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（定稿）LWZ150双头螺杆型干式无油真空泵设计（全套下载）

毕业设计论文作者签名指导教师签名程中运动的封闭腔体越来越小，气体被压缩，具有内压缩作用，即边输送边压缩，从而能够降低整体的排气压缩功耗，并对发生在排气口的喘振现象有抑制作用，是泵的工作更为平稳，能够降低噪音和排气振动。头等螺距凹面转子进步采用内凹齿面法将啮合齿面上可能发生干涉的部分全部去除，是齿面成为向内凹曲的等螺距螺旋线共轭曲面。多头双边对称圆弧型线是最近几年出现的种新型型线，它是在双螺杆压缩机型线的基础上发展而来的。般阳转子为四头螺杆，阴螺杆为六头螺杆。上述各种型线各有优缺点，要根据设计要求加工制造能力实际需求等多方面选择。从适用性方面来讲，多头双边对称圆弧型线适用面最广。由于该型线在个导程内就可以完成吸气压缩和排气的全过程并能达到定的极限真空，这就能有效地减小泵的体积和质量，尤其适于大抽速要求的泵。单头型线由于要多级才能达到定的极限真空，不可避免要增加泵的体积，占用更大的空间，所以适用于中小型泵。多头螺杆型线的缺点是型线复杂，加工资用昂贵，需用特制的刀具在专用机床上加工而单头梯形齿型线由于各齿面在轴向剖面内的交线都是直线，所以加工时使用直刃车刀即可，只是变螺距型线要在数控车床上加工以保证精度。单头凹齿面型线的加工要比梯形齿型线稍复杂，但完全能在通用的数控车床上完成，大批量生产时可以选用铸造。另外，多头螺秆型线和单头变螺距型线由于在抽气过程中有内压缩，不适合抽除可凝吐气体，但减小了排气口的喘振和噪音，也减小了功率的消耗。综合考虑各种型线的有缺点，本文决定选择多头双边对称圆弧型线。.多头双边对称圆弧型线螺杆式双头干式真空泵中最重要的部件就是阴阳螺杆转子。转子的齿面与转子轴线垂直面的截交线称为转子型线，如图.所示。转子型线作螺旋运动就形成了转子齿面，如图.所示。螺杆泵中的阴阳转子可以看作是对相互啮合的斜齿轮。因此，螺另外，在实际机器中，为保证转子间的相对运动，齿面之间总保持有定的间隙。因此，理论上的接触线就成了实际中的问题等。为了尽可能的减少气体通过间隙带的泄漏，要求设法缩短转子间的接触线长度。转子型线应形成较小面积的泄漏三角形。为了尽可能的减少气体通过泄漏三角形的泄漏，型线设计应该使转子的泄漏三角形尽可能的变小。转子型线应使封闭容积较小。大多数转子型线都会形成吸气封闭容积，导致螺杆真空泵功耗增加，效率降低，运转不平稳，噪声增大。所以转子型线应该尽可能使形成的封闭容积小些。转子型线应使齿间面积尽量大。较大的齿间面积能够使泄漏量占的份额相对减少，从而可以使效率得到有的提高。另外从制造运转角度考虑，还要求转子型线便于加工制造，具有良好的啮合特性，较小的气体动力损失，以及在高温和受力的情况下，具有较小的热变形和弯曲变形等。值得指出的是，以上有些因索是相互制约的。例如，为了减小泄漏三角形，就不可避免的会使型线具有封闭容积和较长的接触线为了减少流体动力损失，使型线流线型化，又会增大泄漏三角形等。鉴于要满足以上种种要求，螺杆真空泵的转子型线通常由多段曲线首尾相接而组成，这些曲线称为组成齿曲线。常用的组成齿曲线主要有点直线摆线圆弧椭圆及抛物线渐开线等。螺杆真空泵性能的不断提高及其市场份额的不断扩大，是与转子型线的发展密不可分的。为便于区别起见，可以将看过真空泵的转子型线分为对称型线和非对称型线，以及单边型线和双边型线。齿顶中心线两边的型线完全相同时，称为对称型线。技术革新奖”。以上两种真空泵均于沿转子长度上填充聚四氟乙烯用作泵的密封以保持良好的密封性能，它们同时也是无油真空泵的典型产品。虽然双头干式真空泵的种类越来越多，但是通常的机械真空泵如爪式泵，其抽速难以做大，而且制造难度也大，成本高另外还有利用多叶级数进行串连的罗茨泵，其缺点与爪式泵相仿。在此种背景下诞生的双头干式螺杆真空泵则具有了其前辈真空泵类所不具各的很多优点，而这些优点则保证了双头干式螺杆真空泵的先进性及在应用中的优势。国外关于螺杆真空泵性能的研究有许多内容。。英国有限公司根据螺杆式压缩机原理设计出种双螺杆双头干式真空泵，采用了许多新技术，并已形成批量生产,该公司已成为世界低压与真空技术中的领军人物之。美国真空设备有限公司手年推出款用于气体处理的新型双头干式螺杆真空泵，该型螺杆泵采用可变啮合设计，比其他类的真空泵耗能减少约。普旭是全球最有影响力的真空设备制造商之，为客户提供了数量众多的真空泵及真空系统。普旭的无油螺杆真空泵系列于年通过了应用材料公司美国实验室测试。