环形式也就随之确定了。节流调速般采用开式循环形式。在开式系统中,液压泵从油箱吸油,压力油流经系统释放能量后,再排回油箱。开式回路结构简单,散热性好,但油箱体积大,容易混入空气。容积调速大多采用闭式循环形式。闭式系统中,液压泵的吸油口直接与执行元件的排油口相通,形成个封闭的循环回路。其结构紧凑,但散热条件差。制定压力控制方案液压执行元件工作时,要求系统保持定的工作压力或在定压力范围内工作,也有的需要多级或无级连续地调节压力,般在节流调速系统中,通常由定此时电磁换向阀的电磁铁处于断电状态,压力油只能经过调速阀和电磁换向阀的右位进入液压缸左腔,由于油液要经过调速阀而使系统压力升高,是限压式变量叶片泵的流量减少,直到与调速阀所通过的流量相同为止,此时进入液压缸无杆腔的流量由调速阀开口大小决定同时打开液控顺序阀,使液压缸右腔的油液通过液控顺序阀,背压阀流回油箱。其油路为进油路过滤器泵单向阀液动换向阀左位调速阀电磁换向阀右位液压缸腔左位。回油路液压缸右腔液动换向阀左位液控顺序阀背压阀油箱。死挡铁停留当工作台完成工作进给后,碰上死档铁,工作台停止运动,是液压缸左腔压力升高,当压力升高到根据工艺要求的压力继电器的调定值时,压力继电器发出信号给时间继电器,是工作台在死挡铁停留定时间后在开始下动作。停留时间由时间继电器来调定。设置工作台死挡铁停留主要是满足加工零件的加工精度要求。快退工作台停留时间结束后,时间继电器发出工作台快速后退的信号,使电磁铁断电,通电,先导电磁阀右位接入系统,液动换向阀右位也接入系统。由于工作台快退时负载小,系统压力低,使限压式变量叶片泵的供油自动恢复到最大,工作台快速退回,其油路为进油路过滤器泵单向阀液动换向阀左位调速阀液压缸腔左位。回油路液压缸左腔单向阀液动换向阀右位油箱。原位停止工作台快速退回到原位,挡块压下行程开关,发出信号,是电磁铁全部断电,先导电磁阀和液动换向阀处在中位,工作台停止运动。此时的液压泵输出的液压油经单向阀和液动换向阀中位流回油箱,在低压下卸载。图.工作台液压系统原理图.砂轮架的快进快退运动砂轮架的快进快退运动由快动阀操纵,由快动缸来实现。在系统图的状态下,快动阀右位接入系统,砂轮架快速前进到其最前端位置,快进的终点位置是靠活塞与缸盖的接触来保证的,为了防止砂轮架在快速运动终点处引起冲击和提高快进运动的重复位置精度,快动缸的两端设有缓冲装置,并设有抵住砂轮架的闸缸,用以消除丝杠和螺母间的间隙。快动阀左位接入系统时,砂轮架快速后退带其最后端位置。图.砂轮架液压原理图.砂轮架的周期进给运动砂轮架的周期进给运动由进给阀操纵,由砂轮架进给缸通过其活塞上的拨爪棘轮齿轮丝杠螺母等传动副来实现。它们的加工方式如图.中,所示。图中,主运动为砂轮的旋转运动,矩台的直线往复运动或圆台的回转运动是进给运动。当用轮缘磨削时,砂轮宽度小于工件宽度,个卧轴磨床还应该有轴向进给运动。矩台的横向进给运动是间歇运动,在的两端进行。圆台的是连续运动,是周期的切入运动。图.平面磨床加工示意图液压传动系统是液压机械的个组成部分,液压传动系统的设计要同主机的总体设计同时进行。着手设计时,必须从实际情况出发,有机地结合各种传动形式,充分发挥液压传动的优点,力求设计出结构简单工作可靠成本低效率高操作简单维修方便的液压传动系统。磨床是立轴矩台式磨床,其外形图如下图所示。此磨床主轴通常是用内装是异步电动机直接带动的。电动机轴就是主轴,电动机的定子就装在砂轮架的壳体内。这台机床的液压系统的性能如下.实现工作台的往复运动平面磨床的工作台往复运动的最高速度,而且通常都希望在最高速度下运行,以利于提高生产率但是邮寄机床的冷却系统较差,磨削面积较大时过高的工作速度容易烧伤磨削表面能。此外,磨削型槽时亦需用较低的工进速度,因此这台机床工作台速度仍能在较大范围内进行调节。般说来,这种磨床工作台的换向频率较高,换向时间较短,要求较高的换向平稳性。工作台的手摇机构应与液压机构互锁。.实现砂轮架的横向断续或连续进给运动为了提高磨削效率,此磨床砂轮架的横向进给动作能在工作台换向瞬间完成。砂轮的横向连续进给提供修正砂轮和调正砂轮与工件之间相对位置之用。