大幅度增长。此外，随着国内平板显示 器大发展，上广电产能将达到月，京东方产能将达到 月，二厂三厂建成后将达万枚月。工艺与是类似的，需求的超净 高纯试剂也要几万吨。 在市场供应方面，目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化， 在更高档次的超净高纯试剂供应方面，目前绝大部分需要从其他国家或地区进口， 标准水平及以上档次的产品则全部依赖进口。进口产品的主要来源有日 本韩国美国等国家及我国的台湾地区。 表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率 超净高纯试剂吨吨 我国超净高纯试剂的研制起步于世纪年代中期,年由北京化学试 剂研究所在国内率先研制成功适合中小规模集成电路技术用的种级 试剂。随着集成电路集成度的不断提高,对超净高纯试剂中的可溶性杂质和固体颗 粒的控制越来越严,同时对生产环境包装方式及包装材质等提出了更高的要求。 为了满足我国集成电路发展的需求,国家自六五开始至八五,将超净高纯 试剂的研究开发列入了重点科技攻关计划,并由北京化学试剂研究所承担攻关任 务。到目前为止,北京化学试剂研究所已相继推出了Ⅰ级Ⅱ级和Ⅲ级 超净高纯试剂,其中Ⅲ级超净高纯试剂达到国际标准的水平,适用于 工艺技术的加工制作,并在九五末期形成了年的中 试规模。目前北京化学试剂研究所正在进行用于工艺技术的Ⅳ级 超净高纯试剂的研究开发。 十五期间，国家科技部将用超净高纯试剂研究课题列入了 超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中，由北京化增长率。目前国内英寸英寸毫米 生产线条，英寸线条，占国内条生产线总数的，产能已占全国的， 英寸以上高端生产线已开始成为国内芯片制造业主体。按十二五计划新建 的生产线对于超净高纯试剂耗用量将有较大幅度增长。此外，随着国内平板显示 器大发展，上广电产能将达到月，京东方产能将达到 月，二厂三厂建成后将达万枚月。工艺与是类似的，需求的超净 高纯试剂也要几万吨。 在市场供应方面，目前级超净高纯试剂已经全部实现国产化， 在更高档次的超净高纯试剂供应方面，目前绝大部分需要从其他国家或地区进口， 标准水平及以上档次的产品则全部依赖进口。进口产品的主要来源有日 本韩国美国等国家及我国的台湾地区。 表我国目前电子化学品进口量和国产产品市场占有率产品国产量进口量国产产品市场占有率 超净高纯试剂吨吨 我国超净高纯试剂的研制起步于世纪年代中期,年由北京化学试 剂研究所在国内率先研制成功适合中小规模集成电路技术用的种级 试剂。随着集成电路集成度的不断提高,对超净高纯试剂中的可溶性杂质和固体颗 粒的控制越来越严,同时对生产环境包装方式及包装材质等提出了更高的要求。 为了满足我国集成电路发展的需求,国家自六五开始至八五,将超净高纯 试剂的研究开发列入了重点科技攻关计划,并由北京化学试剂研究所承担攻关任 务。到目前为止,北京化学试剂研究所已相继推出了Ⅰ级Ⅱ级和Ⅲ级 超净高纯试剂,其中Ⅲ级超净高纯试剂达到国际标准的水平,适用于 工艺技术的加工制作,并在九五末期形成了年的中 试规模。目前北京化学试剂研究所正在进行用于工艺技术的Ⅳ级 超净高纯试剂的研究开发。 十五期间，国家科技部将用超净高纯试剂研究课题列入了 超大规模集成电路配套材料重大专项计划之中，由北京化学试剂研究所 上海华谊集团公司等单位承担，其研究的主要目的是完成技 术用超净高纯试剂的研究与开发工作，此项目现已完成，关键品种的制备工 艺已趋完善，配套支撑条件基本上可以满足研发的要求，颗粒金属杂质阴离 子及等分析测试方法的研究也取得了系列成果，为十二五的产业化技 术及更加深入的研究奠定了良好的技术基础。 上海华谊集团公司为推进课题研究开发工作，加快研究及产业化进程，于年月组建了由华谊集团公司中远化工有限公司三爱富新材 料股份有限公司和上海化学试剂研究所等多元投资的上海华谊微电子化学品有限 公司,成为执行计划的实体主体，拥有平方米实验室平方 米净化室和配置相应的试验设备等。通过课题的研究开发，不仅提升了 在超净高纯试剂方面的技术水平，也培养了大批专业技术人才。 年由上海华谊集团公司上海中远化工有限公司和台湾联仕共同出 资组建成立合资公司上海华谊微电子材料有限公司，建成吨年规模的 超净高纯试剂生产线，现已正式投产，投资亿万人民币，生产各类微电子化 学品，主要有双氧水硫酸氨水盐酸硝酸醋酸 氟化铵，产品质量达到当前市场线宽半导体制造业要求以及 半导体生产线质量标准的要求。 上海华谊微电子材料有限公司建筑面积近平方米，建有世界流水平 的生产线和净化包装线。实验室部分有洁净房平方米，最高洁净要求可以达 到级。