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（定稿）LZG30单头螺杆型干式真空泵的建模与仿真（全套下载）

名指导教师签名日期常不能达到阴阳转子气缸孔的交线，在接触线顶点和机壳的转子气缸孔之间，会形成个空间曲边三角形，称为泄漏三角形图.中。通过泄漏三角形，气体将从压力较高的齿间容积，泄漏至压力较低的邻近齿间容积。封闭容积如果在齿间容积开始扩大时，不能立即开始吸气过程，就会产生吸气封闭容积。由于吸气封闭容积的存在，使齿间容积在扩大的初期，其内的气体压力低于吸气口处的气体压力。在齿间容积与吸气口连通时，其内的气体压力会突然升高到吸气压力，然后才进行正常的吸气过程。所以，吸气封闭容积的存在，影响了齿间容积的正常充气。值得指出的是吸气封闭容积存在于非对称型线中，而本文所论述的双边对称圆弧型线没有吸气封闭容积。齿间面积齿间面积是齿间容积在转子端面上的投影。转子型线的齿间面积越大，转子的齿间容积就越大。转子型线设计原则转子型线应满足啮合要求。螺杆泵中的阴阳转子型线必须是满足啮合定律的共扼型线，即不论在任何位置经过型线接触点的公法线必须通过节点。转子型线应形成长度较短的连续接触线。在实际机器中，为保证转子间的相对运动，齿面间总保持有定间隙。因此，理论上的接触线就转化成实际中的间隙带。为了尽可能减少气体通过间隙带的泄漏，要求设法缩短转子间的接触线长度。转子型线应形成较小面积的泄漏三角形。要零部件的结构绘制出装配图，根据装配图，拆画主要零件的零件图。.绘制阴阳转子三维图，进行转子运动仿真.论文的组织结构本论文的组织结构如下第章介绍关于单头螺杆干式真空泵的开发背景开发意义以及课题包括的主要内容。第二章单头螺杆干式真空泵转子型线的研究第三章单头螺杆干式真空泵的工作原理第四章螺杆干式真空泵设计计算第五章真空泵的应用。第六章总结螺杆干式真空泵转子型线的研究.常见转子型线比较目前干式螺杆真空泵的主要生产厂家多采用单头等螺距型线，其他还有多头双边对称圆弧型线单头变螺距梯形螺纹型线单头等螺距梯形螺纹型线和等螺距凹齿型线。单头等螺距矩形螺纹转子单头等螺距梯形螺纹转子单头变螺距梯形螺纹转子单头等螺距凹面转子双边对称圆弧型线转子图.几种螺杆转子型线的三维造型单头等螺距矩形螺纹转子型线是最早出现的型线，由于有可能发生根切，即二级转子级间出现干涉现象，所以基本上已经不再使用。取而代之的是改进型的单头等螺距梯形螺纹转子，其截面形状由矩形改为梯形，解决了干涉问题，且加工方便，故为很过厂家广泛采用。单头变螺距梯形螺纹转子和单头等螺距凹面转子是近年来出现的新型型线，它是在单头等螺距梯形螺纹转子的基础之上改进而来的。单头变螺距梯形螺纹转子其主要特点为螺杆螺距从吸气端到排气端按变螺距系数变化，大导程端对应于吸气口。开始时吸气量大，在转子转动过程中运动的封闭腔体越来越小，气体被压缩，具有内压缩作用，即边输送边压缩，从而能够降低整体的排气压缩功耗，并对发生在排气口的喘振现象有抑制作用，是泵的工作更为平稳，能够降低噪音和排气振动。头等螺距凹面转子进步采用内凹齿面法将啮合齿面上可能发生干涉的部分全部去除，是齿面成为向内凹曲的等螺距螺旋线共轭曲面。多头双边对称圆弧型线是最近几年出现的种新型型线，它是在双螺杆压缩机型线的基础上发展而来的。般阳转子为四普旭是全球最有影响力的真空设备制造商之，为客户提供了数量众多的真空泵及真空系统。普旭的无油螺杆真空泵系列于年通过了应用材料公司美国实验室测试。应用材料公司在美国实验室将普旭的无油螺杆真空泵系列与其设备安装在起进行测试，经过年检测，结果证明普旭真空泵系列与其设备结合测试的效果最好。之后普旭又于年推出了表面经特别强化的螺杆真空泵系列，可以抵抗日前己知的绝人多数活泼气休的腐蚀。另外还有其他些文献对螺杆真空泵的性能等方面进行了较多的研究。在国内，有关干式螺杆真空泵的研究文献很少。只有上海博汇真空设备有限公司的周宝洪研制了种干式真空泵，并申请了专利，但是并未见有成品报道。目前国内外关于双螺杆干式真空泵转子型线设计方面的报道很少，主要内容集中于对螺杆真空泵性能的预测与配套装置材料加工方法和设备螺杆泵的配件密封条件等等内容的改进。目前由于各国多对自己的螺杆泵技术进行保密和竞争，而我国在螺杆泵的设计方面仍然有很多具体的细节和技术难题还没有解决，在螺杆泵的设计方面没有达到世界流水平。