为了保证砂轮的修正质量,横向连续进给速度能调得很小,且能保持稳定。砂轮架的手动和液动进给也能实现互锁。.保证磨床主轴承,导轨等处都能获得良好的润滑。.平面磨床液压系统的设计步骤液压系统的设计步骤并无严格的顺序,各步骤间往往要相互穿插进行。般来说,在明确设计要求之后,大致按如下步容易实现无级调速在液压传动中,调节液体的流量就可实现无级凋速,并且凋速范围很大,可达,很容易获得极低的速度。易于实现过载保护液压系统中采取了很多安全保护措施,能够自动防止过载,避免发生事故。液压元件能够自动润滑由于采用液压油作为工作介质,使液压传动装置能自动润滑,因此元件的使用寿命较长。容易实现复杂的动作采用液压传动能获得各种复杂的机械动作,如仿形车床的液压仿形刀架数控铣床的液压工作台,可加工出不规则形状的零件.简化机构采用液压传动可大大地简化机械结构,从而减少了机械零部件数目。便于实现自动化液压系统中,液体的压力流量和方向是非常容易控制的,再加上电气装置的配合,很容易实现复杂的自动工作循环。目前,液压传动在组合机床和自动线上应用得很普遍。便于实现“三化”液压元件易于实现系列比标准化和通用化.也易于设计和组织专业性大批量生产,从而可提高生产率提高产品质量降低成本。当然什么事物有其优点必有其缺点液压元件制造精度要求高由于元件的技术要求高和装配比较困难,使用维护比较严格。实现定比传动困难液压传动是以液压油为工作介质,在相对运动表面间不可避免的要有泄漏,同时油液也不是绝对不可压缩的。因此不宜应用在在传动比要求严格的场合,例如螺纹和齿轮加工机床的传动系统。油液受温度的影响由于油的粘度随温度的改变而改变,故不宜在高温或低温的环境下工作。不适宜远距离输送动力由于采用油管传输压力油,压力损失较大,故不宜远距离输送动力。油液中混入空气易影响工作性能油液中混入空气后,容易引起爬行振动和噪声,使系统的工作性能受到影响。油液容易污染油液污染后,会影响系统工作的可靠性。发生故障不易检查和排除。.平面磨床的工作特点本磨床以砂轮周边或侧面磨削工件的平面,工件可以固定在工作台的上面或吸牢在电吸盘上,其材质可以是钢铸铁或有色金属。机床工作台的纵向运动和磨头的横向运动都是用液压传动,无极调速。磨头的横向运动亦可用手动操作。磨头在垂直方向除手动进给外,还配有机,平面磨床,液压,系统,设计,优秀,优良图纸毕业设计说明书题目平面磨床液压系统设计专业机械设计制造及其自动化学号姓名指导教师副教授完成日期年月日毕业论文设计鉴定意见学号姓名专业机械设计制造及其自动化毕业论文设计说明书页图表.张论文设计题目平面磨床液压系统设计内容提要液压系统是由很多元器件组成,元器件的选择要根据液压系统的性能指标进行选择。阀的规格用阀进出油口的名义通径表示,单位为。目前仍在使用的些按旧标准生产的阀,其性能参数主要有额定压力额定流量额定压力损失最小稳定流量等数值参数。阀类元件的规格应按阀所在的回路的最大工作压力和通过该阀的最大流量从产品样本上选定。选用阀类元件时应考虑其结构形式特性压力等级连接方式集成方式及操纵方式等。选择压力控制阀时,应考虑压力阀的压力调节范围流量范围流量变化范围所要求的压力灵敏度进和平稳度等。特别是溢流阀的额定流量必须满足液压泵最大流量的要求。选择流量控制阀时,应考虑流量阀的流量调节范围流量压力特性最小稳定流量压力补偿要求或温度补偿要求,对滤油器过滤精度的要求,阀进出口压差大小及阀内泄漏的大小等。本论文主要磨床液压系统进行设计。液压传递具有传动平稳惯性小动作灵敏容易实现无级调速承载能力大易于实现过载保护液压元件能够自动润滑容易实现复杂的动作等优点。液压传动已广泛应用于机床上。液压系统已成为机床设备中最关键的部分之。本文研究的是液压传动系统,液压传动系统的设计需要与主机的总体设计同时进行。设计时,必须从实际情况出发,有机地结合各种传动形式,充分发挥液压传动的优点,力求设计出结构简单工作可靠成本低效率高操作简单维修方便的液压传动系统。指导教师评语指导教师年月日答辩简要情况及评语答辩小组组长年月日答辩委员会意见答辩委员会主
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(图纸) 原理图.dwg