应用材料公司在美国实验室将普旭的无油螺杆真空泵系列与其设备安装在起进行测试，经过年检测，结果证明普旭真空泵系列与其设备结合测试的效果最好。之后普旭又于年推出了表面经特别强化的螺杆真空泵系列，可以抵抗日前己知的绝人多数活泼气休的腐蚀。另外还有其他些文献对螺杆真空泵的性能等方面进行了较多的研究。在国内，有关双头干式螺杆真空泵的研究文献很少。只有上海博汇真空设备有限公司的周宝洪研制了种双头干式真空泵，并申请了专利，但是并未见有成品报道。目前国内外关于双螺杆双头干式真空泵转子型线设计方面的报道很少，主要内容集中于对螺杆真空泵性能的预测与配套装置材料加工方法和设备螺杆泵的配件密封条件等等内容的改进。动力平衡性好。螺杆式双头干式真空泵没有不平衡的惯性力，机器可平稳地高速运行。适应性强。螺杆式双头干式真空泵具有强制输气的特点，在宽广的压力范围内能保持较高的抽速，排气量几乎不受排气压力的影响.多相混输。由于螺杆式双头干式真空泵转子齿面间留有微小间隙，因而可抽除腐蚀性有毒含有粉尘可凝性蒸汽等多种气体。尽管螺杆型双头干式真空泵具有这么多的优点，然而，由于目前国内些公司正在使用的螺杆型双头干式真空泵均是从国外进口，价格非常昂贵，每台螺杆泵价格要三四十万元人民币，所以螺杆型真空泵在我国的使用并不广泛。造成这现象的主要原因是由于螺杆泵转子型线较复杂，加工难度大，需用特制的刀具在专用机床上进行加工。另外，对螺杆型双头干式真空泵泵体的加工精度也有较高的要求，而国内的加工水平目前还难以达到这个水平。螺杆式双头干式真空泵广泛应用于电子核能化工医药食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片制造液晶显示器蚀刻生产的制程。在核工业中用于核反应堆及核工业真空获得化工上用于真空蒸馏及溶剂萃取高效回收溶剂，在脂肪酸生产中用来消除水污染，清除喷射器中的阻塞物医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂食品工业中用于香料香精浓缩，食品包装等。应用范围极为广泛。.螺杆泵的应用及特点常见的泵可以分为容积式泵和动力式泵两大类。容积式泵包括往复泵转子泵和齿轮泵等，离心泵和轴流泵等则属于动力式泵。本文所研究的双螺杆泵属于容积式泵，它与离心泵往复泵齿轮泵滑片泵等相比较，在些方面具有明显的优越性。螺杆泵的适用范围被泛的应用于海上平台工程石油化工航运电力机械液压系统食品造纸制糖军厂医药造船机床采矿环保和污水处理等各种工业部门当中，发挥了巨大作用，具有很高的使用价值。,螺杆,型干式无油,真空泵,设计,毕业设计,全套,图纸绪论.概述.课题背景及研究意义.螺杆泵的应用及特点.螺杆真空泵在国内外的研究现状与发展方向螺杆双头干式真空泵转子型线的研究.常见转子型线比较.多头双边对称圆弧型线转子型线要素转子型线设计原则多头双边对称圆弧型线方程螺杆双头干式真空泵工作原理.吸气过程.压缩过程.排气过程螺杆双头干式真空泵设计计算.螺杆基本尺寸.排气量理论排气量实际排气量.进排气孔口轴向进气口轴向排气口.极限真空度功率及冷却水量.轴的强度计算.同步齿轮的设计计算齿轮尺寸计算齿轮强度校核结论与展望参考文献致谢毕业设计论文独创性毕业设计论文知识产权声明绪论.概述年德国人沃尔夫岗.盖德发明了油封式旋片泵，从此各种以油为工作液润滑剂密封液的真空泵如雨后春笋般迅速普及，统治了真空设备市场近百年。从真空工业的视角来看，如果说世纪是有油真空泵的世纪，那么世纪将是双头干式真空泵的世纪。因为，各种形式的有油真空泵在工作过程中不可避免的随同排出的气体起排出了大量的油污，这些油污能够严重的污染环境。随着利学技术的发展，要求提供比较清洁真空环境的真空工艺越来越多，甚至近于达到苛刻的要求，如微电子化学冶金医疗核聚变领域以及宇航新材料的开发等技术领域.都要求提供比较洁的内真空环境。传统的有油泵很难满足这些要求，无油泵的概念便自然而然的在此基础上提出。有些工业过程，如低压气相沉积，会产生些微小颗粒，这些颗粒在工作液中难以排除，它们可以使泵油污染，同样也会影响泵的抽气系统性能及使用寿命。而有些工业过程在运转中可能会使工作液冷凝成粘状物质，这样可能使泵卡住，甚至导致运转失效。又如对于食品工业为代表的些特殊行业，这种污染更是非常不可取的。对于这些少数有着特殊需要的工业来说，就只能采用无油污的无油泵或水环式泵类湿式泵，但这类泵的真空度不高，耗水耗能严重，而且相应的工作时带有大量的水汽，因此对于有双头干式要求的，又不得不采用繁琐的物理化学吸附，冷凝低温手段，从而使成本变得极其昂贵。如膜式泵，真空度不高，抽速小吸附泵，不仅抽速小，液氮的费用也很大。所以可以这样说，在当时能直接排