在具体的螺杆泵的加工制造上，局限于我国的生产设备和加工条件，我国生产的螺杆泵自动化程度不高，精度也不高，在些高档的螺杆泵上仍不能独立制造。因此中高档的真空泵仍然主要依赖于进口。对于所有类型的真空泵，人们都希望能够将现有的真空泵的物理尺寸尽量减小。但是这点与真空泵的抽气速率相矛盾。因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比，物理尺寸小意味着容积也小。的种类很多，目前已开发出来的有罗茨泵爪型泵祸旋泵往复活塞泵螺旋泵等.表.是几种典型的干泵性能的比较.表.几种典型的干泵性能的比较泵型般级数单级压缩比极限压力备注大气端真空端罗茨泵.易发热，需冷却爪形.加工装配有难度活塞型.怕抽带颗粒的气体涡旋型.间隙小难装调螺旋型.间隙小转速高旋片型.怕抽带颗粒的气体螺杆型.加工比较困难涡轮型多级串联.转速高螺杆式干式真空泵特点如下可靠性高。螺杆式干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转可靠，寿命长。操作维护方便。动力平衡性好。螺杆式干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。适应性强。螺杆式干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.多相混输。由于螺杆式干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性有毒含有粉尘可凝性蒸汽等多种气体。尽管螺杆型干式真空泵具有这么多的优点，然而，由于目前国内些公司正在使用的螺杆型干式真空泵均是从国外进口，价格非常昂贵，每台螺杆泵价格要三四十万元人民币，所以螺杆型真空泵在我国的使用并不广泛。造成这现象的主要原因是由于螺杆泵转子型线较复杂，加工难度大，需用特制的刀具在专用机床上进行加工。另外，对螺杆型干式真空泵泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。螺杆干式真空泵广泛应用于电子核能化工医药食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片制造液晶显示器蚀刻生产的制程。螺杆,型干式,真空泵,建模,仿真,毕业设计,全套,图纸式真空泵的概述.课题背景及研究意义.螺杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向.论文包括的主要内容.论文的组织结构螺杆干式真空泵转子型线的研究.常见转子型线比较.单头等螺距矩形螺纹转子型线转子型线要素转子型线设计原则转子螺旋齿面方程螺杆干式真空泵工作原理.吸气过程.压缩过程.排气过程螺杆干式真空泵设计计算.螺杆基本尺寸.排气量理论排气量实际排气量.进排气孔口轴向进气口轴向排气口.极限真空度功率及冷却水量.轴的强度计算.同步齿轮的设计计算齿轮尺寸计算齿轮强度校核单头螺杆干式真空泵的应用.应用范围.抽气原理与结构三维建模与运动仿真.介绍.转子三维建模.转子运动仿真结论参考文献致谢绪论年德国人沃尔夫岗.盖德发明了油封式旋片泵，从此各种以油为工作液润滑剂密封液的真空泵如雨后春笋般迅速普及，统治了真空设备市场近百年。从真空工业的视角来看，如果说世纪是有油真空泵的世纪，那么世纪将是干式真空泵的世纪。因为，各种形式的有油真空泵在工作过程中不可避免的随同排出的气体起排出了大量的油污，这些油污能够严重的污染环境。随着利学技术的发展，要求提供比较清洁真空环境的真空工艺越来越多，甚至近于达到苛刻的要求，如微电子化学冶金医疗核聚变领域以及宇航新材料的开发等技术领域.都要求提供比较洁的内真空环境。传统的有油泵很难满足这些要求，无油泵的概念便自然而然的在此基础上提出。有些工业过程，如低压气相沉积，会产生些微小颗粒，这些颗粒在工作液中难以排除，它们可以使泵油污染，同样也会影响泵的抽气系统性能及使用寿命。而有些工业过程在运转中可能会使工作液冷凝成粘状物质，这样可能使泵卡住，甚至导致运转失效。又如对于食品工业为代表的些特殊行业，这种污染更是非常不可取的。对于这些少数有着特殊需要