拥有价值近万元的大型精密测试仪器和技术装备，如测试限达到 的电感耦合等离子光谱质谱仪测试限 的原子吸收光谱仪紫外可见分光光谱仪极谱仪总碳分析仪 的离子色谱仪气相色谱仪高效液相色谱仪 激光散射颗粒测定仪空气净化颗粒测试仪微波消化器等。上海华谊微 电子材料有限公司已于年年中建成投产。产品已开始进入主要集成电路厂家 试用，如中芯国际台积电，并出口东南亚。 微电子技术与超净高纯试剂在西部地区的发展西部地区的微电子技术相对于沿海地区来说发展较晚，但现今也进入了快速 发展的阶段。 年成都地区首先引进了英寸芯片的生产线，并将其定为号工程，总 投资亿人民币。随后又引进了几条英寸及英寸生产线，并将微电子产业 列为支柱产业。 从年月开始，重庆市就着手建立西永微电子工业园，计划到年 达到年产值亿元，占国内同类市场份额的。建成中国西部门类最齐全， 规模最大的集成电路制造研发基地和国家软件业基地，成为中国西部硅谷。现 已有茂德光等台资企业及等巨头进驻园区。 随着企业巨头的迁移落户，地处西部的成渝地区正在改变全球电子信息产 业的格局，以电子信息产业为代表的产业转移效应正在显现。 最新的数据显示，年月，成都全市出口便携式电脑万台， 全部为平板电脑，出口金额为亿美元，约占全市出口总额的而重庆 便携式电脑出口量达万台，出口金额为亿美元，占全市出口总量的。 成都市商务局相关负责人介绍，去年同期成都便携式电脑出口的数据几乎为 零。随着鸿富锦公司产能的进步提升和仁宝纬创等企业的陆续投产，这 数字还将继续放量增长，预计全年成都市出口便携式电脑将超过万台。 而在今年年初，成都市市长葛红林也表示，预计到今年月，成都将形成 亿台电脑生产能力，其中平板电脑万台，笔记本电脑和台式电脑万台。 目前品牌商戴尔联想已经落户成都。而重庆的笔记本电脑生产能力更是发展迅猛，以垂直整合模式先后引进 惠普宏碁华硕等多家品牌厂商，从打造亚洲最大笔记本电脑基地发展到 打造全球最大笔记本电脑生产基地，最近又提出云端计划。 升级后的重庆产业生产规模将拓展到亿台。其中，笔记本电脑产能 亿台亿台电脑终端设备。台式电脑的产能万台成像打印设备的产能 万万台交换设备产能万万台显示器产能万万台 再加上路由器等电子设备。届时，整个信息产业有望达到万亿产值，取代重庆 传统的汽摩，成为第支柱产业。 正是在电子信息产业转移的大潮下，四川省委政策研究室副主任李后强表示， 个足以改写全球业版图的中国电子谷正在成渝经济区悄然崛起。目前， 全球每两台电脑所用中就有台成都造，未来，全球的来自成 都，全球的笔记本电脑出自重庆。按超净高纯试剂占微电子行业产值 计算，仅重庆超净高纯试剂产值将达到亿元。 西三角之角的西安微电子工业发展得比较早贵州地区的微电子工业也正 处于蓬勃发展时期，正在建设条英寸芯片生产线。 综上所述，西南地区也已具备了超大规模集成电路的相当大的产能。但是， 与之相配套的超净高纯试剂却基本是空白，至今没有单位生产此类品种。目前已 建成生产线的用料全部依赖进口。 二发展超净高纯试剂项目的建设内容 超净高纯试剂共包括有如盐酸硝酸硫酸氢氟酸磷酸双氧水无水 乙醇丙酮甲苯三氯乙烯等多个品种。其生产工艺是以这此产品的化学试 项目介绍 超净高纯试剂微电子技术的支柱 微电子技术主要是指用于半导体器件和集成电路微细加工制作的系列 蚀刻和处理技术,其中集成电路,特别是大规模及超大规模集成电路的微细加工技 术又是微电子技术的核心,是电子信息产业最关键最为重要的基础。微电子技术 发展的主要途径之是通过不断缩小器件的特征尺寸,增加芯片的面积,以提高集 成度和速度。自世纪年代后期至今,集成电路芯片的发展基本上遵循 预言的摩尔定律,即每隔年集成度增加倍,芯片的特征尺寸每年 缩小倍,芯片面积增加约倍,芯片中晶体管数增加约倍,也就是说大体上每 年就有代新的产品问世。 在国际上,年美国首先研制成功集成电路开始,尤其是世纪年代以 来,集成电路微细加工技术进入快速发展的时期,这期间相继推出了 的动态存贮器。进入世纪年代后期,的发展 更迅速,竞争更激烈。美国的公司公司和日本的公司这个 生产厂家的竞争尤为激烈,年公司公司均实现了技术的 生产化,紧接着公司在年底又实现了技术的生产化,公司也 在紧追不舍。到年上半年,公司实现了技术的生产化,而到 年的季度末,日本的公司宣布突破了工艺技术的难关,率先成功研发 出的半导体工艺技术,现已开始接受全球各地厂商的订货,并将于年 核准通过，归档资料。 未经允许，请勿外传,的月开始批量生产。因此,专家们认为世界半导体工艺技术的发展将会加速,半 导体制造厂商将会以更先进的技术加快升级换代以适应新的市场要求。 超净高纯试剂在国际上通称为工 艺化学品，美欧和中国台湾地区又称湿化学品 ，是超大规模集成电路即俗称的芯片制作过程中的关键性基 础化工材料之，主要用于芯片的清洗蚀刻，另外超净高纯试剂还用于芯片掺 杂和沉淀工艺。超净高纯试剂的纯度和洁净度对集成电路的成品率电性能及可 靠性均有十分重要的影响。超净高纯试剂具有品种多用量大技术要